一种显示装置、阵列基板及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种显示装置、阵列基板及其制作方法，阵列基板包括沿第一方向依次排列的至少两个区域；每个区域包括多个像素，每个像素包括至少三种子像素微腔，子像素微腔包括第一电极、第一膜层、第二膜层、有机发光层、第三膜层、第四膜层和第二电极；其中，不同区域内同一种子像素微腔的第一膜层在垂直于阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种子像素微腔的第二膜层在垂直于阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种子像素微腔的第二膜层的离子掺杂浓度不同，从而可以提高阵列基板上子像素微腔发光效率的均一性。

Display device, array substrate and manufacturing method thereof

The present invention provides a display device and array substrate and manufacturing method thereof, including the array substrate along a first direction are arranged at least two areas; each region includes a plurality of pixels, each pixel including at least three seed pixels microcavity, sub pixel micro cavity includes a first electrode, a first film layer, second layer, organic light emitting layer, third layer, fourth layer and a second electrode; wherein, the first layer in different regions of the same seed pixel microcavity array substrate in different perpendicular to the direction of the thickness; and / or second film, the same seed pixels in different areas, different micro cavity in the direction perpendicular to the array substrate thickness; and / or different doping concentration, second film the same seed pixel micro cavity in different areas, so as to improve the pixel array substrate micro cavity light emitting efficiency uniformity.

