卷对卷溅射系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种卷对卷溅射系统，其不仅能够以卷对卷驱动方式，在多样的胶片上实现包括Ag、Ni/Cr、SUS等的功能性金属镀膜，而且能够稳定地连续生产制品并提供高品质的胶片，包括：轨道；腔，其固定安装于所述轨道的中央部，能够实现真空状态，使得能够防止胶片的污染及提高膜间粘合力；卷对卷部，其安装得能够在所述轨道上移动，构成得与腔结合及分离，使得在展开胶片并再缠绕的同时，借助于等离子体及离子气体，成膜材料的粒子能够在胶片表面沉积；磁铁部，其能移动地安装于所述轨道的上部，使得功能性金属在借助于卷对卷部而展开并再缠绕的胶片的表面沉积。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及卷对卷溅射系统，更详细而言，涉及一种使得不仅能够以卷对卷驱动方式，把包括Ag、Ni/Cr、SUS等的功能性金属在多样的胶片上沉积(或涂布)成薄膜形态，而且能够稳定地连续生产制品并提供高品质的胶片的卷对卷溅射系统。
技术介绍
一般而言，卷对卷溅射系统是在真空状态下，使离子在胶片的表面沉积成薄膜的装置，如此沉积了金属离子的胶片用作显示装置、太阳能电池模块、触摸面板、玻璃窗的涂布用。就所述卷对卷溅射系统的构成而言，构成能实现真空状态的腔，在所述腔的上部构成供卷绕的胶片展开的重绕辊，还构成滚筒，所述滚筒位于所述重绕辊下方，支撑于所述腔内部构成，以便从所述重绕辊展开的胶片向下方引导。另外，构成加装于所述腔的内部的卷绕辊，以便经所述滚筒而向上方引出的胶片缠绕于所述滚筒的上部。另外，构成等离子体辐射装置，所述等离子体辐射装置加装于所述腔的内侧面，构成得朝向所述滚筒发生等离子体。所述等离子体辐射装置构成阴极腔，构成加装于所述阴极腔内并朝向所述滚筒辐射等离子体的阴极。构成得从所述阴极喷射氩等惰性气体，包括以金属形成的靶而构成。基于所述构成的卷对卷溅射系统的作用是，作为被沉积体的胶片从所述重绕辊向下方展开，经过所述滚筒而向上方引出，缠绕于所述卷绕辊。此时，从所述阴极向滚筒辐射等离子体，此时，从构成从阴极喷射的惰性气体的原子释放电子，与此同时形成的既定分布的阳离子碰撞带阴极的所述靶，靶的金属原子呈既定分布地脱离，在所述胶片的表面沉积成既定厚度，形成薄膜。存在无法在所述胶片上，把不同成分的薄膜构成多层的问题。当然，在滚筒的周围安装多个等离子体辐射装置后，朝向经过滚筒的胶片，沉积不同成分的金属原子，因而也可以视为能够构成多层薄膜的胶片，然而此时，从各阴极发生的等离子体相互干扰，发生相异的金属原子相互混合的现象。因此，各薄膜层由不同成分的金属原子混杂构成，因而存在导致不良的问题。即，在胶片的上面层叠的各薄膜层构成得发挥各自的功能，但薄膜层的纯度低下，因而存在无法发挥其功能的问题。【现有技术文献】【专利文献】大韩民国注册专利公报第10-1166420号(2012.07.11)
技术实现思路
解决的技术问题为了解决所述问题，本技术目的在于提供一种卷对卷溅射系统，不仅能够以卷对卷驱动方式，在多样的胶片上实现功能性金属镀膜，而且能够稳定地连续生产制品品质。技术方案旨在达成所述目的的本技术的卷对卷溅射系统的特征在于，包括：轨道；腔，其固定安装于所述轨道的中央部，能够实现真空状态，使得能够防止胶片的污染及提高膜间粘合力；卷对卷部，其安装得能够在所述轨道上移动，构成得与腔结合及分离，使得在展开胶片并再缠绕的同时，借助于等离子体及离子气体，成膜材料的粒子能够在胶片表面沉积；磁铁部，其能移动地安装于所述轨道的上部，使得功能性金属在借助于卷对卷部而展开并再缠绕的胶片的表面沉积。其中，本技术的所述腔固定安装于所述轨道的上部，以圆筒形构成，使得在展开胶片并再次缠绕的同时，能够在胶片上涂布包括Ag、Ni/Cr、SUS的功能性金属薄膜，为保持腔内侧的高真空而安装低温泵及涡轮泵。其中，本技术的所述卷对卷部包括：卷对卷框架底座，其在下端部形成轮子，使得能够安装于所述轨道的上部并移动；卷对卷框架，其在所述卷对卷框架底座上部，以大致四边形的形状形成；开卷辊(unwind-rooller)，其能旋转地安装于所述卷对卷框架的一侧，使得能够安装胶片卷并展开胶片；重卷辊(rewind-rooller)，其位于所述开卷辊的一侧，能旋转地安装于卷对卷框架的一侧，形成得能够缠绕安装于开卷辊的胶片；滚筒，其位于所述开卷辊与重卷辊的下方，能旋转地安装于卷对卷框架，使得功能性金属容易以既定温度沉积于胶片的表面；空转辊，其能旋转地在所述开卷辊的一侧下方和重卷辊一侧下方与滚筒的两侧上方安装多个，当胶片从开卷辊经过滚筒而缠绕到重卷辊时保持既定张力；预处理部，其位于空转辊之间，能旋转地安装于卷对卷框架，使得能够在安装于所述开卷辊的胶片缠绕于重卷辊时，去除移动的胶片表面的污染物，提高涂布物质间的粘合力。