双端音叉角速度传感器芯片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双端音叉角速度传感器芯片，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接桥的另一端分别与固定块连接。驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直，在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极。所述检测梁的侧壁覆盖有平行分开的敏感电极。本实用新型专利技术在同等激励电压条件下，音叉内部的电场强度和音叉的激励振幅更高，相同角速度引起的哥式力更大，芯片灵敏度更高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及角速度检测技术，具体涉及一种双端音叉角速度传感器芯片，属于惯性传感

技术介绍
角速度传感器为惯性传感器的一种，具有军民两用性。基于MEMS（微电子机械系统）工艺制作的微机械陀螺具有体积小、成本低、可靠性高和适合大批量生产等独特优势，特别适合于对精度要求不高但对价格、体积和功耗要求严格的领域。硅微机械陀螺和石英微机械陀螺是最为常见也是国际上研究最为热点的两类微型陀螺，二者各具特色，在军民领域并行发展。音叉结构是较为常用的一种石英微机械陀螺芯片结构，有单端音叉和双端音叉两种，代表公司为日本的NDK（NihonDempaKogyo）和美国的BEI。单端音叉将驱动和检测结构均制作于同一对梁上面，结构简单易于微型化，但驱动模态和检测模态的正交耦合较为明显，且驱动电极和检测电极的面积较小，灵敏度较低，零位及频差调节复杂。双端音叉石英微机械陀螺将驱动音叉和检测音叉分开独立设置，正交耦合小，零位及频差调节简单，且驱动电极和检测电极的面积大，灵敏度高，多应用于精度要求相对较高的系统。现有的双端音叉石英微机械陀螺芯片驱动音叉截面均为矩形结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】
双端音叉角速度传感器芯片，包括驱动梁、检测梁、中间块、两固定块和两连接桥，其特征在于：所述驱动梁和检测梁分别为两块，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块与驱动梁相对的另一侧；其中一驱动梁与其中一检测梁位于同一直线上，另一驱动梁与另一检测梁位于同一直线上；两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接桥的另一端分别与固定块连接；所述驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直，在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极，两根驱动梁通过与激励电源不同...

【技术特征摘要】
1.双端音叉角速度传感器芯片，包括驱动梁、检测梁、中间块、两固定块和两连接桥，其特征在于：所述驱动梁和检测梁分别为两块，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块与驱动梁相对的另一侧；其中一驱动梁与其中一检测梁位于同一直线上，另一驱动梁与另一检测梁位于同一直线上；两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接桥的另一端分别与固定块连接；
所述驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直，在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极，两根驱动梁通过与激励电源不同极性的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林丙涛，蒋昭兴，翁邦英，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：新型
国别省市：重庆;50