陀螺传感器及其制造方法、电子设备以及移动体技术

本发明专利技术提供一种能够抑制S/N比的恶化并且实施灵敏度调节的陀螺传感器及其制造方法、电子设备以及移动体等。陀螺传感器1包括：基板(10)、振动体(112)、使振动体(112)进行振动的固定驱动电极(130、132)以及可动驱动电极(116)、用于对根据振动体(112)的振动而变化的信号进行检测的固定检测电极(130、132)以及可动检测电极(116)、向振动体(112)施加偏置电压Vr的偏置电压施加部(610)、存储部(620)，偏置电压施加部(620)根据存储部(610)中所存储的信息而对偏置电压Vr的值进行设定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种陀螺传感器、电子设备、移动体以及陀螺传感器的制造方法。
技术介绍
近年来，开发了一种例如利用硅MEMS(Micro Electro Mechanical System：微电子机械系统)技术而对角速度进行检测的角速度传感器(陀螺传感器)。在专利文献1中公开有一种陀螺传感器，其中，具有对增益以可变的方式进行控制从而实施灵敏度调节的灵敏度调节电路。在专利文献1的陀螺传感器中，当为了提高输出灵敏度而使灵敏度调节电路的增益增加时，噪声也被放大。因此，在专利文献1的陀螺传感器中难以改善S/N比。专利文献1：日本特开2007-327945号公报
技术实现思路
本专利技术为鉴于以上的技术问题而被完成的专利技术。根据本专利技术的若干方式，提供一种能够在抑制S/N比的恶化并且实施灵敏度调节的陀螺传感器、电子设备、移动体以及陀螺传感器的制造方法等。本专利技术是为了解决前述的课题中的至少一部分而完成的专利技术，并且能够作为以下的方式或者应用例而实现。应用例1本应用例所涉及的陀螺传感器包括：基板；振动体；固定驱动电极，其被固定在所述基板上，并使所述振动体进行振动；可动驱动电极，其从所述振动体上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种陀螺传感器，包括：基板；振动体；固定驱动电极，其被固定在所述基板上，并使所述振动体进行振动；可动驱动电极，其从所述振动体上延伸，并使所述振动体进行振动；固定检测电极，其被固定在所述基板上，并用于对根据所述振动体的振动而变化的信号进行检测；可动检测电极，其从所述振动体上延伸，并用于对根据所述振动体的振动而变化的信号进行检测；偏置电压施加部，其向所述振动体施加偏置电压；存储部，所述偏置电压施加部根据所述存储部中所存储的信息而对所述偏置电压的值进行设定。

【技术特征摘要】
2015.03.03 JP 2015-0415541.一种陀螺传感器，包括：基板；振动体；固定驱动电极，其被固定在所述基板上，并使所述振动体进行振动；可动驱动电极，其从所述振动体上延伸，并使所述振动体进行振动；固定检测电极，其被固定在所述基板上，并用于对根据所述振动体的振动而变化的信号进行检测；可动检测电极，其从所述振动体上延伸，并用于对根据所述振动体的振动而变化的信号进行检测；偏置电压施加部，其向所述振动体施加偏置电压；存储部，所述偏置电压施加部根据所述存储部中所存储的信息而对所述偏置电压的值进行设定。2.一种陀螺传感器，包括：基板；振动体；固定驱动电极，其被固定在所述基板上，并使所述振动体进行振动；可动驱动电极，其被设置在所述基板上，并使所述振动体进行振动；固定检测电极，其被固定在所述基板上，并用于对根据所述振动体的振动而变化的信号进行检测；可动检测电极，其被设置在所述振动体上，并用于对根据所述振动体的振动而变化的信号进行检测；偏置电压施加部，其向所述可动检测电极施加偏置电压；存储部，所述偏置电压施加部根据所述存储部中所存储的信息而对所述偏置电压的值进行设定。3.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，所述固定检测电极与所述可动检测电极以对置的方式设置。4.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，在所述可动检测电极的往返运动端的两侧的区域设置有所述固定检测电极。5.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，在所述可动检测电极的往返运动端的单侧的区域设置有所述固定检测电极。6.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，在所述存储部中所存储的信息为，根据来自固定检测电极的信号而被设定的信息。7.如权利要求2所述的陀螺传感器，其中，所述固定检测电极与所述可动检测电极以对置的方式而设置。8.如权利要求2所述的陀螺传感器，其中，在所述可动检测电极的往返运动端的两侧的区域设置有所述固定检测电极。9.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：金本啓，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP