【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜装置
,具体为一种双激光辐照器表面镀膜装置。
技术介绍
进行表面镀膜的处理由于加热丝和离子化丝产生高温,往往会导致加热丝和离子化丝构成材料的一部分蒸发,并混入蒸镀材料的蒸汽中成为杂质,从而最终造成功能薄膜纯度降低,影响成膜质量,例如专利号为201120144899.6的专利,包括真空容器,内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩锅,用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的第一激光辐照器,用于产生离子化蒸镀材料蒸汽的激光束的第二激光辐照器,虽然强化了离子化的效率,但是不能保证真空箱内的真空度,在镀膜过程中很可能发生氧化的现象,同时每次只能镀膜一个,需要反复地拿取,效率低下。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种双激光辐照器表面镀膜装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种双激光辐照器表面镀膜装置,包括真空箱,所述真空箱的右侧顶端固定安装有控制器,所述真空箱的左右两侧底端分别设有第二激光发生器和第一激光发生器,所述第二激光发生器和第一激光发生器均与控制器电性连接,所述真空箱的内腔左侧设有第二激光辐照器,所述第二激光发生 ...
【技术保护点】
一种双激光辐照器表面镀膜装置,包括真空箱,其特征在于:所述真空箱的右侧顶端固定安装有控制器,所述真空箱的左右两侧底端分别设有第二激光发生器和第一激光发生器,所述第二激光发生器和第一激光发生器均与控制器电性连接,所述真空箱的内腔左侧设有第二激光辐照器,所述第二激光发生器与第二激光辐照器相连,所述真空箱的内腔右上角设有第一激光辐照器,所述第一激光发生器与第一激光辐照器相连,所述第一激光辐照器的右侧设有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆与控制器电性连接,所述第一电动伸缩杆的右侧与真空箱相连,所述真空箱的内腔底端固定安装有第二滑杆,所述第二滑杆的顶端设有支撑座,所述第二滑杆与支撑座 ...
【技术特征摘要】
1.一种双激光辐照器表面镀膜装置,包括真空箱,其特征在于:所述真空箱的右侧顶端固定安装有控制器,所述真空箱的左右两侧底端分别设有第二激光发生器和第一激光发生器,所述第二激光发生器和第一激光发生器均与控制器电性连接,所述真空箱的内腔左侧设有第二激光辐照器,所述第二激光发生器与第二激光辐照器相连,所述真空箱的内腔右上角设有第一激光辐照器,所述第一激光发生器与第一激光辐照器相连,所述第一激光辐照器的右侧设有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆与控制器电性连接,所述第一电动伸缩杆的右侧与真空箱相连,所述真空箱的内腔底端固定安装有第二滑杆,所述第二滑杆的顶端设有支撑座,所述第二滑杆与支撑座滑动连接,所述支撑座的顶端固定安装有坩锅,所述支撑座的右侧设有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆与控制器电性连接,所述第二电动伸缩杆的右侧与真空箱相连,所述真空箱的内腔顶端设有第一滑杆,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵亚云,陈亚杰,
申请(专利权)人:郑州工业应用技术学院,
类型:新型
国别省市:河南;41
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