探针模块制造技术

本发明专利技术提供了一种探针模块，包含二基板、至少二导电线与至少二探针。各该基板具有相背对的二平面，该二平面之间的距离为该基板的厚度；各该基板的各该平面不平行于待测电子对象的待测面；其中一该基板的一该平面与另一该基板的一该平面相邻，且该二基板相邻的二个平面之间的最短距离小于该二基板另外两个平面之间的最短距离；该二导电线分别设置于该些基板上，且各该导电线的一端供电性连接至该检测机；该二探针分别电性连接该二导电线的另一端。由此，探针不会受到基板的宽度限制，而可适用于点测小尺寸的待测电子对象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术与电子对象的检测有关；特别是指一种探针模块。
技术介绍
按，探针模块设置于一检测机与一待测电子对象之间，用以传送检测机的检测信号至待测电子对象。图1为现有的探针模块1，包含二基板10及多个探针12，且各该基板10上布设有二导电线102，该些导电线102的一端电性连接一检测机(图未示)。该些探针12以焊接的方式分别设置于该基板10且分别电性连该些导电线102的另一端。该些基板10于一待侧电子对象的上方14，且该些基板10平行于该待测电子对象的一待测面14a，该些探针用以点测该待测电子对象14的待测面14a。现有的探针模块1的基板10通常具有一定的宽度，当二个基板10相靠近时，二个基板10上的探针12受基板10宽度的限制而无法相互靠近，使得该二基板10在水平方向上，将占去相当的空间。因此，现有的探针模块1只能用于点测尺寸较大的待测电子对象14。随着科技的进步，待测电子对象的尺寸愈趋减小，而习用的探针模块1便无法满足检测小尺寸待测电子对象的需求。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的用于提供一种探针模块，可应用于检测尺寸较小的待测电子对象。缘以达成上述目的，本专利技术所提供探针本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针模块，设置于一检测机与一待测电子对象之间，该待测电子对象具有一待测面；其特征在于，该探针模块包含：二基板，由绝缘材料所制成，各该基板具有相背对的二平面，该二平面之间的距离为该基板的厚度；各该基板的各该平面不平行于该待测电子对象的该待测面；其中一该基板的一该平面与另一该基板的一该平面相邻，且该二基板相邻的二个平面之间的最短距离小于该二基板另外两个平面之间的最短距离；至少二导电线，分别设置于该些基板上，且各该导电线的一端供电性连接至该检测机；以及至少二探针，分别电性连接该二导电线的另一端，各该探针供点测该待测电子对象的该待测面。

【技术特征摘要】
2015.07.06 TW 1041218541.一种探针模块，设置于一检测机与一待测电子对象之间，该待测电子对象具有一待测面；其特征在于，该探针模块包含：二基板，由绝缘材料所制成，各该基板具有相背对的二平面，该二平面之间的距离为该基板的厚度；各该基板的各该平面不平行于该待测电子对象的该待测面；其中一该基板的一该平面与另一该基板的一该平面相邻，且该二基板相邻的二个平面之间的最短距离小于该二基板另外两个平面之间的最短距离；至少二导电线，分别设置于该些基板上，且各该导电线的一端供电性连接至该检测机；以及至少二探针，分别电性连接该二导电线的另一端，各该探针供点测该待测电子对象的该待测面。2.根据权利要求1所述的探针模块，其特征在于，各该基板实质上垂直于该待测电子对象的该待测面。3.根据权利要求1所述的探针模块，其特征在于，包含一载板，该载板具有一穿孔；该二基板设置于该载板上，且该些探针位于该穿孔的正投影范围内。4.根据权利要求3所述的探针模块，其特征在于，各该基板具有一延伸段，该延伸段穿过该载板的穿孔；各该导电线系以线路布局的方式布设于各该基板的其中一该平面且延伸至该延伸段；各该探针以焊接的方式连接各该导电线的另一端且位于各该基板的延伸段。5.根据权利要求4所述的探针模块，其特征在于，各该基板的该延伸段具有一底侧缘连接于各该基板的该二平面之间，各该探针位于各该基板的该底侧缘与布设有导电线的平面的连接处。6.根据权利要求5所述的探针模块，其特征在于，各该探针为悬臂式探针且包括相连接的一悬臂段与一针尖段，各该探针的悬臂段位于各该基...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾伟正，何志浩，魏豪，赖俊良，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71