一种高温高真空环境下限力矩升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高温高真空环境下限力矩升降装置，包括真空腔室，所述真空腔室包括设置在该真空腔室底部的底盘，所述真空腔室的顶部和底盘之间固定安装有导向杆，所述真空腔室的顶部活动连接丝杠的上端，且该丝杠的下端穿过所述底盘，所述丝杠的下端通过密封在该底盘底部的磁流体密封件连接伺服电机，所述伺服电机电连接有电机控制器；所述丝杠通过滚珠螺母滑动连接有支撑板，所述支撑板通过固定连接的自润滑的导杆轴套滑动连接导向杆。本实用新型专利技术的有益效果为：可有效避免在真空环境下的升降机构传动扭矩过大甚至咬死缺陷，并且升降速度及顶升力都可根据实际情况进行调整；摩擦系数小、耐高温、寿命长。

Lower limit torque lifting device for high temperature and high vacuum environment

The utility model relates to a high temperature and high vacuum environment limit torque lifting device, which comprises a vacuum chamber, the vacuum chamber is arranged at the bottom of the vacuum chamber comprises a chassis, a guide rod is fixedly arranged between the vacuum chamber and the top chassis, the top of the upper vacuum chamber connected to the lower end of the screw. The screw passes through the lower end of the chassis, the screw seal at the bottom of the chassis of the magnetic fluid seal connected by servo motor, the servo motor is electrically connected with the motor controller; the sliding screw through the ball nut is connected with a support plate, the support plate is connected with the guide rod through a self-lubricating guide rod sleeve sliding fixed connection. The utility model has the advantages that: the lifting mechanism can effectively avoid the transmission torque in vacuum environment is too large or even killed defects, and the lifting speed and lifting force can be adjusted according to actual situation; the friction coefficient is small, high temperature resistance and long service life.

【技术实现步骤摘要】
一种高温高真空环境下限力矩升降装置
本技术涉及升降平台领域，具体来说，涉及一种高温高真空环境下限力矩升降装置。
技术介绍
