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具有质量分布通道的磁-机械谐振器传感器制造技术
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文档序号:15201562
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本发明公开了一种磁‑机械谐振器传感器,该磁‑机械谐振器传感器具有质量分布通道。本公开的一些方面以感测装置(例如对于温度、湿气或物质的检测)为特征,该感测装置包括磁偏置层、谐振器、间隔件和环境变化受体。间隔件设置在磁偏置层和谐振器之间。谐振器...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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