微阀装置和微阀装置的制造方法制造方法及图纸

一种微阀装置和微阀装置的制造方法，该微阀装置包括：本体，包括第一层(7)和与第一层(7)构成腔室(9)的至少第二层(8)，其中，第一层(7)具有与腔室(9)流体相通的至少两个流体端口(4，5，6)；以及对应于预定的流体端口(4，5，6)设置有压电执行器(1，2，3)，其中，压电执行器(1，2，3)置于腔室(9)中并且其应变伸缩方向平行于第一层(7)，其中，压电执行器(1，2，3)的在应变伸缩方向上的自由端用于遮挡流体端口(4，5，6)以控制流体端口(4，5，6)的开关状态。压电执行器(1，2，3)在应变伸缩方向上的自由端直接遮蔽流体端口(4，5，6)，通过控制压电执行器(1，2，3)的应变伸缩，实现了对流体端口(4，5，6)直接控制的目的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，...

【专利技术属性】
技术研发人员：江挺候，张胜昌，邓宁，王喆垚，陈培毅，
申请(专利权)人：浙江盾安人工环境股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33