表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃及其制备方法技术

本发明专利技术是关于一种表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃及其制备方法，其制备方法包括：1)清洗硫系玻璃基片，抽真空；2)采用电子束蒸发法在所述的硫系玻璃基片上制备增透膜；3)利用磁控溅射法在所述的增透膜上镀制类金刚石膜。本发明专利技术的制备方法在增透膜和类金刚石膜沉积过程中把温度控制在硫系玻璃转变温度以下，不显著改变硫系玻璃加工面形，不发生褶皱和非镀膜面烧蚀现象，附着性能好，能同时提高硫系玻璃的透过率和物理防护性能。

Chalcogenide glass coated with high transparent diamond film on surface and preparation method thereof

The present invention relates to a surface coated with high antireflection diamond-like film chalcogenide glass and a preparation method thereof. The preparation method comprises: 1) chalcogenide glass substrate cleaning, vacuum pumping; 2) chalcogenide glass substrate by electron beam evaporation on the preparation of antireflection film 3); the use of magnetic controlled sputtering plating diamond film in the antireflection film. The preparation method of the invention in the antireflective film and DLC film deposition process to control the temperature in the chalcogenide glass transition temperature, no significant change in chalcogenide glass surface machining, no folds and non coated surface ablation phenomenon, good adhesion, can also improve the transmittance and the physical properties of chalcogenide glass door the.

【技术实现步骤摘要】
表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃及其制备方法
本专利技术涉及一种玻璃深加工领域，特别是涉及一种表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃及其制备方法。
技术介绍
硫系玻璃是指以元素周期表VIA族中S，Se，Te为主并引入一定量的其它类金属元素所形成的玻璃，在红外波段具有优良的透过性能和极佳的温度特性，是红外光学系统热差和色差校正的理想材料。硫系玻璃具有以下主要优点：a)与其它的红外材料相比，硫系玻璃的折射率温度系数较小，在消除光学系统热像差即实现被动无热化设计方面效果显著；b)红外光学系统设计中，硫系玻璃非常适合做正透镜使用，与其它红外光学材料的匹配性优异，能减少元件数量、提升光学系统成像性能；c)较晶体红外材料而言，硫系玻璃制备工艺相对简单，易获得，成本较低。硫系玻璃被视为新一代温度自适应红外光学系统核心透镜材料，可满足精确制导武器、战舰导航以及车载夜视等高端红外成像系统的配套需求。但硫系玻璃自身的硬度小，强度低，承受复杂外界环境能力差，因此在工程应用中必须通过镀膜以提高表面硬度和耐摩擦磨损性能。同时厚度为2mm的硫系玻璃在2-13μm的平均透过率在60-68％之间，透过率无法满足光学设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃的制备方法，其特征在于，其包括:1)清洗硫系玻璃基片，抽真空；2)采用电子束蒸发法在所述的硫系玻璃基片上制备增透膜；3)利用磁控溅射法在所述的增透膜上镀制类金刚石膜。

【技术特征摘要】
1.一种表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃的制备方法，其特征在于，其包括:1)清洗硫系玻璃基片，抽真空；2)采用电子束蒸发法在所述的硫系玻璃基片上制备增透膜；3)利用磁控溅射法在所述的增透膜上镀制类金刚石膜。2.根据权利要求1所述的硫系玻璃的制备方法，其特征在于，所述的步骤2)的真空度小于3×10-3Pa，镀膜温度低于所述硫系玻璃基片的转变温度。3.根据权利要求1所述的表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃的制备方法，其特征在于，所述的步骤3)包括：抽真空至3×10-3Pa以下，通入工作气体，采用间隙式镀膜方式镀制类金刚石膜层，镀膜温度低于所述硫系玻璃基片的转变温度。4.根据权利要求1所述的表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃的制备方法，其特征在于，所述的步骤3)的靶材为高纯石墨；工作压力为0.1-50Pa，沉积功率为10-5000W，靶基距为2-50cm。5.根据权利要求1所述的表面镀有高增透类金刚石膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：伏开虎，金扬利，邱阳，徐博，刘永华，赵华，祖成奎，何坤，王琪，陈玮，张瑞，
申请(专利权)人：中国建筑材料科学研究总院，
类型：发明
国别省市：北京,11