高纯乙硅烷尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱，处理箱左端设有进气管，处理箱右端设有出气管，处理箱内左端第一输送管，第一输送管左端与进气管连接，第一输送管内设有过滤板，处理箱内中间设有第二输送管，第二输送管左端与第一输送管右端连接，第二输送管上侧设有输液管，输液管下端连接有喷头，喷头下端伸出第二输送管内，处理箱内右端设有第三输送管，第三输送管左端与第二输送管连接，第三输送管右端与出气管连接，第三输送管内设有吸附板。通过多段输送进行多次处理，提高尾气处理效果，结构简单，使用方便。

【技术实现步骤摘要】
高纯乙硅烷尾气处理装置
本技术涉及超净高纯试剂及特种气体领域，尤其涉及一种高纯乙硅烷尾气处理装置。
技术介绍
硅烷气体是一种可燃气体，广泛用于芯片制造等电子工业，在气体行业中，往往把硅烷与惰性气体或者氢气混合后充装入气瓶，供给芯片厂使用，当从芯片厂等客户使用到气瓶中压力小于5bar时,既退回气体钢瓶充装工厂重新充装，充装工厂需把气瓶中的残余气体排放完全才能进行充装。硅烷在空气中含量大于0.1%就会自燃，产生大量烟尘，如直接排放不但会污染环境、而且操作不慎，可能引燃可燃物，造成严重的安全事故。因此解决这个问题就变得很重要了。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，通过多段输送进行多次处理，解决了现有硅烷尾气排放时存在环境污染、产生安全隐患的问题。本技术提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱，处理箱左端设有进气管，处理箱右端设有出气管，处理箱内左端第一输送管，第一输送管左端与进气管连接，第一输送管内设有过滤板，处理箱内中间设有第二输送管，第二输送管左端与第一输送管右端连接，第二输送管上侧设有输液管，输液管下端连接有喷头，喷头下端伸出第二输送管内，处理箱内右端设有第三输送管，第三输送管左端与第二输送管连接，第三输送管右端与出气管连接，第三输送管内设有吸附板。进一步改进在于：所述第一输送管、第二输送管、第三输送管都为螺旋结构。进一步改进在于：第一输送管、第二输送管、第三输送管之间都设有单向阀。进一步改进在于：第二输送管下方设有废液池，第二输送管下侧与废液池之间通过排液管连接。本技术的有益效果：通过利用第一输送管、第二输送管、第三输送管进行依次处理，过滤板对尾气中含有的颗粒杂质进行过滤处理，输液管输入碱液并通过喷头进行喷洒，对尾气进行中和，吸附板对尾气中含有的杂质进行吸附，同时第一输送管、第二输送管、第三输送管采用螺旋结构设置，提高了尾气输送距离，大大提高了尾气净化处理效果。附图说明图1是本技术的主视结构图。其中：1-处理箱，2-进气管，3-出气管，4-第一输送管，5-过滤板，6-第二输送管，7-输液管，8-喷头，9-第三输送管，10-吸附板，11-单向阀，12-废液池，13-排液管。具体实施方式为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术作进一步详述，该实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。如图1所示，本实施例提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱1，处理箱1左端设有进气管2，处理箱1右端设有出气管3，处理箱1内左端第一输送管4，第一输送管4左端与进气管2连接，第一输送管4内设有过滤板5，处理箱1内中间设有第二输送管6，第二输送管6左端与第一输送管4右端连接，第二输送管6上侧设有输液管7，输液管7下端连接有喷头8，喷头8下端伸入第二输送管6内，处理箱1内右端设有第三输送管9，第三输送管9左端与第二输送管6连接，第三输送管9右端与出气管3连接，第三输送管9内设有吸附板10。所述第一输送管4、第二输送管6、第三输送管9都为螺旋结构，尾气沿螺旋结构输送，提高了尾气输送距离，使尾气处理更加彻底。第一输送管4、第二输送管6、第三输送管9之间都设有单向阀11，防止尾气回流，影响后续处理。第二输送管6下方设有废液池12，第二输送管6下侧与废液池12之间通过排液管13连接。尾气通过进气管2进入处理箱1内，沿第一输送管4螺旋方向移动，过滤板5对尾气中的杂质颗粒进行过滤，初次过滤后进入第二输送管6，并沿第二输送管6螺旋方向移动，输液管7输入碱液并通过喷头8喷洒，尾气在输送过程中通过多次碱液喷洒，使尾气中的成分与碱液全面接触进行中和，中和后的碱液通过排液管13排入废液池12内集中处理，中和后的尾气进入第三输送管9，并沿第三输送管9螺旋方向移动，吸附板10对尾气中含有的水分和杂质进行吸附，处理完后再通过出气管3排出，提高尾气处理效果。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱（1），其特征在于，处理箱（1）左端设有进气管（2），处理箱（1）右端设有出气管（3），处理箱（1）内左端第一输送管（4），第一输送管（4）左端与进气管（2）连接，第一输送管（4）内设有过滤板（5），处理箱（1）内中间设有第二输送管（6），第二输送管（6）左端与第一输送管（4）右端连接，第二输送管（6）上侧设有输液管（7），输液管（7）下端连接有喷头（8），喷头（8）下端伸入第二输送管（6）内，处理箱（1）内右端设有第三输送管（9），第三输送管（9）左端与第二输送管（6）连接，第三输送管（9）右端与出气管（3）连接，第三输送管（9）内设有吸附板（10）。/n

【技术特征摘要】
1.一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱（1），其特征在于，处理箱（1）左端设有进气管（2），处理箱（1）右端设有出气管（3），处理箱（1）内左端第一输送管（4），第一输送管（4）左端与进气管（2）连接，第一输送管（4）内设有过滤板（5），处理箱（1）内中间设有第二输送管（6），第二输送管（6）左端与第一输送管（4）右端连接，第二输送管（6）上侧设有输液管（7），输液管（7）下端连接有喷头（8），喷头（8）下端伸入第二输送管（6）内，处理箱（1）内右端设有第三输送管（9），第三输送管（9）左端与第二输送管（6）连接，第三输送管（9）右端与出气...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐昕，俞冬雷，王伟，
申请(专利权)人：南京亚格泰新能源材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32