本发明专利技术提供一种能够以适当的温度条件形成涂膜的带涂膜切削工具的成膜装置。所述成膜装置具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与成膜室连结的预处理室及后处理室、及从预处理室经由成膜室向后处理室输送切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置。所述成膜室具备在切削工具上形成涂膜的成膜区域、沿输送路径输送输送载体并使其通过成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与成膜区域相邻配置且对切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种带涂膜切削工具的成膜装置及切削工具用涂膜的成膜方法。本申请主张基于2014年6月24日于日本申请的专利申请2014-129338号的优先权，并将其内容援用于此。
技术介绍
作为成膜装置，例如已知有专利文献1中所记载的直列式真空成膜装置。这种成膜装置中，向一方向输送托盘而使其通过成膜区域，并在切削工具的表面形成涂膜。专利文献1：日本特开平10-140351号公报(A)当使用直列式的成膜装置在切削工具上形成涂膜时，在切削工具上形成涂膜的成膜室的前段所设置的预处理室中，通过加热器对切削工具进行加热。然而，在从预处理室向成膜室输送切削工具的期间，或在成膜室内使托盘待机的期间，切削工具的温度下降，因此有时成膜初期的温度变低，涂膜的质量下降。另一方面，若预先将切削工具加热至高温以使成膜开始时成为适当的表面温度，则可能成膜中温度过高而超出最佳温度范围的上限。若发生这种温度变化，则在切削工具的基材侧与表面侧膜质出现差异，不能获得与膜厚相应的切削性能。并且，当基材侧的膜质变差时，也会成为涂膜剥离的原因。并且，由于一边输送托盘一边形成涂膜，因此在托盘的前侧的切削工具与末尾侧的切削工具中成膜时出现温度差，容易出现膜质的差异。即，由于在同一产品内切削性能出现差异，因此当决定产品的推荐切削条件时，只能根据性能最差的涂膜来决定。
技术实现思路
本专利技术的一目的在于提供一种能够以适当的温度条件形成涂膜的带涂膜切削工具的成膜装置及切削工具用涂膜的成膜方法。根据本专利技术的第1方式，提供一种带涂膜切削工具的成膜装置，所述成膜装置具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与所述成膜室连结的预处理室及后处理室、及从所述预处理室经由所述成膜室向所述后处理室输送所述切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置，其中，所述成膜室具备在所述切削工具上形成所述涂膜的成膜区域、沿所述输送路径输送所述输送载体并使其通过所述成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且对所述切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域。也可以是如下结构，即，在所述成膜区域以隔着所述输送载体的输送路径的方式设置有多个靶，在所述加热区域以隔着所述输送载体的输送路径的方式设置有多个加热装置。也可以是如下结构，即，在所述载体输送方向上的所述成膜区域的两侧分别设置有所述加热区域。也可以是如下结构，即，沿所述载体输送方向设置有多个所述成膜区域。也可以是如下结构，即，在多个所述成膜区域的所述载体输送方向的两侧分别设置有所述加热区域。也可以是如下结构，即，沿所述载体输送方向交替配置有多个所述加热区域及多个所述成膜区域，在所述载体输送方向上的所述成膜区域的两侧分别配置有所述加热区域。也可以是如下结构，即，设置在一个或多个所述成膜区域的两侧的两个所述加热区域之间的长度小于所述输送载体的所述输送方向的长度。也可以是如下结构，即，沿所述输送方向连续配置的多个所述成膜区域的数量为三个以下。也可以是如下结构，即，沿所述输送方向连续配置的多个所述成膜区域的数量为两个以下。也可以是如下结构，即，在所述输送载体上设置有使所述切削工具旋转的旋转机构。也可以是如下结构，即，在所述加热区域与所述真空阀之间设置有收容至少一个所述输送载体的载体待机区域。也可以是如下结构，即，所述加热区域的所述输送方向的宽度小于所述输送载体的所述输送方向的长度。根据本专利技术的第2方式，提供一种切削工具用涂膜的成膜方法，其使用直列式的成膜装置而在所述切削工具的表面形成涂膜，所述成膜装置具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与所述成膜室连结的预处理室及后处理室、及从所述预处理室经由所述成膜室向所述后处理室输送所述切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置，其中，所述切削工具用涂膜的成膜方法包含以下步骤：将所述切削工具搭载于输送载体上；向所述成膜室搬入所述输送载体；及在所述成膜室内沿所述输送路径输送所述输送载体，并且使其依次通过对所述切削工具进行加热的加热区域及形成所述涂膜的成膜区域。也可以是如下方法，即，在所述加热区域从隔着所述输送路径的两侧对所述切削工具进行加热，在所述成膜区域从隔着所述输送路径的两侧进行所述涂膜的成膜。也可以是如下方法，即，对所述成膜区域在所述输送载体的输送方向的两侧分别配置所述加热区域，并使所述输送载体相对于包含多个所述加热区域及所述成膜区域的区域往复移动，以在所述切削工具上形成多层的涂膜。也可以是如下方法，即，沿所述输送载体的输送方向配置多个所述成膜区域，并使所述输送载体依次通过多个所述成膜区域，以在所述切削工具上形成多层的所述涂膜。也可以是如下方法，即，使所述输送载体沿所述输送载体的输送方向交替通过多个所述加热区域及多个所述成膜区域。也可以是如下方法，即，使所述切削工具在所述输送载体上旋转并且进行所述涂膜的成膜。根据本专利技术，能够提供一种能够以适当的温度条件形成涂膜的带涂膜切削工具的成膜装置及切削工具用涂膜的成膜方法。附图说明图1是表示第1实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的侧视图。图2是表示第1实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的俯视图。图3是表示切削工具的支撑方式的图。图4是表示成膜室内的切削工具W的温度变化的说明图。图5是表示第2实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的侧视图。图6是表示第2实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的俯视图。图7A是成膜室内的涂布工序的说明图。图7B是成膜室内的涂布工序的说明图。图7C是成膜室内的涂布工序的说明图。图8A是成膜室内的涂布工序的说明图。图8B是成膜室内的涂布工序的说明图。图8C是成膜室内的涂布工序的说明图。图9A是成膜室内的涂布工序的说明图。图9B是成膜室内的涂布工序的说明图。图9C是成膜室内的涂布工序的说明图。图10A是成膜室内的涂布工序的说明图。图10B是成膜室内的涂布工序的说明图。图11是表示输送载体上的各部位的温度变化及涂膜的形成状态的说明图。图12是表示第3实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的侧视图。图13是表示第3实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的俯视图。图14是表示第4实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的侧视图。图15是表示第4实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的俯视图。图16A是表示变形例所涉及的成膜装置的示意图。图16B是表示变形例所涉及的成膜装置的示意图。具体实施方式以下，参考附图对实施方式所涉及的成膜装置及成膜方法进行说明。(第1实施方式)图1是表示第1实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的侧视图。图2是表示第1实施方式所涉及的成膜装置的内部结构的俯视图。本实施方式的成膜装置100为输送搭载有切削工具W的输送载体80且对切削工具W实施成膜处理的直列式的成膜装置。如图1所示，输送载体80具有矩形框状的框架81及在框架81的框内以竖立姿势配置的多根(图示中为五根)杆82。在每个杆82上插通支撑有涂膜(切削工具用涂膜)形成对象即切削工具W。在此，图3是表示切削工具W的支撑方式的图。在杆82上以相邻切削工具W之间夹着圆本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带涂膜切削工具的成膜装置，具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与所述成膜室连结的预处理室及后处理室、及从所述预处理室经由所述成膜室向所述后处理室输送所述切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置，其中，所述成膜室具备在所述切削工具上形成所述涂膜的成膜区域、沿所述输送路径输送所述输送载体并使其通过所述成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且对所述切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.24 JP 2014-1293381.一种带涂膜切削工具的成膜装置，具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与所述成膜室连结的预处理室及后处理室、及从所述预处理室经由所述成膜室向所述后处理室输送所述切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置，其中，所述成膜室具备在所述切削工具上形成所述涂膜的成膜区域、沿所述输送路径输送所述输送载体并使其通过所述成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且对所述切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域。2.根据权利要求1所述的带涂膜切削工具的成膜装置，其中，在所述成膜区域以隔着所述输送载体的输送路径的方式设置有多个靶，在所述加热区域以隔着所述输送载体的输送路径的方式设置有多个加热装置。3.根据权利要求1或2所述的带涂膜切削工具的成膜装置，其中，在所述载体输送方向上的所述成膜区域的两侧分别设置有所述加热区域。4.根据权利要求1或2所述的带涂膜切削工具的成膜装置，其中，沿所述载体输送方向设置有多个所述成膜区域。5.根据权利要求4所述的带涂膜切削工具的成膜装置，其中，在多个所述成膜区域的所述载体输送方向的两侧分别设置有所述加热区域。6.根据权利要求4所述的带涂膜切削工具的成膜装置，其中，沿所述载体输送方向交替配置有多个所述加热区域及多个所述成膜区域，在所述载体输送方向上的所述成膜区域的两侧分别设置有所述加热区域。7.根据权利要求3、5或6所述的带涂膜切削工具的成膜装置，其中，设置在一个或多个所述成膜区域的两侧的两个加热区域之间的长度小于所述输送载体的所述输送方向的长度。8.根据权利要求1至7中任一项所述的带涂膜切削工具的成膜装置，其中，在所述输送载体上设置有使所述切削工具旋转的旋转机构。9.根据权利要求1至8中任一项所述的带涂膜切削工具的成...
【专利技术属性】
技术研发人员：河村正雄，须藤俊克，新保谷淳，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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