靶材组件的表面处理方法和工具技术

本发明专利技术提供一种靶材组件的表面处理方法和工具，其中所述表面处理方法包括：提供第一刀具，所述第一刀具包括具有尖形顶角的楔形刀头；提供第二刀具，所述第二刀具包括圆锥形刀头；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料；采用圆锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。在形成靶材组件后，本发明专利技术通过先采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料，再采用圆锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料，使形成的靶材组件外观达到预设标准，同时避免在后续溅射工艺中，焊缝内的焊料因高温工艺环境而继续从焊缝中熔解溢出，进而提高了靶材组件的良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及靶材加工领域，特别是针对一种靶材组件的表面处理方法和工具。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition；PVD)工艺是液晶显示器(LiquidCrystalDisplay；LCD)生产过程中最关键的工艺之一，PVD用溅射金属靶材是LCD设备制造加工过程中最重要的原材料之一，在物理气相沉积过程中，电离形成的氩离子在电场的作用下加速，加速的氩离子轰击金属靶材形成大量靶材原子，溅射出的大量靶材原子沉积在基板上形成薄膜。在LCD用靶材的制造过程中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定强度的背板构成。其中，所述背板通过焊料被焊接至靶材的焊接面上形成靶材组件。然而靶材和背板焊接后，焊料容易从靶材和背板之间的焊缝中溢出，对后续成品靶材组件外观产生影响；此外，在后续的溅射工艺中，由于高温环境，从焊缝中溢出的焊料以及离焊缝一定深度内的焊料容易因高温环境而熔解滴落，进而引起溅射靶材低良率问题，甚至导致液晶显示器的报废。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种靶材组件的表面处理方法和工具，以提高溅射靶材的良率。为解决上述问题，本专利技术提供一种靶材组件的表面处理方法。包括：提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；采用所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；采用所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。可选的，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行机械加工以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行机械加工以形成所述第二刀头。可选的，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行打磨以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行打磨以形成所述第二刀头。可选的，所述预设深度为1mm。可选的，所述第二刀头沿第二钢棒延伸方向的尺寸在3mm至6mm。可选的，对所述第二钢棒的一端进行处理形成圆锥形刀头。可选的，所述圆锥形刀头的直径在0.1mm至1mm范围内；沿所述第二钢棒延伸方向，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径为0.5至1mm范围内。可选的，形成第一刀头的步骤中，对所述第一钢棒的一端进行处理形成具有尖形顶角的楔形刀头。可选的，所述焊料的材料为铟。可选的，提供靶材组件的步骤包括：提供靶材和背板，所述靶材包括溅射面和与所述溅射面相对的焊接面；在所述靶材的焊接面上形成焊料；通过焊接工艺将所述靶材的焊接面焊接至所述背板形成靶材组件。相应的，本专利技术还提供一种工具，用于对靶材组件进行表面处理，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料，其特征在于，所述工具包括：第一刀具，通过第一钢棒形成，包括：第一刀头，为对第一钢棒的一端进行处理所形成的楔形刀头，所述楔形刀头用于去除溢出所述焊缝的焊料；第一刀杆，与所述第一刀头相连，包括未被处理的第一钢棒；第二刀具，通过第二钢棒形成，包括：第二刀头，为对第二钢棒的一端进行处理所形成的锥形刀头，所述锥形刀头用于去除焊缝内的部分焊料；第二刀杆，与所述第二刀头相连，包括未被处理的第二钢棒。可选的，所述第一刀头为具有尖形顶角的楔形刀头。可选的，所述第二刀头用于去除位于所述焊缝1mm深度内的焊料。可选的，所述第二刀头沿第二钢棒延伸方向的尺寸在3mm至6mm。可选的，所述第二刀头为圆锥形刀头。可选的，所述圆锥形刀头的直径在0.1mm至1mm范围内；沿所述第二钢棒延伸方向，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径为0.5至1mm范围内。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术通过在形成靶材组件后，采用楔形的第一刀头去除从靶材和背板之间的焊缝中溢出的焊料，采用锥形的第二刀头去除离焊缝预设深度内的焊料，从而使形成的成品靶材组件外观达到预设标准，进而避免在后续溅射工艺中靶材组件因高温环境而引起焊缝内的焊料继续熔解溢出，提高了溅射靶材的良率。进一步，本专利技术采用的工具包括对第一钢棒的一端进行处理形成的具有尖形顶角的楔形刀头，以及对第二钢棒的一端进行处理形成的圆锥形刀头，所述材料的刀头不如美工刀或手术刀锋利，因此在去除焊料时可以避免所述刀头对靶材组件造成划伤。再进一步，所述工具采用钢棒形成，由于钢的使用寿命较长，可以节约耗材使用量。附图说明图1是本专利技术靶材组件的表面处理方法一实施例的流程示意图；图2是图1中步骤S1中第一刀具的结构示意图；图3是图1中步骤S2中第二刀具的结构示意图；图4是图1中步骤S3的流程示意图；图5至图8是根据图4所示流程图制作靶材组件的示意图；图9是图1中步骤S4的示意图；图10是图1中步骤S5的示意图；图11是本专利技术靶材组件的表面处理方法一实施例的表面处理后的靶材组件结构示意图；图12是本专利技术靶材组件的表面处理工具的第一刀具的结构示意图；图13是本专利技术靶材组件的表面处理工具的第二刀具的结构示意图。具体实施方式现有技术形成所述靶材组件后，发现焊料容易从靶材和背板之间的焊缝中溢出。目前普遍采用美工刀或手术刀去除所述溢出的焊料。由于焊接工艺结束后，焊料冷却固化具有粘性，不同区域的焊料粘性不同，因此采用美工刀或手术刀去除多余焊料时力度不好控制，进而难以控制美工刀或手术刀的刀片进入焊缝的深度；此外，美工刀或手术刀的刀片较为锋利，容易对靶材产生划伤，引起靶材组件的低良率问题，甚至导致靶材组件的报废。进一步，美工刀或手术刀使用寿命短，很大程度地浪费耗材。为了解决上述问题，本专利技术提供一种靶材组件的表面处理方法，包括：提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；通过所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；通过所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。本专利技术通过采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料，采用锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料，从而使形成的成品靶材组件外观达到预设标准，进而避免因后续溅射工艺中的高温环境而使焊缝中的焊料继续熔解溢出，提高了溅射靶材的良率。可选的，本专利技术采用的刀具包括对第一钢棒的一端进行处理形成的具有尖本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材组件的表面处理方法，其特征在于，包括：提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；采用所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；采用所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。

【技术特征摘要】
1.一种靶材组件的表面处理方法，其特征在于，包括：提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；采用所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；采用所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。2.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行机械加工以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行机械加工以形成所述第二刀头。3.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行打磨以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行打磨以形成所述第二刀头。4.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，所述预设深度为1mm。5.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，所述第二刀头沿第二钢棒延伸方向的尺寸在3mm至6mm。6.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，对所述第二钢棒的一端进行处理形成圆锥形刀头。7.如权利要求6所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，所述圆锥形刀头的直径在0.1mm至1mm范围内；沿所述第二钢棒延伸方向，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径
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【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，大岩一彦，王学泽，李健成，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33