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具有支撑结构的探针座、探针头、探针卡及探针系统技术方案
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下载具有支撑结构的探针座、探针头、探针卡及探针系统的技术资料
文档序号:46626422
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本发明涉及一种探针座,包含有上、下导板单元、一支撑结构及一容置空间,上导板单元包含有贯穿其上、下表面的多个上穿孔,下导板单元包含有贯穿其上、下表面的多个下穿孔,支撑结构包含有设置于上、下导板单元之间的多个支撑柱,容置空间形成于支撑柱周边并位...
该专利属于旺矽科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺矽科技股份有限公司授权不得商用。
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