一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法技术

本发明专利技术涉及一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，将LBO晶体依次执行下述步骤：采用无水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶体表面；采用弱碱性溶液对LBO晶体进行超声波清洗，所述弱碱性溶液包括NH

Cleaning method for LBO crystal surface before coating

The present invention relates to a method of cleaning a surface before coating LBO crystal, LBO crystal in order to carry out the steps of: using ethanol and ether mixture used to wipe the surface of LBO crystal; LBO crystal ultrasonic cleaning solution, the alkaline solution including NH

【技术实现步骤摘要】
一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法
本专利技术涉及一种激光晶体超声波清洗方法，尤其是涉及一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法。
技术介绍
三硼酸锂晶体(LBO晶体)是斜方晶系，具有极高的损伤阈值和紫外透过能力，也具有良好的倍频效应。因此，在高功率激光的倍频、参量振荡器件研制中有广阔的应用前景，是目前高功率激光器中常用的非线性光学晶体。为了减少由于界面菲涅尔反射引起的能量损耗，提高系统的运行效率，LBO晶体使用时必须在其表面镀制高性能激光增透薄膜，但由于LBO晶体有弱的潮解特性及其热膨胀系数存在明显的各向异性(αx＝10.8×10-5/K，αy＝-8.8×10-5/K，αz＝3.4×10-5/K)，这给晶体的加工、保存、清洗及后期的镀膜都带来了困难。从基板的加工、清洗到膜系的设计和制备以及后续的激光预处理等过程，都能够影响增透薄膜的激光损伤阈值，而基板清洗作为连接加工和镀膜之间的关键环节，对最终薄膜的激光损伤特性起到决定性作用。对于透射式激光元件，引起其激光损伤的主要因素是基板亚表面处的纳米吸收中心，它主要是由基板在抛光过程中残留在亚表面处的抛光粉末等吸收性物质导致的。同时，LBO晶体热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，将LBO晶体依次执行下述步骤：1)采用无水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶体表面；2)采用弱碱性溶液对LBO晶体进行超声波清洗，所述弱碱性溶液包括NH

【技术特征摘要】
1.一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，将LBO晶体依次执行下述步骤：1)采用无水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶体表面；2)采用弱碱性溶液对LBO晶体进行超声波清洗，所述弱碱性溶液包括NH4OH和H2O2，体积比为NH4OH：H2O2：H2O＝1:8:50；3)采用无水乙醇对LBO晶体进行漂洗；4)将LBO晶体放置于装有无水乙醇的密闭容器内，对LBO晶体进行超声加热清洗；5)取出LBO晶体，重复步骤3)；6)在正压容器环境中干燥氮气风刀对LBO晶体进行干燥。2.根据权利要求1所述的LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，所述弱碱性溶液由去离子水、双氧水和氨水配制而成，配制的先后顺序为：去离子水、双氧水和氨水。3.根据权利要求1所述的LBO...

【专利技术属性】
技术研发人员：王占山，焦宏飞，钮信尚，何宇，鲍刚华，马彬，张锦龙，程鑫彬，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：上海,31