The utility model discloses a multi-stage distillation device DISILANES silane separation and recovery, including the first distillation column, second distillation tower, third distillation tower and auxiliary distillation tower; exhaust second distillation, distillation tower and distillation tower third auxiliary port respectively with second tanks, third tanks and abandoned abandoned abandoned auxiliary tank connection; the first column, second column, third column and auxiliary column below respectively with the first and second reboiler reboiler, third reboiler and auxiliary reboiler connected; the first distillation column, second distillation column, third distillation column and the auxiliary condenser are arranged in the first condenser and the second condenser, condenser third and the auxiliary condenser; second distillation tower outlet is connected with the third column, third column outlet is connected with the DISILANES storage tank. The utility model has the advantages that the auxiliary rectifying column can recycle the silane to ensure the safety of the silane; the third rectifying tower carries out the two rectification for the ammonia gas to ensure the purity of the silane.
【技术实现步骤摘要】
实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置
本技术涉及乙硅烷的制备装置,具体涉及一种实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置。
技术介绍
乙硅烷作为一种电子气体,主要用于太阳能电池以及电子产品中。目前,太阳能电池及电子产品中所用到的非晶硅的生产中,非晶硅薄膜大部分采用硅烷作为淀积源。但乙硅烷与硅烷相比,具有沉积速度快、沉积温度低的优点,因此乙硅烷的市场前景很大。现在制备乙硅烷的方法也有很多,其中包括硅化镁与氯化铵置于在液氨中反应,得到硅烷、乙硅烷、氨气和氢气等混合气体。因此,需要通过精馏获得高纯度的乙硅烷。目前的精馏设备可能会有氨气残留,影响乙硅烷的纯度,而且对硅烷并没有进行精馏处理。
技术实现思路
为解决现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种即能对硅烷精馏,又能保证乙硅烷的纯度的实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置。为了实现上述目标,本技术采用如下的技术方案:实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置,包括依次连接的第一精馏塔、第二精馏塔,其特征在于,还包括与第一精馏塔的顶部排气口连接的辅助精馏塔,与第二精馏塔连接的第三精馏塔;第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔的顶部排气口分别与第二废弃罐、第三废弃罐和辅助废弃罐连接;第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔下方分别与第一再沸器、第二再沸器、第三再沸器和辅助再沸器连接;第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助冷凝器内分别设有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和辅助冷凝器;第二精馏塔的底部出料口与第三精馏塔连接,第三精馏塔的底部出料口与乙硅烷存储罐连接。更进一步的说,辅助精馏塔的底部出料口与辅助存储罐连接。更进一步的说,第 ...
【技术保护点】
实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置,包括依次连接的第一精馏塔、第二精馏塔,其特征在于,还包括与所述第一精馏塔的顶部排气口连接的辅助精馏塔,与所述第二精馏塔连接的第三精馏塔;所述第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔的顶部排气口分别与第二废弃罐、第三废弃罐和辅助废弃罐连接;所述第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔下方分别与第一再沸器、第二再沸器、第三再沸器和辅助再沸器连接;所述第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助冷凝器内分别设有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和辅助冷凝器;所述第二精馏塔的底部出料口与所述第三精馏塔连接,所述第三精馏塔的底部出料口与乙硅烷存储罐连接;所述辅助精馏塔的底部出料口与辅助存储罐连接;所述第一冷凝器的温度小于所述第二冷凝器的温度。
【技术特征摘要】
1.实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置,包括依次连接的第一精馏塔、第二精馏塔,其特征在于,还包括与所述第一精馏塔的顶部排气口连接的辅助精馏塔,与所述第二精馏塔连接的第三精馏塔;所述第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔的顶部排气口分别与第二废弃罐、第三废弃罐和辅助废弃罐连接;所述第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔下方分别与第一再沸器、第二再沸器、第三再沸器和辅助再沸器连接;所述第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助冷凝器内分别设有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和辅助冷凝器;所述第二精馏塔的底部出料口与所述第三精馏塔连接,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐昕,郑春宁,何波,
申请(专利权)人:南京亚格泰新能源材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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