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本实用新型公开了一种石墨等离子源，包括石墨阳极环、阳极盖板；石墨阳极环与阳极盖板相连形成容纳空腔，容纳空腔内设有石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板；石墨阴极设于冷却池的顶部；冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，...
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