The invention provides a flexible pressure sensor and a preparation method thereof, which comprises an upper electrode, a lower electrode and the dielectric layer, the upper electrode and lower electrode for multi scale electrode gold nanorods embedded in PDMS, the dielectric layer is a porous polyurethane elastomer film and the formation of deionized water. The invention discloses a flexible pressure sensor and a preparation method thereof. The measuring pressure range is wide, and the sensitivity of the low pressure strong state is greatly improved, and the preparation of the die is simple and the cost is low.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性压力传感器及其制备方法
本专利技术属于传感器
,具体涉及一种柔性压力传感器及其制备方法。
技术介绍
检测人类的生理信息是疾病诊断和健康评估的一个重要指标,而传统的医疗设备都是刚性的压力传感器,不易于穿戴和携带。近年来,随着微电子技术、新材料制备工艺的发展,柔性压力传感器越来越多的被应用到了电子皮肤、可穿戴电子设备等领域。然而,柔性压力传感器的制备方法比较复杂,成本高,灵敏度低和传感器阵列的制作也是一个挑战。
技术实现思路
本专利技术所要解决的是现有柔性压力传感器制备复杂、成本高、灵敏度低的技术问题,提供一种柔性压力传感器及其制备方法,所述传感器的制备方法简单、成本低、灵敏度高、响应时间短,而且很容易制作成阵列型传感器。为了解决本专利技术的技术问题,本专利技术是通过以下技术方案实现的:一种柔性压力传感器,包括上电极、下电极和介电层,所述上电极、下电极为金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极,所述介电层为聚氨酯和去离子水形成的多孔弹性体薄膜。优选地,所述金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极的厚度为10μm~30μm。优选地,所述金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极采用的模具是由紫外线处理预聚物PDMS自发形成的带扣结构。优选地,所述去离子水和聚氨酯的重量比为3∶10。一种柔性压力传感器的制备方法,包括以下步骤:第一步:上电极和下电极的制备S1:将模具PDMS拉伸至35%,用紫外线照射预聚物PDMS,在PDMS表面会自发形成siox带扣形状,作为传感器的模板;S2:将金纳米棒溶液通过使用棒式涂布机涂布到模具PDMS上,获得金纳米棒(AuNR)膜;S3:获得AuNR膜 ...
【技术保护点】
一种柔性压力传感器,包括上电极、下电极和介电层,其特征在于:所述上电极、下电极为金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极,所述介电层为聚氨酯和去离子水形成的多孔弹性体薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种柔性压力传感器,包括上电极、下电极和介电层,其特征在于:所述上电极、下电极为金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极,所述介电层为聚氨酯和去离子水形成的多孔弹性体薄膜。2.如权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极的厚度为10μm~30μm。3.如权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极采用的模具是由紫外线处理预聚物PDMS自发形成的带扣结构。4.如权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述去离子水和聚氨酯的重量比为3:10。5.如权利要求1至权利要求4所述的一种柔性压力传感器的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:第一步:上电极和下电极的制备S1:将模具PDMS拉伸至35%,用紫外线照射预聚物PDMS,在PDMS表面会自发形成siox带扣形状,作为传感器的模板;S2:将金纳米棒溶液通过使用棒式涂布机涂布到模具PD...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘国栋,郑娜,肖国辉,
申请(专利权)人:江西科技师范大学,
类型:发明
国别省市:江西,36
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