贴合设备的制造装置及制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供贴合设备的制造装置及制造方法。去除残留在下侧工件的局部应力以平滑状态与上侧工件贴合。上侧保持部件具有上侧工件保持无法移动的保持部。下侧保持部件具有：浮起部，具备在与下侧工件间产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整分离压力及接近压力的机构。控制部相对下侧保持部件使下侧工件保持浮起部的分离压力及接近压力的平衡，下侧工件从下侧卡盘面浮起非接触地被支承。从浮起部切换为接触保持部，使接近压力比分离压力逐渐增大，下侧工件被接触保持在下侧卡盘面。通过升降驱动部使上侧保持部件或下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过保持部被保持在上侧卡盘面的上侧工件与下侧工件重叠。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种相对于例如液晶显示器(LCD)、有机EL显示器(OLED)、等离子显示器(PDP)、可挠性显示器等平板显示器(FPD)或传感器设备、或例如如触控面板式FPD或3D(3维)显示器或电子书籍等液晶模块(LCM)或可挠性印刷电路板(FPC)等板状工件(基板)，贴合触控面板、盖玻片、覆盖膜或FPD等另一个板状工件(基板)的贴合设备的制造装置、及贴合设备的制造方法。
技术介绍
以往，作为这种贴合设备的制造装置及制造方法，有如下基板重叠装置，即沿着设置于上侧基板保持件及下侧基板保持件的贯穿孔，将上侧基板及下侧基板的交接用升降销分别设为能够上下移动，在大气压下搬入时，将由搬送机器人的臂进行保持并搬送的上侧基板及下侧基板以从上侧基板保持件及下侧基板保持件的表面突出的方式分别利用上下移动的上侧升降销及下侧升降销接收。接着，上侧升降销及下侧升降销向反方向移动，将上侧基板及下侧基板分别交接至上侧基板保持件及下侧基板保持件的表面(例如，参考专利文献1)。尤其，下侧基板中，上侧为元件表面，因此利用搬送机器人的臂真空吸附下侧的面并进行搬送，在不干涉该臂的位置通过上升的下侧升降销真空吸附下侧基板，从搬送机器人的臂交接至下侧升降销。之后，从下侧升降销将下侧基板交接至下侧基板保持件，真空吸附机构进行动作，将下侧基板真空吸附至下侧基板保持件。此时，下侧基板保持件上均等设有多个(例如4个)升降销用贯穿孔，下侧升降销通过升降机构从贯穿孔上升而接收下侧基板，下降而将下侧基板交接至下侧基板保持件，之后，下侧升降销进一步下降并在规定的待机位置停止。进一步交接上侧基板及下侧基板之后，上侧基板保持件与下侧基板保持件接近移动，将两者间的真空容器内设为真空状态之后，重叠上侧基板与下侧基板，临时固定两者间的密封材，真空容器内成为大气压之后，通过升降销将贴合的上侧基板及下侧基板交接至搬送机器人的臂，并从真空容器中搬出。专利文献1：日本特开2002-229471号公报然而，这种以往的贴合设备的制造装置中，上侧基板与下侧基板的贴合中使用的下侧基板保持件的表面开口且凹陷有多个升降销用贯穿孔和槽等，因此下侧基板的一部分因其自重而下降，且局部性伸缩而弯曲成凹凸状，在残留有因该局部性伸缩导致的应力的状态下与上侧基板贴合。该贴合之前在下侧基板产生的局部应力最终在进行贴合后成为基板的残留应力，不仅影响贴合精度，还存在如下问题，即在上侧基板及下侧基板之间产生气泡而降低品质，导致成品率下降。而且，存在如下问题，即基于搬送机器人的臂的下侧基板的保持部位为局部性线状而非下侧基板的整个面，并且基于下侧升降销的真空吸附的下侧基板的保持部位为局部性点状而非下侧基板的整个面，因此，在这种保持状态下，下侧基板因其自重而局部性伸缩并弯曲成凹凸状。即，将下侧基板从搬送机器人的臂交接至下侧升降销的情况也成为分别在保持时发生的因局部性伸缩导致的应力残留在下侧基板的主要原因，使贴合精度进一步下降而成品率下降的问题。并且，还存在如下问题，即在下侧基板上搬送机器人的臂或下侧升降销所接触的部位附着有杂质等异物，与其他部位之间产生不均，无法高精度贴合。