一种石墨等离子源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨等离子源，包括石墨阳极环、阳极盖板；石墨阳极环与阳极盖板相连形成容纳空腔，容纳空腔内设有石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板；石墨阴极设于冷却池的顶部；冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，磁钢的N极和S极呈上下分布，与磁钢环的磁极分布方向相反，且磁钢置于磁钢环的中心位置；冷却池盖板和第一绝缘板设于冷却池和阳极盖板间；第二绝缘板设于阳极盖板下方；进水管和出水管贯穿极靴、冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板，且进水管和出水管与冷却池盖板固定连接，进水管和出水管的底端分别连接有第一紧固件和第二紧固件。本实用新型专利技术结构简单，生产成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨等离子源
本技术属于电子机械
，具体涉及一种石墨等离子源。
技术介绍
等离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。现有的等离子源包括电容耦合等离子体源、电感耦合高频等离子源和微波等离子源。以上等离子源都需要成本昂贵的射频电源和微波电源发生器驱动，而且等离子源结构较为复杂，制备成本较高。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出一种石墨等离子源，其结构简单，可采用直流电源驱动，从而降低制备成本。实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：一种石墨等离子源，包括石墨阳极环、阳极盖板、石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板、第二绝缘板、进水管、出水管、第一紧固件和第二紧固件；所述石墨阳极环与阳极盖板相连形成顶部开口的容纳空腔，石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板均设于容纳空腔内；所述石墨阴极设于冷却池的顶部；所述冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，磁钢的N极和S极呈上下分布，与磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨等离子源，其特征在于：包括石墨阳极环、阳极盖板、石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板、第二绝缘板、进水管、出水管、第一紧固件和第二紧固件；所述石墨阳极环与阳极盖板相连形成顶部开口的容纳空腔，石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板均设于容纳空腔内；所述石墨阴极设于冷却池的顶部；所述冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，磁钢的N极和S极呈上下分布，与磁钢环的磁极分布方向相反，且磁钢置于磁钢环的中心位置；所述冷却池盖板和第一绝缘板顺次设于冷却池和阳极盖板之间；所述第二绝缘板设于阳极盖板下方；所述进水管和出水管均依次贯穿冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板，...

【技术特征摘要】
1.一种石墨等离子源，其特征在于：包括石墨阳极环、阳极盖板、石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板、第二绝缘板、进水管、出水管、第一紧固件和第二紧固件；所述石墨阳极环与阳极盖板相连形成顶部开口的容纳空腔，石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板均设于容纳空腔内；所述石墨阴极设于冷却池的顶部；所述冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，磁钢的N极和S极呈上下分布，与磁钢环的磁极分布方向相反，且磁钢置于磁钢环的中心位置；所述冷却池盖板和第一绝缘板顺次设于冷却池和阳极盖板之间；所述第二绝缘板设于阳极盖板下方；所述进水管和出水管均依次贯穿冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板，且进水管和出水管与冷却池盖板固定连接，进水管和出水管的顶端位于冷却池内，进水管和出水管的底端分别与第一紧固件和第二紧固件连接，用于实现将冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板紧密贴合。2.根据权利要求1所述的一种石...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯斌，顾骏，吴疆，金浩，王德苗，
申请(专利权)人：苏州求是真空电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32