具有磁控管部件的带状基材涂覆设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有磁控管部件的带状基材涂覆设备，该带状基材涂覆设备具有由室壁构成的真空室及设于该真空室内的带状基材的表面处理装置，该带状基材涂覆设备包括具有圆柱形侧表面的加工热处理辊和用于输送带状基材经过该侧表面的输送装置，其中该侧表面的至少一部分周长被加工室包围，该加工室具有一排由分隔壁件界定的隔室，在至少其中一个所述隔室内设有至少一个涂覆机构，其中，所述隔室的尺寸、数量和排布是可变的，从而每个所述分隔壁件能被安置在该加工室内的多个预定位置中的一个预定位置上。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及带状基材涂覆设备，具有由室壁构成的真空室以及设于真空室内的带状基材的表面处理装置，所述表面处理装置包括具有圆柱形侧表面的加工热处理辊，其中，该侧表面的至少一部分周长被加工室包围，该加工室具有由分隔壁元件界定的隔室布置，其中在至少一个所述隔室内设有至少一个涂覆机构，并且它还包括用于输送带状基材经过该侧表面的输送装置。
技术介绍
具有用于表面处理尤其是涂覆带状基材如金属带或塑料带/薄膜条带的已知带状基材涂覆设备包括由室壁构成的可抽真空的真空室、设于真空室内的具有圆柱形侧表面的且用于绕侧表面的一部分周长热处理引导带状基材的加工热处理辊以及分散在该侧表面的部分周长上的可借助真空泵被抽真空的成排隔室。待处理的带状基材从退卷借助输送装置沿加工热处理辊的侧表面且沿设于可抽真空的隔室内的涂覆机构被送至收卷。收卷和退卷在此或是可以分别设置在一个自身的可抽真空的卷绕机室内，但或是也可以设置在该真空室内。带状基材在退卷和收卷之间被尤其包括转向辊、带张力测量辊的输送装置引导，以便带状基材无折叠和皱褶地沿加工热处理辊侧表面被引导。还知道了该带状基材输送装置在退卷和收卷之间掉转，以便例如在从收卷到退卷的输送路程中再一次处理该带状基材，尤其是再一次涂覆。借助加工热处理辊，一方面，带状基材本身和沉积在带状基材上的涂覆材料被冷却，因而被保护以免过热，另一方面，带状基材可以借助加工热处理辊被加热，以实现规定的基材处理。该加工热处理辊借助设于真空室外的驱动装置可绕其中心轴线转动地构成。关于隔室布置在加工热处理辊侧表面的部分周长上，知道了各种实施方式。WO2014/060468A1公开了一种带状基材涂覆设备，其包括加工热处理辊，其中，
加工热处理辊侧表面的至少一部分周长被加工室包围，加工室具有成排的隔室。隔室尺寸总是相同且如此设定尺寸，即，表面处理装置且尤其是呈双管磁控管形式的涂覆机构可以设置在由壁件构成的隔室内部。所述壁件例如以接触的金属板形式构成，从而从真空室到隔室的体积流被减小到最低程度。在具有水平取向的转轴的加工热处理辊中，隔室连同设于其中的涂覆机构相互间隔地布置在2点钟位置、4点钟位置、6点钟位置、8点钟位置和10点钟位置上，在这里，类似于表盘，6点钟位置对应于加工热处理辊周长的最低点。另外，这些隔室与分别设于隔室中的涂覆机构一起可作为两个相互分开的分组件经过真空室室壁的可真空密封关闭的开口从该真空室被取出且又被装入其中。每个隔室内部可通过分别设于真空室外的真空泵被抽真空。因此，在这种已知的带状基材涂覆设备内，在结构上预定确定所述隔室的尺寸、数量和布置。在每个隔室中例如可以分别设有双管磁控管、单管磁控管、平面磁控管、具有蒸气分布管的热蒸发器、离子源或其它涂覆源。这种结构的缺点是，每个隔室的尺寸是根据双管磁控管尺寸而设计且在结构上被预先固定下来。换言之，如此设定每个隔室的尺寸，在隔室中可以设置一个双管磁控管，在这里，隔室内部体积尽量小，以尽量缩小待抽真空体积。如果隔室为了不同的涂覆任务，例如为了沉积另一层系在带状基材上而配备有其它的涂覆机构如单管磁控管，则它可以小于双管磁控管。通过这种方式，真正围绕侧表面可提供用于带状基材涂覆的部分周长并未被充分利用起来。