一种用于微纳加工的电转向器制造技术

本发明专利技术涉及微纳加工领域，具体地来讲为一种用于微纳加工的电转向器。该转向器包括：形状相同的第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体，其中所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的横截面按照十字象限的原点为圆心在四个象限对称分布，相邻两个弧形体之间具有粒子束通过的间隙，其中第一弧形体与第三弧形体以十字象限的原点为圆心对称，所述第二弧形体与第四弧形体以十字象限的原点为圆心对称。本发明专利技术采用四个弧形体相对的两个弧形体极性相同形成的电场带电粒子可直角转向从而将所需要分离的物质分离。

Electric steering device for micro nano machining

The invention relates to the field of micro nano machining, in particular to an electric redirector for micro nano machining. The steering device comprises a first arc shape, the same shape of second arc shape, arc shape and arc shape third fourth, wherein the first arc shape, arc shape, arc shape of second third and fourth arc shape cross section according to the origin of the cross quadrant as the center of the circle in the four quadrant symmetric distribution with particle beam through the gap between the two adjacent arc shape, wherein the first body and the third arc arc shape with the origin as the center of the cross quadrant symmetry, the second arc body and fourth arc shape with the origin as the center of symmetry cross quadrant. The invention uses four arc bodies opposite to the two arc-shaped bodies, and the electric field formed by the polarity is electrically charged, and the particles can be turned at right angles so as to separate the materials which need to be separated.

【技术实现步骤摘要】
一种用于微纳加工的电转向器
本专利技术涉及微纳加工领域，具体地来讲为一种用于微纳加工的电转向器。
技术介绍
近年来，随着纳米颗粒、石墨烯等新功能材料快速兴起，对材料进行微纳加工成为诉求材料性能改善的重要途径。比如，我们可以将纳米颗粒或者石墨烯以磁控溅射的方法产生，然后通过电子枪等方法引入电荷，在飞行过程中对适合加工的颗粒和石墨烯进行转向，以分离未正确处理的组分。但现有的技术中，对电荷转向无法完成物质的安全分离。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种用于微纳加工的电转向器，能够将需要分离的物质通过转向分离。本专利技术是这样实现的，一种用于微纳加工的电转向器，该转向器包括：形状相同的第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体，其中所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的横截面按照十字象限的原点为圆心在四个象限对称分布，相邻两个弧形体之间具有粒子束通过的间隙，其中第一弧形体与第三弧形体以十字象限的原点为圆心对称，所述第二弧形体与第四弧形体以十字象限的原点为圆心对称。进一步地，所述第一弧形体与第三弧形体连接直流电源的正电极。进一步地，所述第二弧形体与第四弧形体连接直流电源的负电极。进一步地，所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的横截面为直角扇形。进一步地，第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的底端固定在一底板上并通过陶瓷垫片隔离。进一步地，所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的圆弧面为光滑面。进一步地，所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体上设置安装孔用于相邻弧形体的固定。进一步地，所述底板为不锈钢板。本专利技术与现有技术相比，有益效果在于：本专利技术采用四个弧形体相对的两个弧形体极性相同形成的电场带电粒子可直角转向从而将所需要分离的物质分离。附图说明图1为本专利技术实施例提供的电转向器的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的弧形体的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参见图1结合图2，一种用于微纳加工的电转向器，该转向器包括：形状相同的第一弧形体1、第二弧形体4、第三弧形体6以及第四弧形体8，其中第一弧形体1、第二弧形体4、第三弧形体6以及第四弧形体8的横截面按照十字象限的原点为圆心在四个象限对称分布，四个弧形相对应，两个弧形体之间具有粒子束通过的间隙，其中第一弧形体1与第三弧形体6以十字象限的原点为圆心对称，第二弧形体4与第四弧形体8以十字象限的原点为圆心对称。相对应的两个第一弧形体1与第三弧形体6连接直流电源的正电极。相对应的两个第二弧形体4与第四弧形体8连接直流电源的负电极。优选的，第一弧形体1、第二弧形体4、第三弧形体6以及第四弧形体8的横截面为直角扇形。将第一弧形体1、第二弧形体4、第三弧形体6以及第四弧形体8的圆弧面7处理为光滑面防止放电。在组装时，第一弧形体1、第二弧形体4、第三弧形体6以及第四弧形体8的底端固定在一底板5上并通过陶瓷垫片隔离。底板5为不锈钢板。参见图2，第一弧形体1、第二弧形体4、第三弧形体6以及第四弧形体8上设置安装孔9用于相邻弧形体的固定，相邻弧形体的之间通过陶瓷板3连接后通过绝缘螺栓2固定。加工时，采用一个圆柱，将圆柱切割为四个1/4的弧形圆柱，单个弧形圆柱采用不锈钢等金属制成，圆弧面做抛光，并可以加工孔洞以利安装。四个弧形圆柱形成的第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体通过绝缘螺栓固定在一个不锈钢板上，各个圆柱和不锈钢板均采用可加工陶瓷垫片隔离。使用实例如下：将对应的两个电极施加正500V，另外两处对应的电极施加负500V，沿图1中的箭头引入带电的石墨烯碎片和纳米颗粒流，在进入之前对颗粒进行加速达到100eV的动能，可以完成给定带电颗粒的偏转。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于微纳加工的电转向器，其特征在于，该转向器包括：形状相同的第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体，其中所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的横截面按照十字象限的原点为圆心在四个象限对称分布，相邻两个弧形体之间具有粒子束通过的间隙，其中第一弧形体与第三弧形体以十字象限的原点为圆心对称，所述第二弧形体与第四弧形体以十字象限的原点为圆心对称。

【技术特征摘要】
1.一种用于微纳加工的电转向器，其特征在于，该转向器包括：形状相同的第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体，其中所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的横截面按照十字象限的原点为圆心在四个象限对称分布，相邻两个弧形体之间具有粒子束通过的间隙，其中第一弧形体与第三弧形体以十字象限的原点为圆心对称，所述第二弧形体与第四弧形体以十字象限的原点为圆心对称。2.按照权利要求1所述的用于微纳加工的电转向器，其特征在于，所述第一弧形体与第三弧形体连接直流电源的正电极。3.按照权利要求1所述的用于微纳加工的电转向器，其特征在于，所述第二弧形体与第四弧形体连接直流电源的负电极。4.按照权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王庆斌，叶军，蔡日，王彩强，谢卓明，黄辉，陈国辉，林明伟，彭继中，宋翰彪，
申请(专利权)人：广东电网有限责任公司云浮供电局，武汉欣泰宇电力电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44