石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层介质层、中间层和顶层的石墨烯纳米阵列层；所述的石墨烯纳米阵列层为纳米粒子结构的石墨烯阵列层。这种装置中由于石墨烯的低损耗、良好导体特性克服了信道中自发辐射产生的噪声损耗；采用的纳米粒子阵列不仅易于传播SPPs，且对于痕量气体分子的吸附效果具有显著的改进；检测的痕量气体不仅可以针对单一气体的检测，还可针对特殊环境中多种有毒气体测量。这一装置提供了一种高灵敏度、测量范围宽的传感器件，且以现有制备技术而言，易于实现。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感技术，具体是石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置。
技术介绍
目前，基于碳纳米管的传感器对不同类型的气体和蒸气分子包括毒性气体具有较好的检测灵敏度，检测范围低至10-9甚至10-12数量级。碳纳米管对无机气体敏感性的研究报道很多，如单壁碳纳米管对O2、NO2、NH3的气敏性，以及多壁碳纳米管对NO2、H2、NH3的气敏性，其中对NO2的检测限达到了10-8。然而碳纳米管传感器价格昂贵，制备复杂，限制了其大范围使用。改性碳纳米管气体传感器还存在着一些不足，与某些气体分子间的相互作用较弱，检测效果不理想，改性方法还有待完善。如何进一步提高碳纳米管气体传感器的选择性，以便在复杂气体环境中实现选择性检测仍然是一个有待解决的问题。石墨烯是零带隙半导体，具备独特的载流子特性和优异的电学性能。除此之外，石墨烯的拉伸模量和极限强度与单壁碳纳米管（SWCNT）相当，且质量轻，导热性好，比表面积大。与昂贵的富勒烯和碳纳米管相比，氧化石墨烯价格低廉，原料易得，更具竞争优势。澳大利亚联邦科工组织（CSIRO）的科学家研发出新型石墨烯纳米传感器，能够探本文档来自技高网...

【技术保护点】
石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层介质层、中间层和顶层的石墨烯纳米阵列层。

【技术特征摘要】
1.石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层介质层、中间层和顶层的石墨烯纳米阵列层。
2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱君，徐汶菊，秦柳丽，宋树祥，傅得立，
申请(专利权)人：广西师范大学，
类型：发明
国别省市：广西;45