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物理量传感器和电子设备制造技术
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文档序号:9141323
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物理量传感器和电子设备。本发明的课题是提供一种具有高可靠性的物理量传感器。作为解决手段,物理量传感器(100)包含:基板(10);可动体(20),其具有可动电极部(21);轴部(30、32),其与可动体(20)连接,成为可动体(20)的旋转...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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