本发明专利技术涉及一种用于对带状基底进行表面涂层的多层涂层装置以及一种具有这种多层涂层装置的带状基底真空涂层设备。该多层涂层装置包括具有用于围绕周侧面的包围超过180°的部分圆周冷却地引导带状基底的圆柱形的周侧面的冷却辊以及在周侧面的包围超过180°的部分圆周上分布的、分别具有至少一个在其中布置的处理装置的隔间的布置，其中，隔间的布置被划分为两个由分隔平面分隔开的部分系统，每个部分系统的隔间相对彼此位置固定地布置，并且每个部分系统包围冷却辊的周侧面的不超过180°的部分圆周，其特征在于，两个部分系统能在与分隔平面垂直的方向上离开冷却辊地移动。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于带状基底的多层涂层装置以及带状基底真空涂层设备
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分的用于对带状基底进行表面涂层的多层涂层装置，尤其是多层磁控溅射涂层装置以及一种根据权利要求11的前序部分的带状基底真空涂层设备。
技术介绍
公知的用于对过程室中的带状材料进行涂层的真空涂层设备在第一能抽真空的卷轴室内包括具有待涂层的带状材料的置入的放卷机的放卷装置，该放卷机布置在第一辊座中，并且在第二能抽真空的卷轴室内包括具有已涂层的材料的能拆除的收卷机的收卷装置，该收卷机布置在第二辊座中。在卷轴室之间，待涂层的带状材料穿过至少一个能抽真空的过程室，其中，在每个过程室内布置有具有用于带状材料以及冷却辊的引导装置的过程辊座，至少一个磁控溅射源位于其表面之上。在其他公知的带涂层设备中，放卷机和收卷机布置在过程室内部，具有如下优点:不需要单独的卷轴室，但是也具有如下缺点:在不对整个过程室通风的情况下不能更换卷轴。这种设备类型也可以通过其中所描述的专利技术有利地得以改善。由DE19735603C1公知了一种用于带状材料的真空涂层设备，其具有两个过程室。在每个过程室中存在有辊座，在该辊座中支承有转向滚子、带张力测量辊以及冷却辊。每个辊座能水平和竖直调节地实施，以便能彼此实现调整并由此可以避免带状材料形成褶皱。过程室以及卷轴室通过带状阀门以真空方式彼此分隔开，以便能够以不同的气体以及不同的压力工作。待涂层的带状材料被运输穿过带状阀门。放卷机和收卷机位于卷轴室中。待涂层的材料在第一卷轴室中由放卷机展开并输送给涂层过程，并且最后在第二卷轴室中收卷。为了给带状材料涂层可以使用例如磁控溅射源，但是也可以使用其他涂层源(像例如具有配气管的热汽化器)或离子源，它们能相对各自的冷却辊调节地布置，从而使得它们的中间纵向线能与它们附属的冷却辊的中轴线轴线平行地调整。依赖于所使用的涂层源可以规定，一个或多个涂层源分别布置在一个隔间中，该隔间适用于各自的涂层源相对过程室的的气体分离。除了提到的涂层源，其他附加的所需过程技术也可以布置在冷却辊的外围中。关于过程技术的装配可以区分为两组。因此，如下过程技术是公知的，该过程技术可以在封闭过程室的室壁之前布置在过程室中。另一组过程技术可以通过如下方式在封闭过程室的室壁之后或之时才布置在过程室中，这个过程技术能通过室壁中的开口引入过程室中，其中，这个过程技术在一侧根据悬臂支架(Cantilever)的类型保持在室壁本身上。由DE10157186C1 公知了一种本文开头提到类型的真空涂层设备，其中，用于放卷机的辊座紧固在第一卷轴室中的第一紧固点上，过程辊座紧固在过程室中的第二和第三紧固点上，而用于收卷机的辊座紧固在第二卷轴室中的第四紧固点上。在设备的运行状态下，卷曲室与过程室之间的压力差最大为50Pa。在实践中已经表明，通常多个沿着冷却辊的表面的外围以很小的间隙布置的磁控溅射源或/和隔间的布置的纯轴线平行的移动在该布置与冷却辊之间没有接触的情况下很难实现。因此，过去也使用一种尝试克服这个问题的具有冷却辊以及沿着冷却辊的外围的涂层源和隔间的布置的多层涂层装置。为此，这些布置被划分为多个，多数情况下为三个隔间部分系统，它们分别包括冷却辊的不超过180°的部分圆周并且能彼此枢转地连接。在具有水平定向的轴线的冷却辊中，处理装置，像例如涂层源以及围绕限定处理装置的隔间的空间布置在2点钟、4点钟、6点钟、8点钟以及10点钟位置上，其中，与表盘类似六点钟位置相应于冷却辊的外围的最低点。在此，在涂层运行中由于必要的压力分离，隔间与冷却辊的物理上必需的距离为几毫米，例如2_至3mm。在对多层涂层装置的例如每周的维护(例如，更换溅射装置环境、靶等等)中，处理装置以及隔间必须从过程环境，即从冷却辊移开。在此，除了耗费的结构外，该过程是非常繁琐且耗时的。在此，首先必须从过程室中不依赖于隔间的部分系统拆除在一侧支承在过程室的室壁上的处理装置，像例如涂层源。紧接着，布置在2点钟和10点钟位置上的隔间部分系统可以向外枢转，并且最后整个隔间布置借助升降台或者类似机构被竖直向下运动。在这个过程之后才可以使整个隔间布置水平地从过程室中运动出来。
技术实现思路