虽然两个单管磁控管可以布置在一个隔室内，但这只能在所述加工过程对两个单管磁控管要求相同工作气体的情况下才行。还不利的是，所述隔室的数量和位置在结构上被预先确定。如果要在带状基材上沉积包含多于隔室数量的大量材料的层系，或者要增大待沉积的层厚，则这无法顺利地利用已知的带状基材涂覆设备实现。相反，必须使用具备更多隔室的其它带状基材涂覆设备来沉积该层系。不同于该带状基材涂覆设备，知道了其它的带状基材涂覆设备，在这里，所述隔室位置固定地设置在真空室内，仅该涂覆机构从真空室室壁的可真空密封关闭的开口被取出。在此表面处理装置中，所述隔室的尺寸、数量和布置在结构上被固定预定。在带状基材的输送装置中可以规定，在所述隔室之间分别设有气体分离装置。通过位置固定地布置所述隔室，也可以在结构上固定预定气体分离装置的尺寸、数量和布置。在US4204942A中，用于带材输送的冷辊被分别通过空隙与被良好抽真空的真空
室隔离开多个涂覆单元包围。US4692233A公开一种用于带状基材的涂覆设备，其中带状基材借助输送装置沿涂覆辊被引导且带状基材表面被处理。在此，沿涂覆辊的圆柱形侧表面设有多个加工室(隔室)，它们借助设置在固定位置上的分隔壁件被相互分开。
技术实现思路
因此，本技术的任务是提出一种带状基材涂覆设备，在此，该隔室的数量、尺寸和布置是可变的，此时可以沉积较大的层厚并且就沉积于带状基材上的层系而言的灵活性得以提高。该任务将通过带状基材涂覆设备来完成。在具有由室壁构成的真空室以及设置在真空室内且包括具有圆柱形侧表面的加工热处理辊的带状基材表面处理装置和用于输送带状基材经过该侧表面的输送装置的带状基材涂覆设备中，其中该侧表面的至少一部分周长被加工室包围，该加工室具有由分隔壁件界定的成排的隔室，并且在至少一个隔室内设有至少一个涂覆机构，在此提出，所述隔室的尺寸、数量和排列是如此可变的，即每个分隔壁件可安置在该加工室内的多个预定位置中的一个位置上。所提出的解决方案容许针对带状基材涂覆设备第一次将围绕加工热处理辊的局部区域延伸的加工区域根据需要划分为较多或较少的可分别是大小不同的且可具有不同功能的隔室，从而同一台涂覆设备可以快速简单地适应于用于在带状基材上制造不同层系的不同加工过程。为此也不再需要至少更换所谓的隔室组件。相反，尽量不太费事地将具有期望构型的成排分隔壁件插入或推入，由此产生具有任意尺寸的不同功能性隔室的任何布置。功能性隔室例如可以是用于基材的涂覆、蚀刻、等离子体处理、加热、冷却等等的隔室。能够将加工室分为多个隔室的这些分隔壁件例如可以是平面金属板，其与加工热处理辊相关地在径向和轴向上即平行于其纵轴延伸。每个这样的分隔壁件形成两个相互邻接的隔室之间的分界。根据本技术，每个这样的分隔壁件可安装在不同的位置上，从而可通过最简单的方式改变隔室之间边界的位置。本技术的基本构想在于，带状基材涂覆设备就隔室的尺寸、数量和排列而言的灵活性被提高。不同于现有的带状基材涂覆设备，由隔室的尺寸、数量和排列构成
的这种配置是可自由选择的。尤其有利的是，分隔壁件的位置也可以在带状基材涂覆设备制造之后被改变。例如这些分隔壁件可以如此安装在预定位置上，即，相同的涂覆机构如具有相同靶材的溅射涂覆机构被集中在一个隔室内。因此，可以如此选择这样大小的隔室，例如多于一个的双管磁控管可作为涂覆机构安装在该隔室内。通过分隔壁件的该自由配置，加工室可最佳匹配于当时存在的涂覆任务。另外，围绕侧表面的部分周长的最大可提供的加工室尺寸尽可能被最佳利用，从而总体上可以在带状基材上沉积比在具有相似的加工辊直径的现有带状基材涂覆设备中时更大的层厚。根据一个实施方式而规定，成排隔室具有至少一个涂覆隔室，涂覆机构设于涂覆隔室内，其中，该涂覆隔室分别由两个分隔壁件、两个端壁件和一个外壁件和朝向加工热处理辊的一个隔板界定。