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本发明提供一种能够以适当的温度条件形成涂膜的带涂膜切削工具的成膜装置。所述成膜装置具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与成膜室连结的预处理室及后处理室、及从预处理室经由成膜室向后处理室输送切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。

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