因此，本专利技术的任务在于，简化所提到类型的多层涂层装置的维护过程以及带状基底真空涂层设备结构上的构造。该任务通过具有权利要求1的特征的多层涂层装置以及通过具有权利要求11的特征的带状基底真空涂层设备来解决。在从属权利要求中描述了优选的设计方案和改进方案。因此，提出了一种用于对带状基底进行表面涂层的多层涂层装置，其包括具有用于围绕周侧面的包围超过180°的部分圆周冷却地引导带状基底的圆柱形的周侧面的冷却辊以及在周侧面的包围超过180°的部分圆周上分布的、分别具有至少一个在其中布置的处理装置的隔间的布置，其中，隔间的布置划分为两个由分隔平面分隔开的隔间部分系统，每个部分系统中的隔间相对彼此位置固定地布置，并且每个部分系统围绕冷却辊的周侧面的不超过180°的部分圆周，其中，两个部分系统能在与分隔平面垂直的方向上离开冷却辊地移动。换而言之，在提出的多层涂层装置中的隔间的布置由至少两个部分系统构成，这两个部分系统彼此不连接，并且因此能以如下方式移动，即，它们与冷却辊的各自的间距可以通过移动来增大，其中，两个部分系统彼此间的间距同时地被增大。根据上面提出的多层涂层装置，处理装置不仅可以构造为预处理装置，像例如腐蚀装置、基底调温装置或者其他装置，而且也可以构造为涂层装置，像例如磁控溅射源、具有热配管的热汽化器、离子源或其他装置。在此根据本专利技术，预处理装置以及涂层装置的布置可以设置在一个且同一过程室中。例如，在具有水平定位的轴线的冷却辊中，处理装置以及隔间可以在冷却辊的圆周上分布，但是其中，6点钟的位置保持空置。在该部位上存在有两个部分系统之间的分隔平面，由此可以实现是，在6点钟位置上的隔间的布置可以分隔成两个分别能水平移动的部分系统。在有利的设计方案中规定，冷却辊的中轴线布置在分隔面(中间平面)中。维护过程现在可以在如下几个步骤中实现。在对过程室进行通风之后，首先与冷却辊的中轴线轴线平行地从过程室中拆除处理装置，并且紧接着将隔间的部分系统分别从冷却辊，例如在每一侧以20mm运动开。在此适宜的是，处理装置在冷却辊的径向方向上位置固定地布置。在此，为了优化涂层过程，可以有限度地改变处理装置到冷却辊的间距，即处理装置相对他们各自的隔间相对移动。在这个设计方案中，处理装置能不依赖于隔间的部分系统地运动并且能从过程室拆除。这对于在一侧(悬臂支架)支承在过程室的室壁上的处理装置是有利的。此外，在备选的设计方案中还可以规定，处理装置相对包围处理装置的隔间的区段位置固定地布置，也就是说，处理装置分别以如下方式布置，即，使他们能与隔间各自的部分系统共同运动。维护过程现在可以在如下几个步骤中实现。在对过程室进行通风之后，隔间的部分系统与各自的处理装置一起分别从冷却辊，例如在每一侧以20mm运动开。在设计方案中规定，隔间的两个部分系统能在冷却辊的轴向方向上运动。由此可以实现的是，在具有水平定向的轴线的冷却辊的情况下，隔间的部分系统穿过过程室的能通过构造为室盖的室壁封闭的开口从过程室中运动出来，从而使隔间以及本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于对带状基底(5)进行表面涂层的多层涂层装置，所述多层涂层装置包括具有圆柱形的周侧面(12)的冷却辊(1)以及在周侧面(12)的包围超过180°的部分圆周上分布的隔间(21)的系统，冷却辊用于围绕周侧面(12)的包围超过180°的部分圆周冷却地引导带状基底(5)，隔间分别具有至少一个在其中布置的处理装置(4)，其中，隔间(21)的系统划分为两个由分隔平面(3)分隔开的部分系统(2)，每个部分系统(2)的隔间(21)相对彼此位置固定地布置，并且每个部分系统(2)包围冷却辊(1)的周侧面(12)的不超过180°的部分圆周，其特征在于，两个部分系统(2)能在与分隔平面(3)垂直的方向上离开冷却辊(1)地移动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.10.16 DE 102012109836.01.一种用于对带状基底(5)进行表面涂层的多层涂层装置，所述多层涂层装置包括具有圆柱形的周侧面(12)的冷却辊(I)以及在周侧面(12)的包围超过180°的部分圆周上分布的隔间(21)的系统，冷却辊用于围绕周侧面(12)的包围超过180°的部分圆周冷却地引导带状基底(5)，隔间分别具有至少一个在其中布置的处理装置(4)，其中，隔间(21)的系统划分为两个由分隔平面(3)分隔开的部分系统(2)，每个部分系统(2)的隔间(21)相对彼此位置固定地布置，并且每个部分系统(2)包围冷却辊(I)的周侧面(12)的不超过180°的部分圆周，其特征在于，两个部分系统(2)能在与分隔平面(3)垂直的方向上离开冷却辊(I)地移动。2.根据权利要求1所述的多层涂层装置，其特征在于，处理装置(4)在冷却辊(I)的径向方向上位置固定地布置。3.根据权利要求1所述的多层涂层装置，其特征在于，处理装置(4)相对包围该处理装置(4)的隔间(21)的区段位置固定地布置。4.根据上述权利要求中任一项所述的多层涂层装置，其特征在于，两个部分系统(2)能在冷却辊(I)的轴向方向(11)上移动。5.根据上述权利要求中任一项所述的多层涂层装置，其特征在于，所述两个部分系统(...
【专利技术属性】
技术研发人员：约翰内斯·施特罗姆费尔，米夏埃尔·亨切尔，法尔克·奥托，沃尔夫冈·富卡雷克，
申请(专利权)人：冯·阿德纳有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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