涂覆隔室是相对于环境基本封闭的空间，在其中设有涂覆机构例如具有圆柱形回转本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带状基材涂覆设备，该带状基材涂覆设备具有由室壁(14)构成的真空室(1)以及设于该真空室(1)内的带状基材的表面处理装置，该带状基材涂覆设备包括具有圆柱形侧表面的加工热处理辊(22)和用于输送所述带状基材经过所述侧表面的输送装置，其中所述侧表面的至少一部分周长被加工室包围，该加工室具有一排由分隔壁件(313)界定的隔室(32,33)，其中在至少一个所述隔室(32,33)内设有至少一个涂覆机构(314)，其特征在于，所述隔室(32,33)的尺寸、数量和布置是可变的，从而使得每个所述分隔壁件(313)能被安置在所述加工室内的多个预定位置中的一个预定位置上。

【技术特征摘要】
2015.03.18 DE 102015104039.51.一种带状基材涂覆设备，该带状基材涂覆设备具有由室壁(14)构成的真空室(1)以及设于该真空室(1)内的带状基材的表面处理装置，该带状基材涂覆设备包括具有圆柱形侧表面的加工热处理辊(22)和用于输送所述带状基材经过所述侧表面的输送装置，其中所述侧表面的至少一部分周长被加工室包围，该加工室具有一排由分隔壁件(313)界定的隔室(32,33)，其中在至少一个所述隔室(32,33)内设有至少一个涂覆机构(314)，其特征在于，所述隔室(32,33)的尺寸、数量和布置是可变的，从而使得每个所述分隔壁件(313)能被安置在所述加工室内的多个预定位置中的一个预定位置上。2.根据权利要求1所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，这一排隔室(32,33)具有至少一个涂覆隔室(32)，在该至少一个涂覆隔室中设有涂覆机构(314)，其中每个涂覆隔室(32)均由两个分隔壁件(313)、两个端壁件(311)、一个外壁件(11)和一个朝向所述加工热处理辊(22)的隔板(21)界定。3.根据权利要求2所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，形成至少两个涂覆隔室(32)，且在两个相邻的涂覆隔室(32)之间，至少一个区段形成用于所述涂覆隔室(32)之间的真空隔离的泵室(33)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，所述加工室通过所述分隔壁件(313)的预定位置被分为同样大小的区段。5.根据权利要求1所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，在每个区段的区域中设置用于连接真空泵的至少一个真空端口(13)。6.根据权利要求5所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，所述真空端口(13)设置在室壁(14)上，从而使得安装在所述真空端口上的真空泵具有至各自对应区段的直接泵送通路。7.根据权利要求2所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，所有隔板(21)可分离地固定在共同的保持机构(23)上且通过共同的所述保持机构(23)相对于所述加工热处理辊(22)被保持在固定的相对位置上。8.根据权利要求7所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，在共同的所述保持机构(23)上的所述隔板(21)相对于所述加工热处理辊(22)的位置是能够调节的。9.根据权利要求2所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，所述外壁件(11)具有
\t对应于被遮蔽的区段的数量的多个开口(111)，每个所述开口布置在一个真空端口(13)上方。10.根据权利要求2所述的带状基材涂覆设备，其特征在于，所述涂覆隔室...

【专利技术属性】
技术研发人员：H·普罗尔，M·亨切尔，A·达斯勒，C·凯塞尔，A·穆勒，
申请(专利权)人：冯·阿德纳有限公司，
类型：新型
国别省市：德国;DE