用于制造有机发光显示面板的装置和方法制造方法及图纸

一种用于制造有机发光显示面板的装置和方法。一种用于制造有机发光显示面板的装置包括：多个室；沉积单元，被配置为将转移层形成在以卷对卷工艺供应到所述多个室内的膜上；以及激光热转移装置，被配置为将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移到被供应至所述多个室中的室内的基板上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术实施例的方面涉及有机发光显示面板、用于制造有机发光显示面板的装置以及通过利用该装置制造有机发光显示面板的方法。
技术介绍
一般而言，有机发光显示面板包括阳极、阴极以及介于阳极和阴极之间的发射层(EML)0 有机发光显示面板因为它们的广视角、高对比度和短响应时间的优点而作为下一代显示面板引起关注。根据EML是由聚合物有机材料还是低分子有机材料形成，有机发光显示面板可进一步包括从由空穴注入层、空穴传输层、电子传输层和电子注入层组成的组中选择的至少一层。为了显示有机发光显示面板的全色图像，EML被图案化。在低分子有机发光显示面板中，EML利用遮光板(shadow mask)被图案化,而在聚合物有机发光显示面板中,EML层利用喷墨印刷方法或激光诱导热成像(LITI)方法被图案化。LITI方法使EML能够被微图案化，可用于大面积，且可提供高分辨率图像显示。
技术实现思路
根据本专利技术实施例的方面，配置一种用于制造有机发光显示面板的装置和利用该装置制造有机发光显示面板的方法，通过该装置在高真空室中执行转移层的沉积工艺和激光转移工艺，而无需切断膜。根据本专利技术实施例，一种用于制造有机发光显示面板的装置包括多个室；沉积单元，被配置为将转移层形成在以卷对卷工艺供应至所述多个室内的膜上；以及激光热转移装置，被配置为将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移到被供应至所述多个室中的室内的基板上。所述多个室可包括维持在多级真空态下的真空室。所述多个室中的室彼此可依次成直线放置。所述装置可进一步包括连接至所述多个室中的高真空室的基板转移室，其中所述基板可从所述基板转移室被供应到所述高真空室内。所述装置可进一步包括被放置在所述多个室的前方的洗涤室，其中所述洗涤室被配置为在空气环境或惰性环境下执行预处理工艺。以卷对卷工艺供应的所述膜可沿水平或竖直方向供应。所述膜可包括基底膜和形成于所述基底膜上的光热转换层，并且所述沉积单元可被配置为将所述转移层沉积在所述光热转换层上。所述膜可沿水平方向供应，并且所述沉积单元可被放置在所述膜的下面且被配置为从所述膜的下面向所述膜的上部喷射转移层形成原材料。所述膜可沿竖直方向供应，并且所述沉积单元可与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，且被配置为沿水平方向将转移层形成原材料喷射在所述膜上。所述装置可进一步包括托架以在所述托架上安装所述基板。所述膜可沿水平方向供应，并且所述激光热转移装置可被放置在所述膜的上方且被配置为从所述膜的上方向所述膜的下部照射激光束。所述膜可沿竖直方向供应，并且所述激光热转移装置可与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，且被配置为沿水平方向将激光束照射在所述膜上。·所述装置可进一步包括放置在所述沉积单元和所述激光热转移装置之间的层压滚筒，其中所述层压滚筒被配置为将所述膜的上面形成有所述转移层的表面附接至所述基板。所述装置可进一步包括靠近所述激光热转移装置放置的剥离滚筒，其中所述剥离滚筒被配置为将对其执行转移工艺的所述膜从所述基板剥离。根据本专利技术另一个实施例，一种制造有机发光显示面板的方法包括以卷对卷工艺将膜供应至多个室内；利用沉积单元在所述膜的表面上形成转移层；将基板从基板转移室转移至所述多个室中的室内；以及利用激光热转移装置将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上。所述方法可进一步包括在空气环境或惰性环境下、在被放置于所述多个室的前方的洗涤室中使所述膜经历预处理工艺。所述多个室中的室可维持在多级真空态下，并且可在所述多个室中的高真空室中形成所述转移层并转移形成于所述膜上的所述转移层的图案。所述高真空室可连接至所述基板转移室，并且可从所述基板转移室转移所述基板，以将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上。