工业用机器人制造技术

本申请提供一种工业用机器人，能使主体部薄型化，其中，臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。例如，该工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部(7)，臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，主体部(7)包括：臂的基端侧以能转动的方式与其上面侧连接的升降体(20)；将升降体(20)保持为能升降并且收容有升降体(20)的至少下端侧的一部分的框体(21)；以及使升降体(20)升降的升降机构(22)。升降机构(22)以在从上下方向观察时与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。

Industrial robots

The present application provides an industrial robot that enables the body portion to be thinned in which the base end of the arm is connected with the main body portion in a rotational manner. For example, including the use of the industrial robot hand, the hand loading handling object; arm, front side of the hand to rotate with the arm and body connection; (7), the proximal side arm to rotate the connection with the main body portion, the body part (7) including: lift the body base end side arm can rotate to its top side connection (20); the lifting body (20) for accommodating a keep lifting and lifting body (20) part of the box body at least lower side (21); and the lifting body (20) of the lifting mechanism (22). The lifting mechanism (22) is accommodated in the frame (21) in a manner that is overlapped with the lifting body (20) when viewed from the upper and lower directions.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工业用机器人
本专利技术涉及对半导体晶片等搬运对象物进行搬运的工业用机器人。
技术介绍
以往，已知有在前开式晶圆盒(英文：FrontOpenUnifiedPod)与半导体晶片处理装置之间搬运半导体晶片的水平多关节机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的水平多关节机器人构成装置前端模块(英文：EquipmentFrontEndModule)的一部分，并配置在装置前端模块的框体内部。装置前端模块配置在半导体晶片处理装置的前侧，前开式晶圆盒配置在装置前端模块的前侧。装置前端模块的框体形成为细长的长方体的箱状，该长方体以前后方向作为短边方向，以左右方向作为长边方向。此外，专利文献1中记载的水平多关节机器人包括：两只手，两只该手装载半导体晶片；臂，两只手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部，臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接。臂由第一臂部、第二臂部以及第三臂部构成，上述第一臂部的基端侧以能转动的方式与主体部连接，上述第二臂部的基端侧以能转动的方式与第一臂部的前端侧连接，上述第三臂部的基端侧以能转动的方式与第二臂部的前端侧连接，并且手以能转动的方式与上述第三臂部的前端侧连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用机器人，其特征在于，所述工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，所述手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部，所述臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，所述主体部包括：升降体，所述臂的基端侧以能转动的方式与该升降体的上面侧连接；框体，该框体将所述升降体保持为能升降，并且该框体收容有所述升降体的至少下端侧的一部分；以及升降机构，该升降机构使所述升降体升降，所述升降机构以在从上下方向观察时与所述升降体重叠的方式收容于所述框体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.22 JP 2016-010905;2016.01.22 JP 2016-010901.一种工业用机器人，其特征在于，所述工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，所述手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部，所述臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，所述主体部包括：升降体，所述臂的基端侧以能转动的方式与该升降体的上面侧连接；框体，该框体将所述升降体保持为能升降，并且该框体收容有所述升降体的至少下端侧的一部分；以及升降机构，该升降机构使所述升降体升降，所述升降机构以在从上下方向观察时与所述升降体重叠的方式收容于所述框体。2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述框体形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向，所述升降体包括框部，该框部形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向，在所述升降体下降时，该框部收容于所述框体。3.如权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，所述主体部包括引导机构，该引导机构具有导轨和导块，该导块与所述导轨卡合，该引导机构将所述升降体朝上下方向引导，所述导轨和所述导块配置在所述框部的左右方向上的两外侧，并且收容于所述框体的内部。4.一种工业用机器人，其特征在于，所述工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，所述手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部，所述臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，所述主体部包括：升降体，所述臂的...

【专利技术属性】
技术研发人员：白木隆裕，北原康行，栗林保，中江孝郎，改野重幸，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP