纳米碳管的生长方法技术

本发明专利技术涉及一种纳米碳管的生长方法，其包括如下步骤：提供一基板；制备具有一定粘度的纳米催化剂溶液；将形成的纳米催化剂溶液滴注于基板表面，形成由催化剂液滴构成的催化剂层；及于形成催化剂层的基板表面生长纳米碳管。将形成的纳米催化剂溶液滴注于基板表面是采用一具有针孔尺寸为微米级的注射针头阵列的注射装置完成。注射装置形成的催化剂液滴为微米级。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤其涉及一种制程简单、反应时间短、可生长精细结构的。
技术介绍
纳米碳管是一种管状石墨，其由日本研究人员Iijima于1991年发现，请参见″Helical Microtubules of Graphitic Carbon″，S Iijima，Nature，Vol.354，P.56(1991)。由于其具有极优异的导电、单向导热等性能，被广泛应用于场发射、氢存储以及光感应元件等各领域。目前制备纳米碳管的方法有电弧放电法(Arc Discharge)、激光消熔法(Laser ablation)、化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition，CVD)以及高温分解法(Pyrolysis)等。其中CVD法在纳米碳管生长图案的选择性控制、垂直配向、尺寸控制以及产量等方面均明显优于其它制备方法。传统的采用化学气相沉积法生长纳米碳管的方法包括如下步骤首先提供一硅基板；然后在该硅基板表面沉积一催化剂层；进行预热处理，温度约为400～500℃，使其退火或还原，成为纳米级的催化剂颗粒；然后再将碳氢化合物反应气体通入温度约为1000～1200℃的高温反应器中，碳氢本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米碳管的生长方法，其包括如下步骤：提供一基板；制备具有一定粘度的纳米催化剂溶液；将形成的纳米催化剂溶液滴注于基板表面，形成由催化剂液滴构成的催化剂层；及在形成催化剂层的基板表面生长纳米碳管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林孟东，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]