【技术实现步骤摘要】
本技术属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材原料烧结用的烧结机。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后进行溅射镀膜，目前所采用的烧结工艺中用到的烧结机需要将氢氧化铌沉淀做成方砖，然后烧结、干燥，提前制作方砖的工序复杂，费事费力，并且由于氢氧化铌导热性差，方砖结构中心不易干透，容易造成开裂、干湿不均匀，影响下一步工序质量。
技术实现思路
本技术为了解决上述现有技术中存在的问题，本技术提供了一种靶材原料烧结用的烧结机，能够方便物料装填，提高生产效率及生产质量。本技术采用的具体技术方案是：一种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉，烧结炉为箱体结构，烧结炉还设置有密封门，密封门与烧结炉侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉为多层结构，其由内向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉还设置有铂铑测温计，所述的烧结炉内还设置有物料托盘，所述的物料托盘内设置有一组多个的辅热桩，辅热桩在物料托盘内侧的底面呈矩阵排布。所述的辅热桩为圆柱结构，辅热桩中心设置有贯通孔，贯通孔与物料托盘下端面连通。还设置有固定滑轨，固定滑轨分别设置在烧结炉内相对的左、右侧面上，固定滑轨呈C型槽体结构，固定滑轨与物料托盘形成滑动配合。所述...
【技术保护点】
一种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉(1)，烧结炉(1)为箱体结构，烧结炉(1)还设置有密封门(2)，密封门(2)与烧结炉(1)侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉(1)为多层结构，其由内向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉(1)还设置有铂铑测温计(3)，所述的烧结炉(1)内还设置有物料托盘(4)，其特征在于：所述的物料托盘(4)内设置有一组多个的辅热桩(5)，辅热桩(5)在物料托盘(4)内侧的底面呈矩阵排布。
【技术特征摘要】
1.一种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉(1)，烧结炉(1)为
箱体结构，烧结炉(1)还设置有密封门(2)，密封门(2)与烧结炉(1)
侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉(1)为多层结构，其由内向外依次
为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉(1)还设置有铂铑测温计(3)，
所述的烧结炉(1)内还设置有物料托盘(4)，其特征在于：所述的物料托
盘(4)内设置有一组多个的辅热桩(5)，辅热桩(5)在物料托盘(4)内
侧的底面呈矩阵排布。
2.根据权利要求1所述的一种靶材原料烧结用的烧结机，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔娜，朱辉，闫丽娜，张卫，康林杰，郄奕，
申请(专利权)人：河北东同光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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