成膜装置及真空腔室的开闭机构制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够减少动作所需的能量的成膜装置及真空腔室的开闭机构。在使阀体（9）从第2位置（P2）向第3位置（P3）移动时，第1缸体（22）动作，在使阀体（9）从第3位置（P3）向第1位置（P1）移动并经阀体（9）按压密封部件（11）时，第2缸体（23）动作。第1缸体（22）具有移动阀体（9）的功能，因此需要较长的行程，但不具有按压密封部件（11）的功能，因此无需较大的缸径。另一方面，第2缸体（23）具有按压密封部件（11）的功能，因此需要较大的缸径，但不具有移动阀体（9）的功能，因此无需较长的行程。因此，能够设为无需通过与按压密封部件（11）时相等的力来移动阀体（9）亦可的结构。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种能够减少动作所需的能量的成膜装置及真空腔室的开闭机构。在使阀体（9）从第2位置（P2）向第3位置（P3）移动时，第1缸体（22）动作，在使阀体（9）从第3位置（P3）向第1位置（P1）移动并经阀体（9）按压密封部件（11）时，第2缸体（23）动作。第1缸体（22）具有移动阀体（9）的功能，因此需要较长的行程，但不具有按压密封部件（11）的功能，因此无需较大的缸径。另一方面，第2缸体（23）具有按压密封部件（11）的功能，因此需要较大的缸径，但不具有移动阀体（9）的功能，因此无需较长的行程。因此，能够设为无需通过与按压密封部件（11）时相等的力来移动阀体（9）亦可的结构。【专利说明】成膜装置及真空腔室的开闭机构
本申请主张基于2013年I月29日申请的日本专利申请第2013-014654号的优先权。该申请的所有内容通过参考援用于本说明书中。本专利技术涉及一种成膜装置及真空腔室的开闭机构。
技术介绍
以往，作为进行真空腔室的开闭的开闭机构，已知有专利文献I中所记载的开闭机构。专利文献I的开闭机构具备:阀体，用于堵住用于搬入搬出基板的真空腔室的孔部；O型环，通过被阀体按压来密封孔部；及I个缸体，为了开闭孔部而移动阀体。专利文献1:日本特开平06-338469号公报如上述的开闭机构中，缸体使阀体移动至堵住孔部的位置，并且通过在该位置用阀体按压O型环来确保孔部的气密性。即，缸体为I个，因此该缸体同时具有移动阀体的功能和按压O型环的功能。在此，按压O型环需要较大的力，因此需要加大缸径。另一方面，移动阀体需要加长缸体的行程。基于以上理由，需要应用行程长且缸径大的缸体。然而，当为这种结构时，即使在进行移动阀体的动作时，也以与按压O型环时相等的力进行动作，因此造成能量的浪费。
技术实现思路
本专利技术是为了解决这种课题而完成的，其目的在于提供一种能够减少动作所需的能量的成膜装置及真空腔室的开闭机构。本专利技术所涉及的成膜装置为使成膜材料的粒子附着于成膜对象物的成膜装置，该成膜装置具备:真空腔室，具有用于搬入搬出成膜对象物的孔部；阀体，能够在关闭孔部的第I位置、和不干涉经孔部被搬入搬出的成膜对象物的第2位置之间移动；密封部件，在阀体配置于第I位置时，通过被阀体按压来密封孔部;第I缸体，为了开闭孔部而移动阀体；及第2缸体，经阀体按压密封部件。 本专利技术所涉及的成膜装置具备为了开闭真空腔室的孔部而移动阀体的第I缸体、及经阀体按压密封部件的第2缸体。因此，在使阀体从第2位置向比第I位置稍微更靠第2位置侧的位置移动时，第I缸体动作，在使阀体移动至第I位置并经阀体按压密封部件时，第2缸体动作。第I缸体具有使阀体移动较长距离的功能，因此需要较长的行程，但可以不具有按压密封部件的功能，因此无需较大的缸径。另一方面，第2缸体具有按压密封部件的功能，因此需要较大的缸径，但仅使阀体移动很小的距离即可，因此无需较长的行程。因此，无需行程长且缸径大的缸体，从而能够设为无需通过与按压密封部件时相等的力来移动阀体亦可的结构。综上，能够减少动作所需的能量。并且，本专利技术所涉及的成膜装置中，与第I缸体相比，第2缸体可缸径更大且行程更短。即，第I缸体可为缸径较小且行程较长的结构。通过这种结构，能够减少动作所需的能量。