下载双端音叉角速度传感器芯片的技术资料

文档序号:14541780

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本实用新型公开了一种双端音叉角速度传感器芯片,驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面;两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧,两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧,两连接桥的另一端分别与固定...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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