下载一种空气静压主轴的回转误差测量装置的技术资料

文档序号:15034110

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本发明提供了一种空气静压主轴的回转误差测量装置,所述装置的左右差分螺纹机构、前后差分螺纹机构、上下差分螺纹机构用于确保标准球赤道线与非接触式位移传感器的距离在70μm~80μm;标准球安装座用于实现标准球与空气静压主轴回转轴线亚微米级的偏心...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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