升降装置又叫升降台，是一种将人或者货物升降到某一高度的设备。现有技术中，升降装置通过电机带动丝杠升降机来实现物体的升降。在现有的上升过程中，物体升降的停止位置可采用行程开关定位。普通升降装置都是在标准大气标准室温环境下使用，且输出力矩是一个固定值，不可控。在高真空环境下的运动部件都存在一个真空冷焊的问题，摩擦表面不能形成降低摩擦的金属氧化物或污染物层而导致高摩擦因数，摩擦热不能通过气体对流传导而带走，摩擦面温度急剧上升而易发生粘着磨损。润滑是减小摩擦降低磨损的主要措施之一，但是普通润滑油脂由于在真空中易挥发，且会污染其他真空内部件，一般极少使用，因此真空内的运动一直是一大难题。在南京北方夜视集团的阴极转移系统项目中，客户要求在高真空（5*10-5Pa）、高温（170℃）环境下，各个组件可以在其腔体内自由升降，采用定位开关对最低点进行定位，定位精度±1mm；顶升系统顶升力0-100N手动、程控可调；组件在各腔室中心，中心托盘顶升偏心度±0.5mm；可以手动、程控控制升降，升降速度0-500mm/min可调，控制精度小于1mm。因此，研制出一种可在高真空、高温环境下实现高精度限力矩升降的升降装置，便成为业内人士亟需解决的问题。
技术实现思路
本技术提出了一种高温高真空环境下限力矩升降装置，克服了现有产品中上述方面的不足。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种高温高真空环境下限力矩升降装置，包括真空腔室，所述真空腔室包括设置在该真空腔室底部的底盘，所述真空腔室的顶部和底盘之间固定安装有导向杆，所述真空腔室的顶部活动连接丝杠的上端，且该丝杠的下端穿过所述底盘，所述丝杠的下端通过密封在该底盘底部的磁流体密封件连接伺服电机，所述伺服电机电连接有电机控制器；所述丝杠通过滚珠螺母滑动连接有支撑板，所述支撑板通过固定连接的自润滑的导杆轴套滑动连接导向杆。进一步地，所述导向杆通过导杆固定块固定连接在该真空腔室的顶部，所述导杆固定块上通过螺钉连接有与该导向杆对应的导杆压盖。进一步地，所述丝杠为梯形丝杠。进一步地，所述丝杠的顶部连接有深沟球轴承，所述深沟球轴承通过轴承固定块固定在该真空腔室的顶部，所述轴承固定块通过螺钉连接有与该深沟球轴承对应的轴承压盖。进一步地，所述底盘上设置有限位机构，所述限位机构包括限位开关，所述限位开关电连接电机控制器。进一步地，所述底盘的底部通过吊装块固定连接有减速机，所述减速机的输入轴连接伺服电机，且该减速机的输出轴通过换向器连接有磁流体密封件。进一步地，所述底盘上设置有与丝杠对应的通孔，所述通孔的底部设置有刀口法兰，所述刀口法兰通过螺栓固定连接磁流体密封件。进一步地，所述深沟球轴承为陶瓷球轴承。进一步地，所述支撑板的顶部设置有与工件对应的支撑筒。本技术的有益效果为：可有效避免在真空环境下的升降机构传动扭矩过大甚至咬死缺陷，并且升降速度及顶升力都可根据实际情况进行调整；摩擦系数小、耐高温、寿命长。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例所述的高温高真空环境下限力矩升降装置的结构示意图；图2是根据图1所示的轴承固定块的剖视图；图3是根据图1所示的导杆固定块的剖视图。图中：1、伺服电机；2、吊装块；3、换向器；4、磁流体密封件；5、底盘；6、限位机构；7、滚珠螺母；8、丝杠；9、轴承固定块；10、深沟球轴承；11、轴承压盖；12、导杆固定块；13、导杆压盖；14、工件；15、导向杆；16、导杆轴套；17、支撑板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-3所示，根据本技术实施例所述的一种高温高真空环境下限力矩升降装置，包括真空腔室，所述真空腔室包括设置在该真空腔室底部的底盘5，所述真空腔室的顶部和底盘5之间固定安装有导向杆15，所述真空腔室的顶部活动连接丝杠8的上端，且该丝杠8的下端穿过所述底盘5，所述丝杠8的下端通过密封在该底盘5底部的磁流体密封件4连接伺服电机1，所述伺服电机1电连接有电机控制器；所述丝杠8通过滚珠螺母滑动连接有支撑板17，所述支撑板17通过固定连接的自润滑的导杆轴套16滑动连接导向杆15。在本技术的一个具体实施例中，所述导向杆15通过导杆固定块12固定连接在该真空腔室的顶部，所述导杆固定块上通过螺钉连接有与该导向杆15对应的导杆压盖13。在本技术的一个具体实施例中，所述丝杠8为梯形丝杠。在本技术的一个具体实施例中，所述丝杠8的顶部连接有深沟球轴承10，所述深沟球轴承10通过轴承固定块9固定在该真空腔室的顶部，所述轴承固定块9通过螺钉连接有与该深沟球轴承10对应的轴承压盖11。