下载卷对卷溅射系统的技术资料

文档序号:14108632

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本实用新型涉及一种卷对卷溅射系统,其不仅能够以卷对卷驱动方式,在多样的胶片上实现包括Ag、Ni/Cr、SUS等的功能性金属镀膜,而且能够稳定地连续生产制品并提供高品质的胶片,包括:轨道;腔,其固定安装于所述轨道的中央部,能够实现真空状态,使...
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