尤其，近年来的LCD等中，基板倾向于大型化、薄型化，一般G8(2200×2500mm)尺寸的液晶用玻璃基板的厚度成为0.2mm，G11(3000×3320mm)尺寸液晶用玻璃基板的厚度成为0.5mm，非常容易弯曲变形。并且，对于4k×2k板或高精细板及多视角的3D技术等板，要求高精细的板，对于整个板面要求TFT基板与滤色片基板的对位误差为2μm程度以下的精度。另一方面，进行贴合装置的对位的基准标志位置与确认其标志位置的相机并不是在基板的整个面进行，一般即使为G8尺寸的液晶用玻璃基板，也在其端部位置进行4处至8处左右的对准。因此，若玻璃基板的中心位置残留有局部应力，则利用相机进行标志对位的端部位置上，虽然位置偏离非常少，但是在玻璃基板的中心位置上，与端部位置相比在基板彼此相对的位置偏离变大，将G8尺寸的液晶用玻璃基板的对位误差控制在亚微米的精度非常困难。
技术实现思路
为了实现这种课题，本专利技术所涉及的贴合设备的制造装置为如下，在贴合空间中将上侧工件保持在上侧保持部件且将下侧工件保持在下侧保持部件，通过所述上侧保持部件与所述下侧保持部件相对接近移动，贴合所述上侧工件与所述下侧工件，所述贴合设备的制造装置的特征在于，具备：所述上侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述上侧工件的上侧卡盘面；所述下侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述下侧工件的平滑的下侧卡盘面；升降驱动部，使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动来重叠所述上侧工件及所述下侧工件；及控制部，对所述上侧卡盘面、所述下侧卡盘面及所述升降驱动部分别进行动作控制，所述上侧保持部件具有所述上侧工件被保持为无法移动的保持部，所述下侧保持部件具有：浮起部，具备在与所述下侧工件之间分别产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整所述分离压力及所述接近压力的机构，所述控制部如下进行控制，相对于所述下侧保持部件使所述下侧工件保持所述浮起部的所述分离压力及所述接近压力的平衡，所述下侧工件以从所述下侧卡盘面浮起的方式非接触地被支承，从所述浮起部切换为所述接触保持部，使所述接近压力相比所述分离压力逐渐增大而所述下侧工件被接触保持在所述下侧卡盘面，通过所述升降驱动部使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过所述保持部被保持在所述上侧卡盘面的所述上侧工件与所述下侧工件重叠。并且本专利技术所涉及的贴合设备的制造方法为如下方法，在贴合空间中将上侧工件保持在上侧保持部件且将下侧工件保持在下侧保持部件，通过所述上侧保持部件与所述下侧保持部件相对接近移动，贴合所述上侧工件与所述下侧工件，所述贴合设备的制造方法的特征在于，包括：保持工序，将所述上侧工件保持在所述上侧保持部件的上侧卡盘面，将所述下侧工件保持在所述下侧保持部件的平滑的下侧卡盘面；及粘合工序，通过使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动来重叠所述上侧工件及所述下侧工件，所述保持工序中，相对于所述下侧保持部件使所述下侧工件保持通过浮起部在与所述下侧工件之间分别向反方向产生的分离压力及接近压力的平衡，以从所述下侧卡盘面浮起的方式非接触地支承所述下侧工件，接着，通过接触保持部使所述接近压力相比所述分离压力逐渐增大，使所述下侧工件与所述下侧卡盘面接触并保持为无法移动，所述粘合工序中，重叠所述上侧工件与所述下侧工件。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式所涉及的贴合设备的制造装置的整体结构的说明图，图1(a)是上侧工件搬入时的纵剖面主视图，图1(b)是上侧工件交接时的纵剖面主视图。图2是表示本专利技术的实施方式所涉及的贴合设备的制造装置的整体结构的说明图，图2(a)是下侧工件搬入时的纵剖面主视图，图2(b)是重叠时的纵剖面主视图。图3是表示本专利技术的实施方式所涉及的贴合设备的制造装置的整体结构的说明图，图3(a)是贴合后的纵剖面主视图，图3(b)是贴合设备搬出时的纵剖面主视图。