一种硅片切割机用切削液冷却装置制造方法及图纸

技术编号:12708767 阅读:65 留言:0更新日期:2016-01-14 13:07
本实用新型专利技术涉及一种硅片切割机用切削液冷却装置,解决了现有技术中硅片切割装置用切削液冷却系统冷却效率低的不足。本实用新型专利技术提供的一种硅片切割机用切削液冷却装置,通过在进水管道上设置分流阀,并且分流阀与冷水塔之间并联有至少两个冷水机,工作过程中位于进水管道内的水先经分流阀分出若干支流,然后再由冷水机对每个支流的水进行单独冷却,大大提高了冷水机的冷却效率;另外,冷水塔与储水桶之间设有水温检测器,水温检测器与储水桶之间串接有换向阀,水温检测器对冷水塔内排出的水进行测温,温度符合要求时排至储水桶,温度不符合要求时排至进水管道重新冷却,大大提高了储水桶内水温的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片切割机配件,尤其涉及一种硅片切割机用切削液冷却装置
技术介绍
硅片的生产之前采用的是钢线载砂浆切割,而如今直接用一种特制的金钢线带水切割,此技术不仅大大缩短了生产加工时间,并且使产品的整体质量上了一个台阶,生产成本同时大幅度下降。而金刚线切割技术对于水质的要求较高,例如,需要水具有一定低的温度,以使切割工作可以正常进行。现有技术中用于硅片切割机的切削液冷却系统结构不合理,造成切削液的温度波动范围大、冷却系统的冷却效率低。
技术实现思路
本技术提供的一种硅片切割机用切削液冷却装置,旨在克服现有技术中硅片切割机用切削液冷却装置的冷却效率低、切削液温度波动大的不足。为了解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种硅片切割机用切削液冷却装置,包括进水管道、出水管道、冷水机、冷水塔和储水桶,所述冷水机串接至进水管道与冷水塔之间,所述储水桶串接至冷水塔与出水管道之间,所述进水管道与冷水机之间串接有分流阀,所述分流阀与冷水塔之间设置有至少两个冷水机,至少两个冷水机并联于分流阀与冷水塔之间,所述冷水塔与储水桶之间设置有水温检测器,所述水温检测器与储水桶之间设有换向阀,所述换向阀上固定有控制换向阀动作的控制器,所述控制器与水温检测器通讯,所述换向阀分别与储水桶、进水管道相通,水温符合要求时水流经换向阀进入储水桶,水温不符合要求时水流经换向阀进入进水管道。上述构成中,进水管道上串接有分流阀,并且分流阀与冷水塔之间并联有至少两个冷水机,具体工作过程中,由至少两个冷水机对分流阀分流后的水进行冷却,大大提高了冷却装置的冷却效率;另外,冷水塔与储水桶之间设有水温检测器,水温检测器与储水桶之间串接有换向阀,由水温检测器检测冷水塔内排出的水,水温符合要求时,直接将水排至储水桶,水温不符合要求时,将水排至进水管道并依次经过各冷却设备进行再次冷却,最后重新检测,确保进入储水桶内的水温度符合要求,减小了水温的波动幅度。一种可选的方案,所述储水桶上设有进水口,所述进水口与换向阀相通,所述进水口内设有第一单向阀,所述储水桶内设有与进水口相通的混合水管,所述混合水管上开设有若干个排水孔,所述混合水管盘绕在储水桶内。在混合水管上开设若干个排水孔,位于混合水管内的水由若干个排水孔排出,使得由排水孔内排出的水与储水桶内原有的水混合均匀,从而使得经出水管道排出的水的温度具有较小的波动幅度。一种可选的方案,所述储水桶内设有温度检测器,所述储水桶内还设有制冷装置,所述制冷装置上固定有控制制冷装置工作的控制装置,所述控制装置与温度检测器通讯,所述混合水管盘绕在制冷装置上。储水桶用于储存水温合格的水,但是由于环境温度的影响,长期存储于储水桶内的水水温可能会产生变化,制冷装置可以对储水桶内的水进行强制降温,从而确保经出水管道排出的水的温度具有较小的波动范围。所述换向阀通过回流管与进水管道相通,所述回流管内设有第二单向阀。在回流管内设置第二单向阀可以避免进水管道内的水进入回流管,减小了水在管道中的损失。所述储水桶上包裹有至少一层隔热层,所述出水管道上包裹有至少一层隔热层。通过在储水桶和出水管道上包裹至少一层隔热层,减小了环境温度对位于储水桶、出水管道内水的影响。与现有技术相比,本技术提供的一种硅片切割机用切削液冷却装置,具有如下优点:通过在进水管道上设置分流阀,并且分流阀与冷水塔之间并联有至少两个冷水机,工作过程中位于进水管道内的水先经分流阀分出若干支流,然后再由冷水机对每个支流的水进行单独冷却,大大提高了冷水机的冷却效率;另外,冷水塔与储水桶之间设有水温检测器,水温检测器与储水桶之间串接有换向阀,水温检测器对冷水塔内排出的水进行测温,温度符合要求时排至储水桶,温度不符合要求时排至进水管道重新冷却,大大提高了储水桶内水温的稳定性;储水桶内设置温度检测器和制冷装置,进一步确保储水桶内水温的稳定性能;而通过在储水桶、出水管道上均包裹隔热层,减小了环境温度对水温的影响,进一步提高了水温的稳定性。附图说明附图1是本技术一种硅片切割机用切削液冷却装置的示意图。具体实施方式下面结合附图,对本技术的一种硅片切割机用切削液冷却装置作进一步说明。如图1所示,一种硅片切割机用切削液冷却装置,包括进水管道1,该进水管道1将若干台参与切割的切割机废液汇聚在一起,以便统一冷却;出水管道2,该出水管道2将储水桶5内的水供给至若干台参与切割的切割机;冷水机3,用于对水进行第一次冷却;冷水塔4,用于对水进行第二次冷却;储水桶5,用于储存冷却后的水;参见图1,所述冷水机3串接至进水管道1与冷水塔4之间,所述储水桶5串接至冷水塔4与出水管道2之间,所述进水管道1与冷水机3之间串接有分流阀6,所述分流阀6与冷水塔4之间设置有至少两个冷水机3,至少两个冷水机3并联于分流阀6与冷水塔4之间,进入进水管道1内的水首先被分流阀6分出若干支流,然后由至少两个冷水机3分别对若干支流上的水进行冷却,为了提高冷水机3的冷却效率,每条支流应由单独的冷水机3进行冷却;水流经冷水机3第一次冷却后再集中至冷水塔4中进行第二次冷却,然后由冷水塔4内排出;参见图1,在实际使用过程中,由冷水塔4排出的水的温度不一定都是符合要求的,如某台冷水机3损坏,造成冷水机3无法冷却等因素,所以应检测冷水塔4内排出的水的水温,以提高储水桶5内水温的稳定性,如:所述冷水塔4与储水桶5之间设置有水温检测器7,所述水温检测器7与储水桶5之间设有换向阀8,所述换向阀8上固定有控制换向阀8动作的控制器9,所述控制器9与水温检测器7通讯,控制器9与水温检测器7可以通过有线或无线的方式通讯,所述换向阀8分别与储水桶5、进水管道1相通,水温符合要求时水流经换向阀8进入储水桶5,水温不符合要求时水流经换向阀8进入进水管道1,所述换向阀8通过回流管17与进水管道1相通,所述回流管17内设有第二单向阀18,该第二单向阀18应安装在回水管与进水管道1相接的位置上,以避免进水管道1内的水进入回水管;该换向阀8可以采用电磁阀,以便于控制;参见图1,温度符合要求的水进入储水桶5,并由储水桶5存储,以供切割机使用。储水桶5与出水管道2相通,温度符合要求的水由出水管道2引至切割现场,分别供给至若干切割机。上述技术方案中的储水桶5内存储有大量的水,也就是说一个储水桶5可以同时满足一台以上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:包括进水管道(1)、出水管道(2)、冷水机(3)、冷水塔(4)和储水桶(5),所述冷水机(3)串接至进水管道(1)与冷水塔(4)之间,所述储水桶(5)串接至冷水塔(4)与出水管道(2)之间,所述进水管道(1)与冷水机(3)之间串接有分流阀(6),所述分流阀(6)与冷水塔(4)之间设置有至少两个冷水机(3),至少两个冷水机(3)并联于分流阀(6)与冷水塔(4)之间,所述冷水塔(4)与储水桶(5)之间设置有水温检测器(7),所述水温检测器(7)与储水桶(5)之间设有换向阀(8),所述换向阀(8)上固定有控制换向阀(8)动作的控制器(9),所述控制器(9)与水温检测器(7)通讯,所述换向阀(8)分别与储水桶(5)、进水管道(1)相通,水温符合要求时水流经换向阀(8)进入储水桶(5),水温不符合要求时水流经换向阀(8)进入进水管道(1)。

【技术特征摘要】
1.一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:包括进水管道(1)、出
水管道(2)、冷水机(3)、冷水塔(4)和储水桶(5),所述冷水机(3)
串接至进水管道(1)与冷水塔(4)之间,所述储水桶(5)串接至冷水
塔(4)与出水管道(2)之间,所述进水管道(1)与冷水机(3)之间串
接有分流阀(6),所述分流阀(6)与冷水塔(4)之间设置有至少两个冷
水机(3),至少两个冷水机(3)并联于分流阀(6)与冷水塔(4)之间,
所述冷水塔(4)与储水桶(5)之间设置有水温检测器(7),所述水温检
测器(7)与储水桶(5)之间设有换向阀(8),所述换向阀(8)上固定
有控制换向阀(8)动作的控制器(9),所述控制器(9)与水温检测器(7)
通讯,所述换向阀(8)分别与储水桶(5)、进水管道(1)相通,水温符
合要求时水流经换向阀(8)进入储水桶(5),水温不符合要求时水流经
换向阀(8)进入进水管道(1)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:
所述储水桶(5)上设有进水口(10),所述进水口(10...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈小力戴忠杰
申请(专利权)人:浙江辉弘光电能源有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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