The invention discloses a high precision and large travel three DOF micro positioning platform, comprising a base, a moving platform and uniform amplification mechanism in four flexible bridge moving platform is formed in the matrix around the central, along the X layout of an arbitrary flexible bridge amplification mechanism with piezoelectric ceramic drive 1 drive Y to two, along the bridge layout flexible amplification mechanism by a piezoelectric actuator drive along the X II; two flexible amplification mechanism of each bridge layout by two along the X semi circular flexible hinge of the series and the moving platform is connected to two Y, along the bridge layout flexible amplification mechanism the connection with the moving platform a group of two semi roundflexible II, 2.5 roundflexible II in each group and the Y series to parallel, two semi roundflexible II centrosymmetrical. The invention can realize the high precision and large stroke motion of the moving platform in the XY plane, and has the advantages of high working frequency and natural frequency.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种三自由度并联微定位平台,特别是涉及一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台。
技术介绍
随着科技的发展,微纳技术得到了更广阔的应用。但是,高精度的微定位平台一直制约着微纳技术的推广。目前,小行程的微定位平台已经获得了重大的突破,但是,高精度、大行程的微定位平台还需要进一步提高。目前,高精度、大行程微定位平台最常采用的结构是:X向平动、Y向平动和Z向转动串联。但是这种串联机构会导致平台的工作带宽以及固有频率降低。
技术实现思路
本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台,该平台具有较高的工作带宽和固有频率。本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台,包括基体,在所述基体的中央形成有动平台及均布在所述动平台周围的四个柔性桥式放大机构,其中两个所述柔性桥式放大机构沿X向布置,另外两个所述柔性桥式放大机构沿Y向布置,每个所述柔性桥式放大机构设有一平行板导向机构,二者组合形成一个微定位机构;沿X向布置的任意一个所述柔性桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动,沿Y向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用一个压电陶瓷驱动器Ⅱ驱动;沿X向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用两个沿X向串联的半圆形柔性铰链Ⅰ与所述动平台连接,沿Y向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用每两个一组的半圆形柔性铰链Ⅱ与所述动平台连接,每组内的两个所述半圆形柔性铰链Ⅱ串联且与Y向平行,两组所述半圆形柔性铰链Ⅱ关于中心对称。所述平行板导向机构设有4片平行板。在所述基体上设有定位孔。本专利技 ...
【技术保护点】
一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台,其特征在于,包括基体,在所述基体的中央形成有动平台及均布在所述动平台周围的四个柔性桥式放大机构,其中两个所述柔性桥式放大机构沿X向布置,另外两个所述柔性桥式放大机构沿Y向布置,每个所述柔性桥式放大机构设有一平行板导向机构,二者组合形成一个微定位机构;沿X向布置的任意一个所述柔性桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动,沿Y向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用一个压电陶瓷驱动器Ⅱ驱动;沿X向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用两个沿X向串联的半圆形柔性铰链Ⅰ与所述动平台连接,沿Y向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用每两个一组的半圆形柔性铰链Ⅱ与所述动平台连接,每组内的两个所述半圆形柔性铰链Ⅱ串联且与Y向平行,两组所述半圆形柔性铰链Ⅱ关于中心对称。
【技术特征摘要】
1.一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台,其特征在于,包括基体,在所述基体的中央形成有动平台及均布在所述动平台周围的四个柔性桥式放大机构,其中两个所述柔性桥式放大机构沿X向布置,另外两个所述柔性桥式放大机构沿Y向布置,每个所述柔性桥式放大机构设有一平行板导向机构,二者组合形成一个微定位机构;沿X向布置的任意一个所述柔性桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动,沿Y向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用一个压电陶瓷驱动器Ⅱ驱动;沿X向布置的两个所述柔...
【专利技术属性】
技术研发人员:周重凯,田延岭,郭志永,张大卫,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:天津;12
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