一种适用于真空设备的高精度传动系统技术方案

本发明专利技术公开一种适用于真空设备的高精度传动系统，涉及传动装置技术领域，包括底板，底板上装有真空泵组件、变速组件、动力组件，真空泵组件通过改变扇叶和中心轴的偏心距离可以改变压缩效率，所以通过动力组件的传动能够改变偏心距离，通过动力组件能够改变转速进而适应偏心距离的变化，真空泵组件能够测试中心轴在旋转时跳动偏差，超过规范能够及时发现、维修，本发明专利技术通过离心力带动离心块贴在圆槽内，并且通过反光镜反射激光检测中心轴旋转时的状态，当反射激光位置发生较大变化时，停机检查维修，实时检测能够实时保证真空泵处于最佳工作状态，工作误差小。工作误差小。工作误差小。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于真空设备的高精度传动系统


[0001]本专利技术涉及传动装置
，尤其涉及一种适用于真空设备的高精度传动系统。

技术介绍

[0002]真空设备是指能够在封闭空间内创造和维持高真空状态的装置。真空是指气体压力低于大气压的状态，它是一个相对于大气压的参考点的概念。真空设备在许多领域都有广泛的应用，包括科学研究、工业生产和技术应用，常见的真空设备有真空泵、真空室、真空炉等，这些真空设备在半导体制造、太空技术、材料科学、化学实验等领域都扮演着重要的角色。通过创建和维持真空环境，这些设备使研究人员和工程师能够进行一系列研究、加工和实验操作，从而推动科学技术的发展，对于真空设备往往更需要高精度的传动，真空泵通过高精度传动系统驱动，能够有效地抽取封闭空间内的气体，降低压力并创造真空环境。
[0003]传动系统的精确性和稳定性对于实现精确的压力控制至关重要。高精度传动系统能够提供准确的运动控制，确保泵在不同压力范围内稳定运行，并且能够快速响应压力变化。传动系统的设计和优化可以减小传动损耗、提高能量转换效率，并且允许泵在较高转速下运行，提高抽取速度和处理能力。
[0004]公开号为CN109058438A的中国专利技术专利中公开了真空设备的动密封装置及真空设备，包括传动组件、密封组件、真空室、传输装置等，该现有技术传动组件不会窜动破坏磨损密封组件，有效保证真空室的密封性，该现有技术通过密封的方式提高传动效率，但是该设备无法及时发现真空设备转轴的偏心误差，也无法为不同转速要求的真空泵提供不同的动力传输。r/>
技术实现思路

[0005]针对上述技术问题，本专利技术公开一种适用于真空设备的高精度传动系统，包括底板，底板上装有真空泵组件，所述底板上装有变速组件和动力组件，通过变速组件和动力组件驱动真空泵组件工作，所述真空泵组件包括机壳，机壳的两侧滑动装有方板，方板上设置有密封片，通过密封片与机壳保持密封，方板内旋转装有中心轴，中心轴上固定装有圆环，圆环上均匀设置多个滑槽，滑槽内滑动装有离心块，离心块的下端设置斜面，斜面上固定装有激光头，滑槽底部设置有反光镜，反光镜反射激光头发出的光，方板与圆环之间留有缝隙，中心轴旋转时离心块贴住方板。
[0006]进一步地，所述变速组件驱动中心轴旋转和上下移动，中心轴上固定装有扇叶，中心轴带动方板在机壳上滑动，方板沿着机壳径向滑动。
[0007]进一步地，所述变速组件包括滑轴，滑轴固定安装在所述底板上，滑轴上滑动装有变速箱，变速箱内旋转装有中心齿轮、中间齿轮和环型齿轮，中心齿轮与中间齿轮啮合，中间齿轮与环型齿轮啮合，环型齿轮上固定装有同步环，同步环通过固定板与中心轴固定连接。
[0008]进一步地，所述中间齿轮设置两个，分别位于中心齿轮的两侧。
[0009]进一步地，所述环型齿轮与同步环之间通过隔离环固定连接，隔离环上均匀设置多个缺口，所述变速箱内装有润滑油，润滑油通过缺口进入环型齿轮内。
[0010]进一步地，所述中心齿轮内侧滑动装有传动轴，传动轴通过花键带动中心齿轮旋转，所述中心轴靠近变速组件的一端设置内槽，所述传动轴滑动进入中心轴内槽中，花键离开中心齿轮进入中心轴并带动中心轴旋转。
[0011]进一步地，所述动力组件包括变形电机，变形电机固定安装在底板上，变形电机的转轴上固定装有丝杠一，丝杠一上固定装有丝杠二，丝杠一和丝杠二螺纹方向相反，丝杠一上配合有螺纹块一，丝杠二上配合有螺纹块二，螺纹块二和螺纹块一都滑动安装在底板上，螺纹块一上铰接有升降块，升降块固定安装在所述变速箱的下侧，螺纹块二上铰接有连杆二，连杆二与升降块铰接。
[0012]进一步地，所述丝杠二上固定装有丝杠三，丝杠三上配合有套筒，套筒滑动安装在底板上，套筒上滑动装有伸缩杆，伸缩杆上旋转装有传动轴。
[0013]进一步地，所述变速箱侧面旋转装有从动带轮，从动带轮通过键连接与传动轴安装，所述底板上滑动装有电机座，电机座上固定装有真空电机，真空电机转轴上固定装有主动带轮，主动带轮与从动带轮之间通过皮带传动，电机座通过螺栓可固定在底板上。
[0014]本专利技术与现有技术相比的有益效果是：（1）本专利技术通过离心力带动离心块贴在圆槽内，并且通过反光镜反射激光检测中心轴旋转时的状态，当反射激光位置发生较大变化时，停机检查维修，实时检测能够实时保证真空泵处于最佳工作状态，工作误差小；（2）本专利技术可以通过动力组件带动中心轴的偏心距离，进而调整扇叶的偏心距离，偏心距离越大压缩比越大，能够更加迅速的压缩空气抽真空；（3）本专利技术在扇叶偏心距离过大时，采用减速齿轮组工作，增大扭矩，降低电机负荷，保证抽真空平稳运行；（4）本专利技术的激光头设置多个并且均匀排布，这样在旋转时能够得到平衡，旋转的更加平稳，传动更加精确；（5）本专利技术在变速箱内设置润滑油，并且在隔离环上设置缺口，润滑油通过缺口进入环型齿轮，保证整个齿轮组的使用寿命，保证传动精度；（6）本专利技术的动力组件能够调节变速箱的高度，进而调节中心轴和扇叶的高度，也就是改变扇叶的偏心距离，同时能够带动套筒，套筒最终带动传动轴和花键选择不同的传动比，进行传动，两者同时进行不发生干涉，保证机器平稳运行；（7）本专利技术通过螺栓将电机座固定在宽滑槽内，在调节传动比时，拧下螺栓进行调整，这样不用更换皮带，更加方便快捷。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本专利技术整体结构的正视图。
[0017]图3为图2中I
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I处的截面图。
[0018]图4为本专利技术的真空泵组件示意图。
[0019]图5为本专利技术的真空泵组件正视图。
[0020]图6为图5中G
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G处的截面图。
[0021]图7为图6中D处的放大图。
[0022]图8为本专利技术的真空泵组件局部示意图一。
[0023]图9为本专利技术的真空泵组件局部示意图二。
[0024]图10为图9中B处的放大图。
[0025]图11为本专利技术的真空泵组件局部示意图三。
[0026]图12为图11中H
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H处的截面图。
[0027]图13为图12中C处的放大图。
[0028]图14为本专利技术的变速箱的正视图。
[0029]图15为图14中F
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F处的截面图。
[0030]图16为本专利技术的变速箱内部结构示意图一。
[0031]图17为本专利技术的变速箱内部结构示意图二。
[0032]图18为图17中B处的放大图。
[0033]图19为本专利技术变速组件局部示意图。
[0034]图20为本专利技术的动力组件示意图。
[0035]图21为图20中A处的放大图。
[0036]附图标号：1
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真空泵组件；2
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变速组件；3
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动力组件；4
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底板；101
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方板；102
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圆环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于真空设备的高精度传动系统，包括底板（4），底板（4）上装有真空泵组件（1），其特征在于，所述底板（4）上装有变速组件（2）和动力组件（3），通过变速组件（2）和动力组件（3）驱动真空泵组件（1）工作，所述真空泵组件（1）包括机壳（108），机壳（108）的两侧滑动装有方板（101），方板（101）上设置有密封片（107），通过密封片（107）与机壳（108）保持密封，方板（101）内旋转装有中心轴（111），中心轴（111）上固定装有圆环（102），圆环（102）上均匀设置多个滑槽，滑槽内滑动装有离心块（103），离心块（103）的下端设置斜面，斜面上固定装有激光头（104），滑槽底部设置有反光镜（105），反光镜（105）反射激光头（104）发出的光，方板（101）与圆环（102）之间留有缝隙，中心轴（111）旋转时离心块（103）贴住方板（101）。2.如权利要求1所述的一种适用于真空设备的高精度传动系统，其特征在于：所述变速组件（2）驱动中心轴（111）旋转和上下移动，中心轴（111）上固定装有扇叶（110），中心轴（111）带动方板（101）在机壳（108）上滑动，方板（101）沿着机壳（108）径向滑动。3.如权利要求2所述的一种适用于真空设备的高精度传动系统，其特征在于：所述变速组件（2）包括滑轴（201），滑轴（201）固定安装在所述底板（4）上，滑轴（201）上滑动装有变速箱（202），变速箱（202）内旋转装有中心齿轮（203）、中间齿轮（204）和环型齿轮（206），中心齿轮（203）与中间齿轮（204）啮合，中间齿轮（204）与环型齿轮（206）啮合，环型齿轮（206）上固定装有同步环（209），同步环（209）通过固定板（210）与中心轴（111）固定连接。4.如权利要求3所述的一种适用于真空设备的高精度传动系统，其特征在于：所述中间齿轮（204）设置两个，分别位于中心齿轮（203）的两侧。5.如权利要求3所述的一种适用于真空设备的高精度传动系统，其特征在于：所述环型齿轮（206）与同步环（209）之间通过隔离环（207）固定连接，隔离环（207）上均匀设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏，
申请(专利权)人：北京中科科美科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：