以卷对卷工艺供应的所述膜可包括基底膜和形成于所述基底膜上的光热转换层，并且在所述膜的表面上形成所述转移层可包括利用所述沉积单元在所述光热转换层上沉积所述转移层。可沿水平方向供应所述膜，并且所述沉积单元可被放置在所述膜的下面且从所述膜的下面向所述膜的上部喷射转移层形成原材料。可沿竖直方向供应所述膜，并且所述沉积单元可与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，且沿水平方向喷射转移层形成原材料。将所述基板转移至所述室内可包括将所述基板安装在托架上。可沿水平方向供应所述膜，并且所述激光热转移装置可被放置在所述膜的上方以及从所述膜的上方向所述膜的下部照射激光束，以将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上。可沿竖直方向供应所述膜，并且所述激光热转移装置可与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，且沿水平方向照射激光束，以将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上。所述方法可进一步包括利用放置在所述沉积单元和所述激光热转移装置之间的层压滚筒将上面形成有所述转移层的所述膜附接至所述基板。所述方法可进一步包括利用靠近所述激光热转移装置的剥离滚筒将经转移的膜从所述基板剥离。附图说明通过参照附图详细描述本专利技术的一些示例性实施例，本专利技术的上述及其它特征和方面将变得更加明显，在附图中图I为根据本专利技术实施例的有机发光显示面板的部分截面图； 图2为根据本专利技术实施例的图示位于基板上的有机发光二极管的示意性截面图；图3为根据本专利技术实施例的图示其中转移层被沉积在以卷对卷工艺供应的膜上的状态的截面图；图4为根据本专利技术实施例的图示用于制造有机发光显示面板的装置的结构的示意图；图5为根据本专利技术实施例的图4的装置中的高真空室的部分分解图；图6为根据本专利技术实施例的图4的装置中的沉积单元的示意图；以及图7为根据本专利技术实施例的图4的装置中的激光热转移装置的部分示意图。具体实施例方式下文中将参照附图更充分地描述本专利技术的一些示例性实施例；然而，本专利技术的实施例可以采用不同的形式来具体实现，而不应当被解释为限于这里所图示和列举的示例性实施例。更确切地说，为了理解本专利技术并向本领域技术人员传达本专利技术的范围，这些示例性实施例通过示例的方式提供。正如本领域技术人员所认识到的那样，所描述的实施例可以以所有均不背离本专利技术的精神或范围的各种方式修改。虽然可以利用如“第一”、“第二”等这种术语来描述各种组件，但这种组件不必限于上面的术语。上面的术语仅用于将一个组件与另一个组件区别开来。在下面描述中使用的术语仅仅用于描述一些示例性实施例，而不旨在限制本专利技术。使用单数形式的表述包含复数的表述，除非其在上下文中具有明显不同的含义。在下面的描述中，应当理解，诸如“包括”或“具有”等的术语旨在表示说明书中所公开的特征、数值、步骤、动作、组件、部件和/或它们的组合的存在，而不旨在排除一个以上的其它特征、数值、步骤、动作、组件、部件和/或它们的组合可能存在或者可能增加的可能性。下面参照附图描述根据本专利技术一些示例性实施例的用于制造有机发光显示面板的装置和利用该装置制造有机发光显示面板的方法，其中附图示出了本专利技术的一些示例性实施例。图中相同的附图标记表示相同的元件。图I为根据本专利技术实施例的有机发光显示面板100的部分截面图。参照图I，有机发光显示面板100包括第一基板101。第一基板101可为绝缘基板，例如玻璃基板或塑料基板。缓冲层102形成于第一基板101上。缓冲层102可由有机材料或无机材料形成，或者可具有既包括有机材料又包括无机材料的结构，例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造有机发光显示面板的装置，该装置包括：多个室；沉积单元，被配置为将转移层形成在以卷对卷工艺供应到所述多个室内的膜上；以及激光热转移装置，被配置为将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移到被供应至所述多个室中的室内的基板上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宋河珍，李承默，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：