【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于应用于新能源行业,用于切片后辅材的回收利用,具体涉及一种晶棒表面浆料回收的前处理装置。
技术介绍
现有硅片切割后都是用自来水冲洗晶棒,将晶棒表面的浆料冲洗干净,其表面粘附的浆料约有4-5KG,浆料包括碳化硅和聚乙二醇,冲洗后废液都进入污水处理站,产生浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有的技术缺点,提供一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,通过本装置可以对晶棒表面浆料的回收进行前置处理步骤,再进行回收利用,节约了资源,降低了成本,避免了浪费和污染。为解决上述技术问题,本专利技术的技术方案是:一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,包括脱胶车、浸泡槽壁和浆料回收桶,所述脱胶车包括车架,所述车架为框架结构,车架底部设有四个车轮,车架顶部设有操作平台,所述操作平台上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽,所述浸泡槽壁固定在操作平台上,包绕在第一凹槽外部,与第一凹槽结合形成一个完整的浸泡槽,所述浸泡槽的体积为110L;所述第一凹槽上放液口,放液口通过放液管道与浆料回收桶相连接,所述放液口上设有阀门。上述一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,其中,所述前处理装置的前处理方法如下:(1)在浸泡槽中注入50KG的水;(2)将1刀长度为900mm的含有浆料的晶棒浸没在水中,5min后将晶棒取出;(3)重复步骤(2)的操作,此时,晶棒表面浆料中的聚乙二醇溶解在水中,浆料中的碳化硅悬浮在水中,形成浑浊的浸泡液;(4)24h后,打开晶棒表面浆料回收的前处理装置的阀门,将浸 ...
【技术保护点】
一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,其特征为,包括脱胶车、浸泡槽壁和浆料回收桶,所述脱胶车包括车架,所述车架为框架结构,车架底部设有四个车轮,车架顶部设有操作平台,所述操作平台上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽,所述浸泡槽壁固定在操作平台上,包绕在第一凹槽外部,与第一凹槽结合形成一个完整的浸泡槽,所述浸泡槽的体积为110L;所述第一凹槽上放液口,放液口通过放液管道与浆料回收桶相连接,所述放液口上设有阀门。
【技术特征摘要】
1.一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,其特征为,包括脱胶车、浸泡槽壁和浆料回收桶,所述脱胶车包括车架,所述车架为框架结构,车架底部设有四个车轮,车架顶部设有操作平台,所述操作平台上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽,所述浸泡槽壁固定在操作平台上,包绕在第一凹槽外部,与第一凹槽结合形成一个完整的浸泡槽,所述浸泡槽的体积为110L;
所述第一凹槽上放液口,放液口通过放液管道与浆料回收桶相连接,所述放液口上设有阀门。
2.如权利要求1所述的一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,其中,所述前处理装置的前处...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱孝吉,王禄宝,
申请(专利权)人:江苏美科硅能源有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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