在本技术的一个具体实施例中，所述底盘5上设置有限位机构，所述限位机构包括限位开关，所述限位开关电连接电机控制器。在本技术的一个具体实施例中，所述底盘5的底部通过吊装块2固定连接有减速机，所述减速机的输入轴连接伺服电机1，且该减速机的输出轴通过换向器3连接有磁流体密封件4。在本技术的一个具体实施例中，所述底盘5上设置有与丝杠8对应的通孔，所述通孔的底部设置有刀口法兰，所述刀口法兰通过螺栓固定连接磁流体密封件4。在本技术的一个具体实施例中，所述深沟球轴承10为陶瓷球轴承。在本技术的一个具体实施例中，所述支撑板17的顶部设置有与工件14对应的支撑筒。为了方便理解本技术的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本技术的上述技术方案进行详细说明。本技术采用的固定连接的方式可用螺栓、焊接等常规手段替换，滑动连接方式可用直线轴承、链条传动等常规手段替换。真空腔室为升降机构提供运动空间及整个升降机构的连接固定；真空腔室的底盘5位于真空腔室下方，并通过螺栓与真空腔室连接，真空腔室的底盘5下部有两个刀口法兰，用于连接磁流体密封件4，下表面还有若干有螺纹孔，用于固定升降机构真空外驱动及传动部件，包括伺服电机1、减速机、换向器3、磁流体密封件4；限位机构6固定在底盘5上，设置真空专用有限位开关，用以限制升降机构的下降停止位置；所述升降机构上设置还有限位块，限位块随升降机构同步升降，当限位块接触到限位机构6上的限位开关时，升降机构停止下降。升降机构上升位置由伺服电机1闭环控制。升降机构，通过连接结构设置在真空腔室及底盘5上，用以连接所要升降的工件14。所述升降机构包括：伺服电机1和减速机，减速机通过吊装块2采用螺栓连接固定在底盘5上，上述减速机为单轴输入，双轴输出精密伺服减速机。换向器3两个，位于减速机两侧，作用为将水平旋转运动变换为竖直旋转运动，转动部分采用键连接，外部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高温高真空环境下限力矩升降装置，其特征在于，其包括真空腔室，所述真空腔室包括设置在该真空腔室底部的底盘（5），所述真空腔室的顶部和底盘（5）之间固定安装有导向杆（15），所述真空腔室的顶部活动连接丝杠（8）的上端，该丝杠（8）的下端穿过所述底盘（5），且所述丝杠（8）的下端通过密封在该底盘（5）底部的磁流体密封件（4）连接伺服电机（1），所述伺服电机（1）电连接有电机控制器；所述丝杠（8）通过滚珠螺母滑动连接有支撑板（17），所述支撑板（17）通过固定连接的自润滑的导杆轴套（16）滑动连接有导向杆（15），所述导向杆（15）通过导杆固定块（12）固定连接在该真空腔室的顶部，所述导杆固定块（12）上通过螺钉连接有与该导向杆（15）对应的导杆压盖（13）；所述底盘（5）的底部通过吊装块（2）固定连接有减速机，所述减速机的输入轴连接伺服电机（1），且该减速机的输出轴通过换向器（3）连接磁流体密封件（4）。

【技术特征摘要】
1.一种高温高真空环境下限力矩升降装置，其特征在于，其包括真空腔室，所述真空腔室包括设置在该真空腔室底部的底盘（5），所述真空腔室的顶部和底盘（5）之间固定安装有导向杆（15），所述真空腔室的顶部活动连接丝杠（8）的上端，该丝杠（8）的下端穿过所述底盘（5），且所述丝杠（8）的下端通过密封在该底盘（5）底部的磁流体密封件（4）连接伺服电机（1），所述伺服电机（1）电连接有电机控制器；所述丝杠（8）通过滚珠螺母滑动连接有支撑板（17），所述支撑板（17）通过固定连接的自润滑的导杆轴套（16）滑动连接有导向杆（15），所述导向杆（15）通过导杆固定块（12）固定连接在该真空腔室的顶部，所述导杆固定块（12）上通过螺钉连接有与该导向杆（15）对应的导杆压盖（13）；所述底盘（5）的底部通过吊装块（2）固定连接有减速机，所述减速机的输入轴连接伺服电机（1），且该减速机的输出轴通过换向器（3）连接磁流体密封件（4）。2.根据权利要求1所述的一种高温高真空环境下限力矩升降装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：高贵斌，
申请(专利权)人：北京中科科美科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11