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本发明提供一种能够抑制S/N比的恶化并且实施灵敏度调节的陀螺传感器及其制造方法、电子设备以及移动体等。陀螺传感器1包括：基板(10)、振动体(112)、使振动体(112)进行振动的固定驱动电极(130、132)以及可动驱动电极(116)、用...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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