具有质量分布通道的磁-机械谐振器传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种磁‑机械谐振器传感器，该磁‑机械谐振器传感器具有质量分布通道。本公开的一些方面以感测装置(例如对于温度、湿气或物质的检测)为特征，该感测装置包括磁偏置层、谐振器、间隔件和环境变化受体。间隔件设置在磁偏置层和谐振器之间。谐振器表面中的至少一个谐振器表面具有预定义的通道。环境变化受体设置成邻近预定义的通道。响应于环境的变化，环境变化受体沿通道的一部分分布。

The magnetic mechanical resonator sensor has the quality of distribution channel

The invention discloses a magnetic mechanical resonator sensor, the magnetic sensor has mechanical resonator quality distribution channel. Some aspects of the present disclosure are characterized by a sensing device (e.g., detection of temperature, moisture, or substance), which includes a magnetic biasing layer, a resonator, a spacer, and an environmental change receptor. The spacer is disposed between the magnetic biasing layer and the resonator. At least one resonator surface in the resonator surface has a predefined channel. Environmental change receptors are set into adjacent predefined channels. In response to changes in the environment, the environment changes the receptor along a portion of the channel.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及设计成监控环境和生物变量的磁-机械谐振器传感器以及使用这些传感器的系统。
技术介绍
使用产生磁场的射频源来激励磁-机械谐振器(MMR)。MMR传感器基于磁致伸缩和磁-弹性耦合的原理。磁致伸缩包括当经受磁场时改变铁磁材料的形状。磁-弹性耦合包括当经受磁场时材料的应力和应变之间的关系。通常，MMR传感器耦合到外部磁场并从磁场接收磁能。MMR传感器将磁能转换成机械振荡。当将磁场移除时，机械振荡转换成磁能并且传感器以一定谐振频率辐射磁场。然后检测器可测量来自传感器的辐射磁能。MMR可用于构造无线传感器以监控环境变量和生物变量。
技术实现思路
本公开的一些方面以感测装置为特征，该感测装置包括磁偏置层、谐振器、间隔件和环境变化受体。磁偏置层具有第一磁表面和相对的第二磁表面并且磁偏置层具有第一磁材料。谐振器具有第一谐振器主表面和相对的第二谐振器主表面。谐振器使用第二磁材料。第二谐振器主表面面朝第一磁表面。第一谐振器主表面具有预定义的通道。间隔件设置在磁偏置层和谐振器之间。环境变化受体设置成邻近预定义的通道。在一个示例中，感测装置包括磁偏置层、谐振器、间隔件、环境变化受体和外壳。磁偏置层具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感测装置，所述感测装置包括：磁偏置层，所述磁偏置层具有第一磁表面和相对的第二磁表面，所述磁偏置层包括第一磁材料，谐振器，所述谐振器具有第一谐振器主表面和相对的第二谐振器主表面，所述谐振器包括第二磁材料，所述第二谐振器主表面面朝所述第一磁表面，所述第一谐振器主表面具有预定义的通道，间隔件，所述间隔件设置在所述磁偏置层和所述谐振器之间，和环境变化受体，所述环境变化受体设置成邻近所述预定义的通道。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.27 US 62/042,3621.一种感测装置，所述感测装置包括：磁偏置层，所述磁偏置层具有第一磁表面和相对的第二磁表面，所述磁偏置层包括第一磁材料，谐振器，所述谐振器具有第一谐振器主表面和相对的第二谐振器主表面，所述谐振器包括第二磁材料，所述第二谐振器主表面面朝所述第一磁表面，所述第一谐振器主表面具有预定义的通道，间隔件，所述间隔件设置在所述磁偏置层和所述谐振器之间，和环境变化受体，所述环境变化受体设置成邻近所述预定义的通道。2.根据权利要求1所述的感测装置，其中响应于环境的变化，所述环境变化受体沿所述预定义通道的至少一部分分布。3.根据权利要求2所述的感测装置，其中响应于所述环境变化受体沿所述预定义通道的至少一部分的所述分布，所述谐振器的谐振频率偏移。4.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述预定义的通道包括设置在所述第一谐振器主表面上的薄层材料。5.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述预定义的通道包括在所述第一谐振器主表面上的图案。6.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述预定义的通道包括根据路径设置在所述第一谐振器主表面上的薄层材料。7.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述预定义的通道包括设置成邻近路径的周边的薄层材料。8.根据权利要求4所述的感测装置，其中所述薄层材料包括以下材料中的至少一种：亲水性材料、芯吸材料、疏水性材料、疏油性材料和亲油性材料。9.根据权利要求4所述的感测装置，其中所述薄层材料与所述第二磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：沃琳·B·克努松，胡佳，李朝弟，理查德·L·瑞兰达，谢里尔·李·森杰·埃尔斯本德，斯蒂芬·J·威利特，安德鲁·P·博尼法斯，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US