The invention discloses a ceramic capacitive pressure sensor, anti electromagnetic interference and the conductive fluid includes a capacitive pressure detecting component; cylindrical shield is arranged on the capacitive pressure detecting component outside the top of the cylindrical shield and the bottom end is bended inwardly bent shield Department of; insulation ring, is arranged on the shield of the bending part at the bottom; O type sealing ring is arranged on the inner edge of the insulation ring. Cylindrical shielding layer bottom is not closed structure, no need to set the annular seal in the cylinder between the shield and the capacitive pressure detecting component, only need a O type sealing ring can realize sensor encapsulation, simplifies the structure of the sensor, which can effectively reduce the size of the sensor, the sensor to reduce the production cost, the pressure the sensor can be used in air conditioning ventilation device, especially in the field of inverter air conditioner.
【技术实现步骤摘要】
一种抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器
本专利技术涉及一种压力传感器,具体地说涉及一种抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器。
技术介绍
压力传感器是工业实践、仪器仪表控制中最为常用的一种传感器,已广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化等众多行业。压力传感器种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器等,其中电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之呈一定关系的电量输出的压力传感器,其通常是使用镀金属薄膜或者圆形薄膜作为电容器的一个电极,在薄膜感受到压力时会变形,此时薄膜与固定的电极之间所产生的电容量就会发生改变,测量电路就可以输出跟电压形成一定关系的电信号。现有电容式压力传感器存在着结构和封装工艺复杂、传感器总体尺寸难以缩小、制造成本高的问题,如中国专利CN1614375A公开的一种电容式压力传感器,如图1所示,其包括一个由导电材料制成的内置式EMC屏蔽件(24),该屏蔽件(24)整体呈杯形,其具有一个底壁和一个由该底壁伸出的周向侧壁,该屏蔽件的尺寸允许其紧密装配在腔体(16d')内,而该腔体是由六端口外壳(16')的侧壁(16e')形成的;在底壁内设置有一个流体接收孔(24a),一个由合适的弹性体材料制成的环形密封垫(26)安装在屏蔽件(24)的底壁之顶部上并靠近其侧壁。电容式检测元件(12)、调节电路(14)和环形密封垫(26)安装在杯形屏蔽件(24)内,同时连接件(20')的底座(20a')与屏蔽件(24)的侧壁 ...
【技术保护点】
一种抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器,其特征在于,包括:电容式压力检测部件;圆筒形屏蔽件,设置于所述电容式压力检测部件外部,所述圆筒形屏蔽件的顶端和底端具有向内弯折的屏蔽件弯折部;绝缘挡圈,设置于所述屏蔽件弯折部的底部;O型密封圈,设置于所述绝缘挡圈内缘。
【技术特征摘要】
1.一种抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器,其特征在于,包括:电容式压力检测部件;圆筒形屏蔽件,设置于所述电容式压力检测部件外部,所述圆筒形屏蔽件的顶端和底端具有向内弯折的屏蔽件弯折部;绝缘挡圈,设置于所述屏蔽件弯折部的底部;O型密封圈,设置于所述绝缘挡圈内缘。2.根据权利要求1所述的抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器,其特征在于,所述圆筒形屏蔽件外部设置有电绝缘套筒,所述电绝缘套筒顶部具有向内弯折的套筒弯折部,所述电绝缘套筒的外部设置有传感器外壳。3.根据权利要求2所述的抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器,其特征在于,所述电绝缘套筒的材质为柔性绝缘材料,其厚度为0.1-0.2mm,所述O型密封圈为绝缘橡胶密封圈。4.根据权利要求1-3任一项所述的抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器,其特征在于,所述电容式压力检测部件包括基座,所述基座底部设置有感压膜,所述感压膜底部设置有导电屏蔽层,所述导电屏蔽层底面与所述屏蔽件弯折部接触。5.根据权利要求4所述的抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器,其特征在于,所述圆筒形屏蔽件的材质为铜,其厚度为0.05-0.1m...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐文,
申请(专利权)人:深圳安培龙科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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