其中，本技术的所述预处理部包括：加热器，其位于所述开卷辊的下方一侧空转辊之间，去除从开卷辊向滚筒供应的胶片的水分；离子束源，其位于所述加热器与空转辊之间，安装于卷对卷框架，去除通过加热器而去除了水分的胶片表面的污染物，提高涂布物质间的粘合力。其中，本技术的所述加热器以IR型构成，为了去除胶片的水分而加热的区间的长度最少为250mm以上，通过去除水分而使得容易涂布。其中，本技术的所述磁铁部是在轨道的上部，能移动地安装磁铁框架底座，使得能够与所述腔结合，在所述磁铁框架底座的上部，安装四边形形状的磁铁框架，在磁铁框架的一侧包括溅射装置构成，以便在安装于所述卷对卷部的胶片的表面发生等离子体，把功能性金属沉积成薄膜形态。技术的效果本技术在利用卷对卷方式，制造把功能性金属沉积成薄膜形态的胶片时，使重卷辊与滚筒之间、滚筒与开卷辊之间，借助于空转辊而保持既定张力，因而具有功能性金属容易地在胶片上沉积为薄膜形态的效果。另外，利用等离子体及离子气体对胶片进行预处理，因而具有去除在胶片的表面沾染的污染物并提高膜间(沉积于胶片的金属薄膜)粘合力的效果。另外，本技术为了薄膜成膜而安装冷却滚筒，因而在涂布时既定地保持胶片的温度，具有生产品质均匀的胶片的效果。另外，本技术在胶片移动时，在开卷辊与滚筒之间、重卷辊与滚筒之间，借助于空转辊，胶片在保持既定速度及张力的状态下移动，因而具有功能性金属均匀沉积成薄膜形态的效果。附图说明图1是显示本技术的卷对卷溅射系统的构成的图。图2是概略地显示在本技术的卷对卷溅射系统的胶片上进行功能性金属镀膜时用于真空沉积的构成的图。【附图标记的说明】100:轨道 200:腔210:低温泵 220:涡轮泵300:卷对卷部 310:卷对卷框架底座311:轮子 320:卷对卷框架330:开卷辊 340:重卷辊350:滚筒360-1、360-2、360-3、360-4、360-5、360-6、360-7、360-8、360-9、360-10、360-11、360-12:空转辊370:预处理部 371:加热器372:离子束源 400:磁铁部410:磁铁框架底座 420:磁铁框架430:溅射装置 431:DC电源供应器具体实施方式本技术可以加以多样的变更，可以拥有各种实施例，在附图中示例性地图示特定实施例并详细说明。但是，这并非要把本技术限定于特定的实施形态，应理解为包括本技术的思想及技术范围内所包含的所有变更、均等物及至替代物。在说明各附图的同时，针对类似的构成要素使用类似的参照符号。第1、第2等术语可以用于说明多样的构成要素，但所述构成要素不由所述术语所限定。所述术语只用于把一个构成要素区别于其它构成要素的目的。例如，“及/或”字样的术语，包括多个相关记载项目的组合或多个相关记载项目中的某个项目。只要未不同地定义，包括技术性或科学性术语在内，此处使用的所有术语具有与本技术所属
的技术人员一般理解的内容相同的意义。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卷对卷溅射系统，在所述卷对卷溅射系统中，其中，包括：轨道；腔，其固定安装于所述轨道的中央部，能够实现真空状态，使得能够防止胶片的污染及提高膜间粘合力；卷对卷部，其安装得能够在所述轨道上移动，构成得与腔结合及分离，使得在展开胶片并再缠绕的同时，借助于等离子体及离子气体，功能性金属的粒子能够在胶片表面保持既定温度并沉积；磁铁部，其能移动地安装于所述轨道的上部，使得功能性金属在借助于卷对卷部而展开并再缠绕的胶片的表面沉积。

【技术特征摘要】
2015.03.31 KR 10-2015-00455121.一种卷对卷溅射系统，在所述卷对卷溅射系统中，其中，包括：轨道；腔，其固定安装于所述轨道的中央部，能够实现真空状态，使得能够防止胶片的污染及提高膜间粘合力；卷对卷部，其安装得能够在所述轨道上移动，构成得与腔结合及分离，使得在展开胶片并再缠绕的同时，借助于等离子体及离子气体，功能性金属的粒子能够在胶片表面保持既定温度并沉积；磁铁部，其能移动地安装于所述轨道的上部，使得功能性金属在借助于卷对卷部而展开并再缠绕的胶片的表面沉积。2.根据权利要求1所述的卷对卷溅射系统，其中，所述腔固定安装于所述轨道的上部，以圆筒形构成，使得在展开胶片并再次缠绕的同时，能够在胶片上涂布包括Ag、Ni/Cr、SUS的功能性金属薄膜，为了保持腔内侧的高真空而安装低温泵及涡轮泵。3.根据权利要求1所述的卷对卷溅射系统，其中，所述卷对卷部包括：卷对卷框架底座，其在下端部形成轮子，使得能够安装于所述轨道的上部并移动；卷对卷框架，其在所述卷对卷框架底座上部，以大致四边形的形状形成；开卷辊，其能旋转地安装于所述卷对卷框架的一侧，使得能够安装胶片卷并展开胶片；重卷辊，其位于所述开卷辊的一侧，能旋转地安装于卷对卷框架的一侧，形成得能够缠绕安装于...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴钟旿，
申请(专利权)人：美思菲林股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国;KR