物理量传感器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种物理量传感器，其抑制因元件片与固定电极的抵接而产生的损坏。所述物理量传感器的特征在于，具备：元件片，其包括可动锤、和从所述可动锤延伸设置的可动电极部；固定电极部，其以在所述元件片进行位移的第一方向上与所述元件片隔开间隙（d1）的方式而设置；固定部，其以与所述元件片的端部对置的方式而设置，在所述可动锤的所述端部上，在与所述固定部对置的位置处设置有凹部，在所述固定部上，设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部，所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内，并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙（d2）窄于所述间隙（d1）。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种物理量传感器，其抑制因元件片与固定电极的抵接而产生的损坏。所述物理量传感器的特征在于，具备：元件片，其包括可动锤、和从所述可动锤延伸设置的可动电极部；固定电极部，其以在所述元件片进行位移的第一方向上与所述元件片隔开间隙（d1）的方式而设置；固定部，其以与所述元件片的端部对置的方式而设置，在所述可动锤的所述端部上，在与所述固定部对置的位置处设置有凹部，在所述固定部上，设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部，所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内，并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙（d2）窄于所述间隙（d1）。【专利说明】物理量传感器、电子设备以及移动体
本专利技术涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来，作为对加速度、角速度等的物理量进行检测的物理量传感器，已知如下结构的物理量传感器，即，具有固定电极和可动电极，所述可动电极相对于固定电极隔开间隙而并排设置，并且被设置在能够在固定方向上进行位移的可动锤上。在这种物理量传感器中，随着可动锤的位移，固定电极与被设置在可动锤上的可动电极之间的间隙发生变化，通过对由于该间隙的变化而在固定电极与可动电极之间产生的静电电容的变化进行检测，从而对加速度、角速度等的物理量的变化进行检测。例如，在专利文献I中公开了一种如下结构的物理量传感器，即，在对可动锤进行支承的、以构成多边形的方式而弯折的梁部的内侧，设置有对可动锤的位移进行限制的止动部，从而防止可动电极与固定电极的附着或损坏。但是，由于在以构成多边形的方式而弯折的梁部的内侧设置有止动部，因此存在由于梁部变大而将对物理量传感器的小型化造成影响的担心。专利文献1:日本特许第3660119号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，其能够作为以下的方式或者应用例而实现。应用例I本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具备:元件片，其包括可动锤、和从所述可动锤延伸设置的可动电极部；固定电极部，其以在所述元件片进行位移的第一方向上与所述元件片隔开间隙(dl)的方式而设置；固定部，其以与所述元件片的端部对置的方式而设置，在所述可动锤的所述端部上，在与所述固定部对置的位置处设置有凹部，在所述固定部上，设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部，所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内，并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙(d2 )窄于所述间隙(dl)。根据这种物理量传感器，设置有元件片、和与元件片隔开间隙dl而设置的固定电极部，并且第一止动部的顶端以隔开窄于间隙dl的间隙d2的方式而被插入(松插)至设置在可动锤上的凹部内。由此，在可动锤进行了位移的情况下，通过在固定电极部与元件片部抵接之前，第一止动部与设置在可动锤上的凹部抵接，从而能够抑制固定电极部与可动电极部的抵接。此外，由于使第一止动部松插至设置在可动锤上的凹部内，因此能够在不必改变物理量传感器的大小的情况下设置第一止动部。因此，在元件片过度地进行了位移时，能够减少固定电极和元件片因抵接(碰撞)而损坏的情况，从而获得能够实现小型化的物理量传感器。应用例2优选为，在上述应用例所涉及的物理量传感器中，在凹部上，设置有在第二方向上延伸设置的第一突起。根据这种物理量传感器，在松插有第一止动部的凹部的内表面上，设置有第一突起，所述第一突起以在与第一止动部的延伸方向交叉的第二方向上与第一止动部对置的方式而突出。