图4是表示本专利技术的实施方式所涉及的贴合设备的制造装置的整体结构的说明图，图4(a)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种贴合设备的制造装置，在贴合空间中将上侧工件保持在上侧保持部件且将下侧工件保持在下侧保持部件，通过所述上侧保持部件与所述下侧保持部件相对接近移动，贴合所述上侧工件与所述下侧工件，所述贴合设备的制造装置的特征在于，具备：所述上侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述上侧工件的上侧卡盘面；所述下侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述下侧工件的平滑的下侧卡盘面；升降驱动部，使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动来重叠所述上侧工件及所述下侧工件；及控制部，对所述上侧卡盘面、所述下侧卡盘面及所述升降驱动部分别进行动作控制，所述上侧保持部件具有所述上侧工件被保持为无法移动的保持部，所述下侧保持部件具有：浮起部，具备在与所述下侧工件之间分别产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整所述分离压力及所述接近压力的机构，所述控制部如下进行控制：保持所述浮起部的所述分离压力及所述接近压力的平衡，以所述下侧工件从所述下侧卡盘面浮起的方式相对于所述下侧保持部件非接触地支承所述下侧工件，从所述浮起部切换为所述接触保持部，使所述接近压力相比所述分离压力逐渐增大而所述下侧工件被接触保持在所述下侧卡盘面，通过所述升降驱动部使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过所述保持部被保持在所述上侧卡盘面的所述上侧工件与所述下侧工件重叠。...

【技术特征摘要】
2015.07.01 JP 2015-132728;2015.07.24 JP 2015-146411.一种贴合设备的制造装置，在贴合空间中将上侧工件保持在上侧保持部件且将下侧工件保持在下侧保持部件，通过所述上侧保持部件与所述下侧保持部件相对接近移动，贴合所述上侧工件与所述下侧工件，所述贴合设备的制造装置的特征在于，具备：所述上侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述上侧工件的上侧卡盘面；所述下侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述下侧工件的平滑的下侧卡盘面；升降驱动部，使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动来重叠所述上侧工件及所述下侧工件；及控制部，对所述上侧卡盘面、所述下侧卡盘面及所述升降驱动部分别进行动作控制，所述上侧保持部件具有所述上侧工件被保持为无法移动的保持部，所述下侧保持部件具有：浮起部，具备在与所述下侧工件之间分别产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整所述分离压力及所述接近压力的机构，所述控制部如下进行控制：保持所述浮起部的所述分离压力及所述接近压力的平衡，以所述下侧工件从所述下侧卡盘面浮起的方式相对于所述下侧保持部件非接触地支承所述下侧工件，从所述浮起部切换为所述接触保持部，使所述接近压力相比所述分离压力逐渐增大而所述下侧工件被接触保持在所述下侧卡盘面，通过所述升降驱动部使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过所述保持部被保持在所述上侧卡盘面的所述上侧工件与所述下侧工件重叠。2.根据权利要求1所述的贴合设备的制造装置，其特征在于，所述贴合设备的制造装置具备向所述贴合空间至少搬入所述下侧工件的搬入部件，所述上侧保持部件及所述下侧保持部件被...

【专利技术属性】
技术研发人员：大谷义和，
申请(专利权)人：信越工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP