【技术实现步骤摘要】
本专利技术与探针卡的探针座有关，特别是关于一种具有支撑结构的探针座，以及包含有所述探针座的探针头、探针卡及探针系统。
技术介绍
1、一般所说的垂直式探针头基本上包括由至少一对平板或实质上为彼此平行的平板状导件（或称导板）所固持的多个探针。那些导件设有特定孔洞，且是配置为彼此相隔一特定距离，以保留一自由空间或空气间隙（后述统称容置空间）供探针移动与可能的变形。这对导件特别地包括了一上导件与一下导件，两者都设有个别的导孔，探针为轴向滑动通过导孔，探针通常是由具有良好电性与机械性质的特殊合金细线所制成。在探针与测试中元件的接触垫之间的良好连接，是通过将探针头压在元件本身上而得以确保。在加压接触期间，可滑动地置于上、下导件中的导孔内部的探针是在两个导件之间的空气间隙内产生弯折，并在这些导孔内部产生滑动。此外，可通过适当配置探针本身（也就是探针会具有一预先变形配置，俗称cobra针）或它们的导件来辅助探针在空气间隙中弯折。如图15中示意说明，在图15中，为求简化说明，图中仅描述通常在一探针头中所包含的多个探针中的部分多个探针，所示探针头为所说的偏
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1.一种具有支撑结构的探针座，其特征在于包含有：
2.如权利要求1所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述上导板单元的所述下表面及所述下导板单元的所述上表面分别定义为一受支撑表面，所述支撑结构的至少部分支撑柱自其所在的受支撑表面一体地延伸而出。
3.如权利要求1所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述支撑结构的至少部分支撑柱非一体地设于其所在的导板单元。
4.如权利要求3所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：相互接触的上支撑柱与下支撑柱其中之一为一柱体且其中的另一为一螺栓，所述柱体及所述螺栓分别穿设于所述二导板单元，所述柱...
【技术特征摘要】
1.一种具有支撑结构的探针座，其特征在于包含有：
2.如权利要求1所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述上导板单元的所述下表面及所述下导板单元的所述上表面分别定义为一受支撑表面，所述支撑结构的至少部分支撑柱自其所在的受支撑表面一体地延伸而出。
3.如权利要求1所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述支撑结构的至少部分支撑柱非一体地设于其所在的导板单元。
4.如权利要求3所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：相互接触的上支撑柱与下支撑柱其中之一为一柱体且其中的另一为一螺栓，所述柱体及所述螺栓分别穿设于所述二导板单元，所述柱体具有一螺孔，所述螺栓螺接于所述柱体的螺孔。
5.如权利要求4所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述柱体包含有一突伸出所述上导板单元的所述上表面及所述下导板单元的所述下表面其中之一的延伸段，所述延伸段用于抵靠于一强化件。
6.如权利要求1所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述多个支撑柱分别具有一端面，相互接触的上支撑柱与下支撑柱以其端面相互抵接。
7.如权利要求6所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：相互接触的上支撑柱与下支撑柱更相互黏合固定。
8.如权利要求6所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：相互接触的上支撑柱与下支撑柱还通过一螺栓相互固定。
9.如权利要求8所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述上支撑柱的端面与所述上导板单元的所述下表面之间的距离小于所述下支撑柱的端面与所述下导板单元的所述上表面之间的距离，所述螺栓穿过所述上支撑柱且螺接于所述下支撑柱。
10.如权利要求6所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：相互接触的上支撑柱与下支撑柱其中之一包含有一位于所述端面的凸块且其中的另一包含有一位于所述端面的凹槽，所述凸块与所述凹槽相嵌。
11.如权利要求1所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述上导板单元的所述下表面及所述下导板单元的所述上表面分别定义为一受支撑表面，所述多个支撑柱中还包含至少一单独支撑柱，所述单独支撑柱穿设于所述上导板单元及所述下导板单元其中之一，且抵接于所述上导板单元及所述下导板单元其中另一个的受支撑表面。
12.如权利要求11所述的具有支撑结构的探针座，其特征在于：所述单独支撑柱包含有一突...
【专利技术属性】
技术研发人员：林圣瑜，林哲纬，吴学智，谢尚融，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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