由此，通过在可动锤在第二方向上进行了位移的情况下第一止动部与第一突起抵接，从而能够减少第一止动部与可动锤之间的接触面积，进而与第一止动部与凹部直接抵接的情况相比能够缓和因抵接而产生的冲击。因此，即使在可动锤在第二方向上过度地进行了位移时，也能够防止固定电极部和可动电极部因抵接(碰撞)而损坏的情况。应用例3优选为，在上述应用例所涉及的物理量传感器的第一止动部上，设置有在第二方向上延伸设置的第二止动部。根据这种物理量传感器，在被松插至凹部内的第一止动部上，设置有在第二方向上延伸设置的第二止动部。由此，通过在可动锤在第二方向上进行了位移的情况下，设置在可动锤上的凹部与第二止动部抵接，从而能够减少第一止动部以及第二止动部与可动锤之间的接触面积，进而与第一止动部与凹部直接抵接的情况相比，能够缓和因抵接而产生的冲击。因此，即使在可动锤在第二方向上过度地进行了位移时，也能够抑制固定电极部和可动电极部因抵接(碰撞)而损坏的情况。应用例4优选为，在上述应用例所涉及的物理量传感器的第二止动部上，设置有在第一方向上延伸设置的第二突起。根据这种物理量传感器，在与被松插至凹部内的第一止动部交叉的第二止动部上，在第一方向上设置有第二突起。由此，通过在可动锤在第一方向上进行了位移的情况下，设置在第二止动部上的第二突起与可动锤抵接，从而能够减少第一止动部以及第二止动部与可动锤之间的接触面积。此外，在可动锤在第一方向上进行了位移的情况下，与第二止动部与凹部直接抵接的情况相比，能够缓和因抵接而产生的冲击。因此，在可动锤在第一方向上过度地进行了位移时，能够防止固定电极部和可动电极部因抵接(碰撞)而产生的损坏，并且防止第一止动部以及第二止动部的损坏。应用例5在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在可动锤上，在与第二止动部对置的位置处设置有第三突起。根据这种物理量传感器，在可动锤上，在松插有第二止动部的凹部上，设置有以与第二止动部对置的方式而突出的第三突起。由此，通过在可动锤在第一方向上进行了位移的情况下，设置在可动锤的上第三突起与第二止动部抵接，从而能够减少第一止动部以及第二止动部与可动锤之间的接触面积。此外，在可动锤在第一方向上进行了位移的情况下，与第二止动部与凹部直接抵接的情况相比，能够缓和因抵接而产生的冲击。因此，在可动锤在第一方向上过度地进行了位移时，能够抑制固定电极部和可动电极部因抵接(碰撞)而产生的损坏，并且防止第一止动部以及第二止动部的损坏。应用例6本应用例所涉及的电子设备的特征在于，搭载有上述的任一个的物理量传感器。根据这种电子设备，由于通过搭载上述的任一个的物理量传感器，从而即使在电子设备上施加有冲击的情况下，也能够抑制物理量传感器的损坏，继续对物理量进行检测，因此能够获得可靠性较高的电子设备。应用例7本应用例所涉及的移动体的特征在于，搭载有上述的任一个的物理量传感器。根据这种移动体，由于通过搭载有上述的任一个的物理量传感器，从而能够抑制因来自移动体的冲击而产生的物理量传感器的损坏，并继续对物理量进行检测，因此能够获得可靠性较高的移动体。【专利附图】【附图说明】图1为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的立体图。图2为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图3为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的剖视图。图4为将第一实施方式所涉及的物理量传感器的一部分放大表不的放大图。图5为模式化地表示第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图6为将改变例所涉及的物理量传感器的一部分放大表示的放大图。图7为模式化地表示作为实施例所涉及的电子设备的个人计算机的图。图8为模式化地表示作为实施例所涉及的电子设备的移动电话的图。图9为模式化地表示作为实施例所涉及的电子设备的数码照相机的图。图10为模式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具备：元件片，其包括可动锤、和从所述可动锤延伸设置的可动电极部；固定电极部，其以在所述元件片进行位移的第一方向上与所述元件片隔开间隙（d1）的方式而设置；固定部，其以与所述元件片的端部对置的方式而设置，在所述可动锤的所述端部上，在与所述固定部对置的位置处设置有凹部，在所述固定部上，设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部，所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内，并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙（d2）窄于所述间隙（d1）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：成瀬敦纪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP