一种硅片喷砂机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片喷砂机，解决了现有技术中喷砂设备结构不合理、观察口清洁不方便的不足。本实用新型专利技术提供的一种硅片喷砂机，箱体上开设有放置亚克力板的装配槽，亚克力板放置在装配槽内以后由压紧框对亚克力板进行压紧，亚克力板上卡接有密封圈以提高亚克力板的密封性能，密封圈可以避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境，长期使用后，封闭观察窗口的亚克力板上可能积聚较多的杂物，影响操作人员的视线，此时，操作人员可以方便地松开压紧框，然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗，清洗完毕后再将亚克力板装配至装配槽内，操作方便。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种硅片喷砂机。
技术介绍
硅片在生产过程中，将硅锭切割成硅片后部分硅片可能需要进行喷砂处理，以利于硅片的后续处理。现有技术中没有专门针对硅片进行喷砂处理的装置，由于硅片生产过程中可能并不需要对所有硅片进行喷砂，因此，现有技术中对硅片进行喷砂时均在生产现场直接进行，硅片喷砂处理过程中砂料回收率低，并且，由于喷砂时没有防护措施，硅片的喷砂过程对环境影响大。为此，现有技术中有采用其它喷砂设备对硅片进行喷砂处理，但是现有技术中的喷砂设备结构不合理，长期使用后观察口上积聚较多的灰尘，观察口清洁不方便，造成操作人员无法直观地观察喷砂过程，影响硅片的喷砂质量。
技术实现思路
本技术提供的一种硅片喷砂机，旨在克服现有技术中喷砂设备结构不合理、观察口清洁不方便的不足。为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案:一种硅片喷砂机，包括箱体，所述箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板，所述隔板上开设有排砂口，所述箱体上开设有取放窗口，所述箱体上还开设有观察窗口，所述取放窗口和观察窗口均与上腔相通，所述箱体上还固定有封闭观察窗口的亚克力板，所述箱体上设有封闭取放窗口的密封板，所述箱体上开本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片喷砂机，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔(2)和下腔(3)的隔板(4)，所述隔板(4)上开设有排砂口(5)，所述箱体(1)上开设有取放窗口(6)，所述箱体(1)上还开设有观察窗口(7)，所述取放窗口(6)和观察窗口(7)均与上腔(2)相通，所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(7)的亚克力板(8)，所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9)，所述箱体(1)上开设有放置亚克力板(8)的装配槽(10)，所述装配槽(10)内固定有将亚克力板(8)压紧在装配槽(10)内的压紧框(11)，所述压紧框(11)通过压紧螺钉固定在箱体(1)上，所述亚克力板...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小力，张光法，
申请(专利权)人：浙江辉弘光电能源有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33