【技术实现步骤摘要】
一种显示装置、阵列基板及其制作方法
本专利技术涉及有机发光
，更具体地说，涉及一种显示装置、阵列基板及其制作方法。
技术介绍
由于OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示面板具有自发光、色彩丰富、视角宽、重量轻和厚度薄等优点，因此，OLED显示面板已经广泛应用于手机、数码摄像机、笔记本电脑和电视等显示器件中。现有的OLED显示面板包括阵列基板，该阵列基板包括玻璃衬底、设置在玻璃衬底上的像素阵列，该像素阵列包括多个像素和驱动单元，每个像素又包括红绿蓝三种颜色的子像素微腔，驱动单元用于向各个子像素微腔传输驱动电流，以驱动子像素微腔发光。其中，不同颜色的子像素微腔的发光层的材料不同，发出的光线的颜色也不同。现有技术中都是通过蒸镀的方式在整个玻璃衬底上同时形成同种颜色的子像素微腔的各个膜层，容易造成蒸镀的膜层不均匀，并且，OLED显示面板的各个子像素微腔的发光效率不均一，影响OLED显示面板的显示效果。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种显示装置、阵列基板及其制作方法，以解决现有技术中OLED显示面板的各个子像素微腔的发光效率不均一的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种阵列基板，所述阵列基板包括沿第一方向依次排列的至少两个区域和驱动单元，所述驱动单元位于所述阵列基板的第一侧，所述阵列基板还包括与所述第一侧相对设置的第二侧，所述第一方向从所述第一侧指向所述第二侧；每个所述区域包括多个像素，每个所述像素包括至少三种子像素微腔，所述子像素微腔包括第一电极、第一膜层、第二膜层、有机发光层、第三膜层、第四膜层和第二电极；其中，同一种所述子像素微腔的所述有机发光层的发光颜色相同；不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第一膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第二膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第二膜层的离子掺杂浓度不同。一种阵列基板的制作方法，所述阵列基板包括沿第一方向依次排列的至少两个区域，每个所述区域包括多个像素，每个所述像素包括至少三种子像素微腔，所述制作方法包括：提供第一基板；在所述第一基板表面依次形成第一电极、第一膜层、第二膜层、有机发光层、第三膜层、第四膜层和第二电极，以形成所述子像素微腔；其中，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第一膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第二膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度和/或离子掺杂浓度不同。一种显示装置，包括如上所述的阵列基板。与现有技术相比，本专利技术所提供的技术方案具有以下优点：本专利技术所提供的显示装置、阵列基板及其制作方法，阵列基板包括沿第一方向依次排列的至少两个区域，其中，不同区域内同一种子像素微腔的第一膜层在垂直于阵列基板方向上的厚度不同，和/或，不同区域内同一种子像素微腔的第二膜层在垂直于阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种子像素微腔的第二膜层的离子掺杂浓度不同，基于此，通过分别蒸镀形成各个区域内的第一膜层，和/或，分别蒸镀形成各个区域内的第二膜层，缩小了每次蒸镀的区域的面积，从而可以提高每个区域内第一膜层和/或第二膜层的均匀性，进而可以提高整个阵列基板上子像素微腔发光效率的均一性。并且，由于不同区域内第一膜层的厚度和/或第二膜层的厚度和/或第二膜层的离子掺杂浓度不同，因此，可以通过降低远离驱动单元的子像素微腔的发光效率、提高靠近驱动单元的子像素微腔的发光效率，解决由于远离驱动单元的子像素微腔的驱动电流小于靠近驱动单元的子像素微腔的驱动电流，导致的远离驱动单元的子像素微腔的发光效率大于靠近驱动单元的子像素微腔的发光效率的问题，进而可以提高阵列基板上子像素微腔发光效率的均一性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种阵列基板的俯视结构示意图；图2为图1所示的阵列基板沿AA’切割线的剖面结构示意图；图3为图1所示的阵列基板沿BB’切割线的一种剖面结构示意图；图4为图1所示的阵列基板沿BB’切割线的另一种剖面结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的另一种阵列基板的俯视结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的阵列基板的制作方法的流程图；图7为本专利技术实施例提供的制作过程中的阵列基板的一种俯视结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的制作过程中的阵列基板的另一种俯视结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供了一种阵列基板，参考图1，图1为本专利技术实施例提供的阵列基板的俯视结构示意图，该阵列基板包括多条栅极线11、多条数据线12、多个薄膜晶体管13、多个像素14、栅极驱动电路15和驱动单元16。其中，每个像素14包括至少三种子像素微腔140，同一种子像素微腔140的有机发光层的发光颜色相同，不同种的子像素微腔140的有机发光层的发光颜色不同。如可以理解为，有机发光层的发光颜色为红色的子像素R1、R2为同种子像素，有机发光层的发光颜色为绿色的子像素G1、G2为同种子像素，有机发光层的发光颜色为蓝色的子像素B1、B2为同种子像素。可选的，每个像素14包括三种颜色的子像素微腔140，如红色子像素微腔、绿色子像素微腔和蓝色子像素微腔，当然，本专利技术并不仅限于此，在其他实施例中，每个像素14也可以包括四种颜色的子像素微腔140，如红色子像素微腔、绿色子像素微腔、蓝色子像素微腔和白色子像素微腔。本实施例中仅以每个像素14包括红绿蓝三种颜色的子像素微腔140为例进行说明。参考图2，图2为图1所示的阵列基板沿AA’切割线的剖面结构示意图，每个子像素微腔140包括依次设置在衬底上的第一电极140a、第一膜层140b、第二膜层140c、有机发光层140d、第三膜层140e、第四膜层140f和第二电极140g。可选的，第一膜层140b是空穴传输层，第二膜层140c是空穴注入层，第三膜层140e是电子注入层，第四膜层140f是电子传输层。请结合参考图1和图2，其中，第一电极140a与一个薄膜晶体管13的漏极相连，该薄膜晶体管13的栅极与对应的栅极线11相连，该薄膜晶体管13的源极与对应的数据线12相连。栅极驱动电路15与所有的栅极线11相连，驱动单元16与所有的数据线12相连，用于驱动各个子像素微腔140进行图像的显示。当驱动单元16驱动包括本实施例中的阵列基板的显示面板时，第一电极140a和第二电极140g之间会发生谐振，同时，有机发光层140d产生的光会透过第二电极140g发射到显示面板的外部。本实施例中，阵列基板包括沿第一方向X依次排列的至少两个区域，其中，驱动单元16位于阵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括沿第一方向依次排列的至少两个区域和驱动单元，所述驱动单元位于所述阵列基板的第一侧，所述阵列基板还包括与所述第一侧相对设置的第二侧，所述第一方向从所述第一侧指向所述第二侧；每个所述区域包括多个像素，每个所述像素包括至少三种子像素微腔，所述子像素微腔包括第一电极、第一膜层、第二膜层、有机发光层、第三膜层、第四膜层和第二电极；其中，同一种所述子像素微腔的所述有机发光层的发光颜色相同；不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第一膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第二膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第二膜层的离子掺杂浓度不同。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括沿第一方向依次排列的至少两个区域和驱动单元，所述驱动单元位于所述阵列基板的第一侧，所述阵列基板还包括与所述第一侧相对设置的第二侧，所述第一方向从所述第一侧指向所述第二侧；每个所述区域包括多个像素，每个所述像素包括至少三种子像素微腔，所述子像素微腔包括第一电极、第一膜层、第二膜层、有机发光层、第三膜层、第四膜层和第二电极；其中，同一种所述子像素微腔的所述有机发光层的发光颜色相同；不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第一膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第二膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度不同；和/或，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第二膜层的离子掺杂浓度不同。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，每个所述像素的三种子像素微腔的第一膜层或第二膜层的厚度互不相同。3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，在所述第一方向上，不同区域内同一种所述子像素微腔的所述第一膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度依次增大。4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，在所述第一方向上，不同区域内的所述第二膜层在垂直于所述阵列基板方向上的厚度依次增大。5.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，在所述第一方向上，不同区域内的所述第二膜层的离子掺杂浓度逐渐减小。6.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，不同区域内的所述第三膜层的离子掺杂浓度不同。7.根据权利要求6所述的阵列基板，其特征在于，在所述第一方向上，不同区域内的所述第三膜层的离子掺杂浓度逐渐减小。8.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一膜层是空穴传输层，所述第二膜层是空穴注入层，所述第三膜层是电子注入层，所述第四膜层是电子传输层。9.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，所述阵列基板包括沿第一方向依次排列的至少两个区域，每个所述区域包括多个像素，每个所述像素包括至少三种子像素微腔，所述制作方法包括：提供第一基板；在所述第一基板表面依次形成第一电极、第一膜层、第二膜层、有机发光层、第三膜层、第四膜层和第二电极，以形成所述子像素微腔；其中，不...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丽媛，朱见杰，熊志勇，庄研，
申请(专利权)人：上海天马有机发光显示技术有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31