IDT/AlN/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签制造技术

本发明专利技术公开了一种基于IDT/AlN/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签，其中的单端口谐振器部分采用的是IDT/AlN/金刚石多层膜结构，标签天线采用的是倒F天线的形式。采用IDT/AlN/金刚石多层膜结构可以提高标签的传输性能，实现10m以上的射频识别。其标签天线采用的是倒F天线，天线结构简单、重量轻、可共形、制造成本低、辐射效率高，而且F天线易于与谐振器进行良好的匹配，与传统天线有明显的优势。可以降低标签成本，降低天线尺寸，满足现在通信系统的需求。

【技术实现步骤摘要】
IDT/AIN/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签
本专利技术属于自动识别技术和信息存储传输
，是一种基于IDT/A1N/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别(SAW- RFID)的标签的设计，其可以应用于代电子学、声学、微电子工艺技术和雷达信号处理技术等的新成就领域。
技术介绍
。射频识别的推广带来了零售、物流等相关产业革命性的变革，而声表面波射频识别(SAW-RFID)技术以声表面波器件为核心的射频识别技术，其克服了传统以IC芯片为核心的射频识别设备的一些缺点，并且具有无源，识别距离远，能识别高速运动的物体等特点，非常适用于车辆不停车收费识别，路标识别，铁路车辆车号识别；以及列车准确停靠控 制等系统。SAW标签被称为第二代射频标签，由单晶结构的谐振器与标签天线组成，与传统IC标签相比具有很多优势。(I)高频无源SAW标签标签与阅读器相互距离较大时的可靠读取标签信息，可达10米；因此高频无源SAW标签可以代替用电池驱动的高成本有源IC标签。一次准确识别时间约Ims左右。(2)克服了读取信号可能被液体和金属阻断的情况，可使用在金属和液体产品上；标签不仅可贴在非金属物体，也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨保和，孙素娟，徐晟，李翠平，
申请(专利权)人：天津理工大学，
类型：发明
国别省市：