没有固定电极具有驱动装置的OMM‑转速制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本专利技术从按照权利要求1前序部分的转速传感器出发。
技术介绍
这样的转速传感器是普遍已知的。这些转速传感器通常包括基体固定的、与第一或第二驱动装置这样交互作用的驱动装置，使得第一结构和第二结构分别从其静止位置偏转出来。这里，第一结构和第二结构可以激励基本上与驱动方向平行的、基本上反相的振动。由现有技术已知的转速传感器往往还包括第一结构和第二结构之间的耦合结构，以保证第一结构相对于第二结构的反相振动。
技术实现思路
与现有技术相比，按照本专利技术的转速传感器有下列优点，该转速传感器能够在相对于现有技术而言小的基体面积上以简单、在机械上稳健和成本低廉的方法实现，因为对于微机械结构只需要相对于现有技术而言小的基体面积来探测转速。这里，省去了基体固定的驱动梳的应用。这一点由此实现，为了通过第一驱动装置和第二驱动装置之间的交互作用使●不仅第一结构从第一结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中●而且第二结构从第二结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中共同偏转出来，第一驱动装置和第二驱动装置这样布置，使得第一结构和第二结构能够激励基本上反相的、分别具有基本上与驱动方向平行的运动分...
【技术保护点】
转速传感器(1)，其具有：具有主延伸平面(100)的基体(3)；相对于基体(3)可运动的第一结构(5)；相对于基体(3)和相对于第一结构(5)可运动的第二结构(7)，其中，第一结构(5)包括至少一个第一驱动装置(9)，其中，第二结构(7)包括至少一个第二驱动装置(11)，其特征在于，为了通过第一驱动装置(9)和第二驱动装置(11)之间的交互作用使●不仅第一结构(5)从第一结构(5)的基本上与驱动方向(13)平行的静止位置中●而且第二结构(7)从第二结构(7)的基本上与驱动方向(13)平行的静止位置中共同偏转出来，第一驱动装置(9)和第二驱动装置(11)这样布置，使得第一结构...
【技术特征摘要】
2015.07.17 DE 102015213455.51.转速传感器(1)，其具有：具有主延伸平面(100)的基体(3)；相对于基体(3)可运动的第一结构(5)；相对于基体(3)和相对于第一结构(5)可运动的第二结构(7)，其中，第一结构(5)包括至少一个第一驱动装置(9)，其中，第二结构(7)包括至少一个第二驱动装置(11)，其特征在于，为了通过第一驱动装置(9)和第二驱动装置(11)之间的交互作用使●不仅第一结构(5)从第一结构(5)的基本上与驱动方向(13)平行的静止位置中●而且第二结构(7)从第二结构(7)的基本上与驱动方向(13)平行的静止位置中共同偏转出来，第一驱动装置(9)和第二驱动装置(11)这样布置，使得第一结构(5)和第二结构(7)能够激励基本上反相的、分别具有基本上与驱动方向(13)平行的运动分量的振动。2.按照权利要求1的转速传感器(1)，其特征在于，第一结构(5)包括第一框架结构(15)，其中，第一框架结构(15)基本上在基本上与主延伸平面(100)平行的第一平面(17)中延伸，其中，第一结构(5)具有在第一平面(17)中至少部分地被第一框架结构(15)包围的第一探测结构(19)，用于沿着基本上垂直于驱动方向(13)的探测方向(25)基于转速传感器(1)的围绕基本上垂直于驱动方向(13)并基本上垂直于探测方向(25)的轴线的转速来探测作用到第一结构(5)上的力作用，其中，第二结构(7)包括第二框架结构(21)，其中，第二框架结构(21)基本上在第一平面(17)中延伸，其中，第二结构(7)具有在第一平面(17)中至少部分地被第二框架结构(21)包围的第二探测结构(23)，用于沿着基本上垂直于驱动方向(13)的探测方向(25)基于转速传感器(1)的围绕基本上垂直于驱动方向(13)并基本上垂直于探测方向(25)的轴线的转速来探测作用到第二结构(7)上的力作用。3.按照上述权利要求中一项的转速传感器(1)，其特征在于，转速传感器(1)包括至少一个布置在基体(3)上的第一电极(27)和/或至少一...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·赖因穆特，A·拉斯尔，OA·普吕茨，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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