The invention discloses a multilayer ceramic circuit based on photosensitive material and a preparation method thereof. The invention uses photosensitive ceramic composite exposure and development to realize the pattern transfer and the formation of a through hole, and then use the photosensitive metal composite exposure and development to achieve and realize the pattern transfer by filling the through-hole metallization, and then layers of laminated ceramic multilayer circuit structure is prepared to burn, the thickness of ceramic layer and the metal pattern line width can reach the multilayer ceramic circuit of less than 10 microns. The invention effectively improve multilayer ceramic circuit wiring layer, integrated and miniaturized device, solves the problem of multilayer ceramic sintering technology is usually only suitable for making 0201 (inch) above the size of the device, and meet the future needs of electronic device manufacturing in multi-layer wiring layers with higher density.
【技术实现步骤摘要】
一种基于感光材料的多层陶瓷电路及其制备方法
本专利技术属于电子材料与工艺
,具体涉及一种基于感光材料的多层陶瓷电路及其制备方法。
技术介绍
多层陶瓷共烧技术是将电子陶瓷(含铁氧体粉料)采用流延的方式制成厚度均匀及可控的生瓷带,在生瓷带上通过导体印刷工艺制出所需要的电路图形,然后将若干张含有电路图形的生瓷片通过对位和热压的方式实现层与层之间的电气互联并叠压在一起后烧结,从而制成三维空间互不干扰的高密度电路。由于其独特的多层电路结构实现方式及优异的磁电性能,被广泛应用于电子器件及高性能模块的制作中。目前,多层陶瓷共烧技术实现多层电路结构主要是基于流延技术、印刷技术及叠层技术的基础上所完成的,由于受到以上三个技术的精度限制,目前多层陶瓷共烧技术通常只适用于制作英制0201(即0.6mm×0.3mm×0.3mm)尺寸以上的器件。故而,如何能够有效提高多层陶瓷电路的内电极线宽精度、线距精度,降低陶瓷层的厚度,进而实现器件的集成化与微型化,成为研究中所要解决的技术问题。为了解决以上技术问题,亟需一种能够在更小的空间内完成更高密度布线的电路结构。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是为了克服上述技术问题,提供一种基于感光材料的多层陶瓷电路及其制备方法,从而有效提高多层陶瓷电路的内电极线宽精度、线距精度,降低陶瓷层的厚度,进而实现器件的集成化和微型化。为实现上述专利技术目的,本专利技术采用以下技术方案:本专利技术一方面公开一种基于感光材料的多层陶瓷电路,所述多层陶瓷电路是通过将多层超薄生瓷带和多层金属图形层进行叠层后经过共烧形成,其中,生瓷带的材料为感光陶瓷浆料 ...
【技术保护点】
一种基于感光材料的多层陶瓷电路,其特征在于,所述多层陶瓷电路是通过将多层超薄生瓷带和多层金属图形层形成叠层后经过共烧形成,其中,生瓷带的材料为感光陶瓷浆料,金属图形层的材料为感光金属浆料;所述多层陶瓷电路的顶层和底层均为陶瓷层,自所述多层陶瓷电路的一外侧表面朝向相对另一外侧表面方向依次层叠设置有相互间隔的陶瓷层和金属图形层,相互隔离的金属图形层通过其之间陶瓷层设有的金属通孔实现连通,其中,所述陶瓷层的厚度为5微米~20微米,所述金属图形层的线宽最小为4微米,所述金属图形层的线厚范围为4微米~10微米。
【技术特征摘要】
1.一种基于感光材料的多层陶瓷电路,其特征在于,所述多层陶瓷电路是通过将多层超薄生瓷带和多层金属图形层形成叠层后经过共烧形成,其中,生瓷带的材料为感光陶瓷浆料,金属图形层的材料为感光金属浆料;所述多层陶瓷电路的顶层和底层均为陶瓷层,自所述多层陶瓷电路的一外侧表面朝向相对另一外侧表面方向依次层叠设置有相互间隔的陶瓷层和金属图形层,相互隔离的金属图形层通过其之间陶瓷层设有的金属通孔实现连通,其中,所述陶瓷层的厚度为5微米~20微米,所述金属图形层的线宽最小为4微米,所述金属图形层的线厚范围为4微米~10微米。2.根据权利要求1所述的一种基于感光材料的多层陶瓷电路,其特征在于,还包括非感光陶瓷基板作为所述多层陶瓷电路的底层和顶层。3.一种基于感光材料的多层陶瓷电路的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤A:制备金属图形层;在暗室中,将感光导电金属浆料甩涂或者印刷于陶瓷基板表面,进行预烘干处理,然后基于掩膜板对位曝光、显影和固化处理得到金属图形层;步骤B:制备设有通孔的感光陶瓷层;在暗室中,将所述感光陶瓷浆料甩涂或者印刷于所述步骤A制得金属图形层表面,进行预烘干处理,然后基于掩膜板对位曝光、显影和固化处理得到预留出通孔的感光陶瓷层;步骤C:制备金属图形层及金属化通孔;在暗室中,将负性感光导电金属浆料甩涂或者印刷于所述步骤B制得陶瓷层表面,同时将负性感光导电金属浆料填充于经步骤B处理所得通孔中,进行预烘干处理,然后基于...
【专利技术属性】
技术研发人员:李元勋,刘悦,苏桦,韩莉坤,张怀武,廖斌,张恒军,
申请(专利权)人:电子科技大学,赣州市德普特科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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