物理量传感器和电子设备制造技术

物理量传感器和电子设备。本发明专利技术的课题是提供一种具有高可靠性的物理量传感器。作为解决手段，物理量传感器（100）包含：基板（10）；可动体（20），其具有可动电极部（21）；轴部（30、32），其与可动体（20）连接，成为可动体（20）的旋转轴（Q）；固定部（40），其被固定在基板（10）上，经由轴部（30、32）支撑可动体（20）；以及固定电极部（5），其与可动电极部（21）相对地设在基板（10）上，在固定部（40）上，在旋转轴的轴线（Q）上设有开口部（46）。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种物理量传感器，其中，所述物理量传感器包含：基板；可动体，其具有可动电极部；轴部，其与所述可动体连接，成为所述可动体的旋转轴；固定部，其被固定在所述基板上，经由所述轴部支撑所述可动体；以及固定电极部，其与所述可动电极部相对地设在所述基板上，在所述固定部上，在所述旋转轴的轴线上设有开口部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：