一种空气静压主轴的回转误差测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种空气静压主轴的回转误差测量装置，所述装置的左右差分螺纹机构、前后差分螺纹机构、上下差分螺纹机构用于确保标准球赤道线与非接触式位移传感器的距离在70μm~80μm；标准球安装座用于实现标准球与空气静压主轴回转轴线亚微米级的偏心调整；传感器安装支架用于实现反向测量前与反向测量后非接触式位移传感器的180°旋转定位；分度盘用于实现反向测量前与反向测量后标准球的180°旋转定位；圆光栅和读数头用于实现反向前和反向后测量数据中各采样点所对应的角度严格对等。本发明专利技术的空气静压主轴的回转误差测量装置能够准确分离空气静压主轴回转误差和标准球圆度误差，提高空气静压主轴回转误差的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密测量
，具体涉及一种空气静压主轴的回转误差测量装置。
技术介绍
随着科技的不断发展，超精密加工技术直接反应一个国家的基础工业水平。空气静压主轴是实现超精密切削加工的重要功能部件，其回转误差会直接映射到加工零件的表面形貌上，从而制约超精密切削机床加工精度的提升。因此开展空气静压主轴回转误差测量工作对促进超精密加工技术快速发展意义重大。空气静压主轴的回转误差在数十纳米量级，其测量难点在于测量误差的分离。由传感器采集得到的测量信号主要包括空气静压主轴的回转误差、标准球的安装偏心误差以及标准球的圆度误差。空气静压主轴回转误差测量的核心思想是使用纳米级圆度的标准球，通过误差分离技术将测量结果中包含的标准球安装偏心误差及其圆度误差分离出来，得到空气静压主轴的纳米量级回转误差。为准确测量高精度空气静压主轴的回转误差，国内外发展了单点法、多点法、多步法、反向法等多种测试方法。其中单点法不能有效分离亚微米级的偏心误差以及数十纳米量级的标准球圆度误差，只能适用于百纳米量级以上的回转误差测量；多点法在实际操作过程中需要多个传感器按照固定角度安装，在测量误差分离过程中难以消除传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气静压主轴的回转误差测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括气浮隔振平台（1）、主轴安装支架（2）、空气静压主轴（3）、传感测量装置（4）、移动导轨（5）、驱动电机（6）；其连接关系是：气浮隔振平台（1）放置在隔振地基上；主轴安装支架（2）固定连接于气浮隔振平台（1）上；空气静压主轴（3）固定连接于主轴安装支架（2）上；移动导轨（5）固定连接于气浮隔振平台（1）上；传感测量装置（4）固定连接于移动导轨（5）上，移动导轨（5）驱动传感测量装置（4）进行上下移动；驱动电机（6）固定连接于气浮隔振平台（1），驱动电机（6）驱动空气静压主轴（3）进行回转运动。

【技术特征摘要】
1.一种空气静压主轴的回转误差测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括气浮隔振平台（1）、主轴安装支架（2）、空气静压主轴（3）、传感测量装置（4）、移动导轨（5）、驱动电机（6）；其连接关系是：气浮隔振平台（1）放置在隔振地基上；主轴安装支架（2）固定连接于气浮隔振平台（1）上；空气静压主轴（3）固定连接于主轴安装支架（2）上；移动导轨（5）固定连接于气浮隔振平台（1）上；传感测量装置（4）固定连接于移动导轨（5）上，移动导轨（5）驱动传感测量装置（4）进行上下移动；驱动电机（6）固定连接于气浮隔振平台（1），驱动电机（6）驱动空气静压主轴（3）进行回转运动。2.根据权利要求1所述的一种空气静压主轴的回转误差测量装置，其特征在于：所述的传感测量装置（4）包括读数头（41）、圆光栅（42）、分度盘（43）、标准球安装座（44）、标准球（45）、左右差分螺纹机构（46），前后差分螺纹机构（47），上下差分螺纹机构（48）、传感器安装支架（49）、非接触式位移传感器（410）；其连接关系是：所述的圆光栅（42）安装在分度盘（43）上，分度盘（43）安装在空气静压主轴（3）的转子顶端，圆光栅（42）、分度盘（43）和空气静压主轴（3）同轴；读数头（41）的底部固定在空气静压主轴（3）壳体顶端读取圆光栅（42）的角度数据；所述的标准球安装座（44）安装在分度盘（43）上，标准球（45）安装在标准球安装座（...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷大江，蓝河，钱林弘，崔海龙，张连新，王宝瑞，阳红，夏欢，陈一，郑越青，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51