【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光催化
，具体涉及一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法。
技术介绍
随着社会的发展，人类对能源的需求在不断的增长，由此而带来的能源危机和环境问题是我们所面临的最迫切的问题。氢能是一种可再生的二次能源，具有清洁、能量密度高、导热性好、反应速度快和存储多样化等优点。一般用来作为光电化学制氢电池的半导体材料有TiO2、ZnO、SrTiO3、SiC、GaN、CdS等(Adeli,B.and F.Taghipour,A Review of Synthesis Techniques for Gallium-Zinc Oxynitride Solar-Activated Photocatalyst for Water Splitting.Ecs Journal of Solid State Science and Technology,2013.2(7):118-126.)。然而，绝大多数半导体材料存在着带隙比较大(一般大于3eV)的缺点，只能利用太阳光总能量4％左右的紫外光，如何发展稳定高效的半导体光催化材料，使其能利用太阳辐射的可见光部分，成为近年来研...
【技术保护点】
一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，采用脉冲激光沉积法制备，靶材采用高纯的氧化锌和氮化镓，分别装载在相距30度角的靶材托盘上，靶材和衬底之间的距离保持在7cm，具体包括如下几个步骤：1)衬底清洗，用氮气吹干后放入真空腔，2)采用机械泵和分子泵的抽真空使得沉积室的真空度达到5×10‑7Torr，通入高纯氮气，气体流量为30sccm，静置一段时间使得沉积室内的真空度稳定为1.2×10‑2Torr，3)预沉积，衬底采用分隔板遮挡，用激光对氧化锌和氮化镓靶材进行预轰击，4)激光先轰击氧化锌靶材25次，然后转换到氮化镓靶材轰击25次，如此为一个循环，重复循环300次，5...
【技术特征摘要】
1.一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，采用脉冲激光沉积法制备，靶材采用高纯的氧化锌和氮化镓，分别装载在相距30度角的靶材托盘上，靶材和衬底之间的距离保持在7cm，具体包括如下几个步骤：1)衬底清洗，用氮气吹干后放入真空腔，2)采用机械泵和分子泵的抽真空使得沉积室的真空度达到5×10-7Torr，通入高纯氮气，气体流量为30sccm，静置一段时间使得沉积室内的真空度稳定为1.2×10-2Torr，3)预沉积，衬底采用分隔板遮挡，用激光对氧化锌和氮化镓靶材进行预轰击，4)激光先轰击氧化锌靶材25次，然后转换到氮化镓靶材轰击25次，如此为一个循环，重复循环300次，5)通入高纯氮气冷却后得到氧化锌/氮化镓复合薄膜。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：咸冯林，徐林华，郑改革，匡文剑，李金花，曹兆楼，裴世鑫，赖敏，
申请(专利权)人：南京信息工程大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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