并且，本专利技术所涉及的成膜装置可还具备连结于阀体的旋转轴、及连结于旋转轴且沿该旋转轴的径向延伸的操纵杆，且第I缸体连接于操纵杆的前端侧与旋转轴之间，而第2缸体连接于操纵杆的前端侧，从而可经阀体按压密封部件。操纵杆连结于旋转轴，旋转轴连结于阀体。并且，第I缸体连接于操纵杆的前端侧与旋转轴之间，因此通过以第I缸体移动操纵杆，旋转轴旋转，阀体也随之旋转。通过该旋转移动，阀体能够在第2位置、和比第I位置稍微更靠第2位置侧的位置之间移动。并且，第2缸体连接于操纵杆的前端侧，因此能够经操纵杆及旋转轴来以阀体按压密封部件。综上，能够更高效地进行阀体的开闭及密封部件的按压。并且，本专利技术所涉及的成膜装置中，操纵杆与第2缸体可由连杆部件连接。该连杆部件连接操纵杆和第2缸体，因此即使操纵杆旋转而其前端侧靠近第2缸体，也能够通过连杆部件来使第2缸体退避。并且，操纵杆按压第2缸体时，能够通过连杆部件使第2缸体靠近操纵杆侧。综上，能够以简单的结构使第2缸体不干涉操纵杆而顺畅地对密封部件进行密封。 并且，本专利技术所涉及的开闭机构为具有用于搬入搬出成膜对象物的孔部的真空腔室的开闭机构，该真空腔室的开闭机构具备:阀体，能够在关闭孔部的第I位置、和不干涉经孔部被搬入搬出的成膜对象物的第2位置之间移动；密封部件，在阀体配置于第I位置时，通过被阀体按压来密封孔部；第I缸体，为了开闭孔部而移动阀体；及第2缸体，对密封部件按压阀体。根据本专利技术所涉及的开闭机构，由于具备为了真空腔室的孔部的开闭而移动阀体的第I缸体、及经阀体按压密封部件的第2缸体，因此起到与上述成膜装置相同的作用效果O专利技术效果:根据本专利技术，能够减少动作所需的能量。【专利附图】【附图说明】图1是表示本专利技术的实施方式所涉及的成膜装置的侧视图。图2是图1所示的开闭机构的放大图。图3是从Z轴正向观察图2所示的开闭机构的图。图4是沿图2所示的IV-1V线的剖视图。图5是沿图4所示的V-V线的剖视图。图6是表示相对于图2所示的状态，延长第I缸体的杆的状态的图。图7是表示相对于图6所示的状态，延长第2缸体的杆的状态的图。图8是表示比较例所涉及的开闭机构的图。图9是表示采用比较例所涉及的开闭机构时的气源结构的示意图。图中:1_开闭机构，3-旋转轴，9-阀体，11-密封部件，21-操纵杆，22-第I缸体，23-第2缸体，24-连杆部件，100-成膜装置，150-真空腔室，151-孔部。【具体实施方式】以下，参考附图对基于本专利技术的成膜装置的一实施方式进行详细说明。另外，在【专利附图】【附图说明】中对相同要件附加相同符号，并省略重复说明。图1是本实施方式所涉及的成膜装置100的侧视图。图1所示的成膜装置100是用于对成膜对象物即基板101 (例如玻璃基板)实施成膜等处理的装置。成膜装置100是例如通过RH)法(反应性等离子体蒸镀法)进行成膜的装置。成膜装置100具备生成等离子体的等离子枪(蒸镀源140)，并通过利用所生成的等离子体对成膜材料进行离子化并使成膜材料的粒 子附着于基板101的表面来进行成膜。为方便说明，在图1中示出XYZ坐标系。Y轴方向为搬送基板101的方向。Z轴方向为基板101与蒸镀源140对置的方向。X轴方向为与Y方向及Z方向正交的方向。另外，本实施方式中，作为优选例，例示出基板101以基板101的板厚方向成为大致铅垂方向的方式配置于真空容器内而被搬送的所谓卧式成膜装置。但是，也可为在将基板101以基板101的板厚方向成为水平方向的方式立起或从立起状态倾斜的状态下，将基板101配置于真空腔室内而被搬送的所谓立式成膜装置。成膜装置100具备过渡腔室(load lock chamber) 121、缓冲腔室(bufferchamber) 122、成膜腔室(成膜室)123、缓冲腔室124及过渡腔室125。这些腔室121~125以该顺序排列配置。所有腔室121~125作为真空腔室150而构成，在腔室121~12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，其使成膜材料的粒子附着于成膜对象物，该成膜装置具备：真空腔室，具有用于搬入搬出所述成膜对象物的孔部；阀体，能够在关闭所述孔部的第1位置、和不与经所述孔部被搬入搬出的所述成膜对象物发生干涉的第2位置之间移动；密封部件，在所述阀体配置于所述第1位置时，通过被所述阀体按压来密封所述孔部；第1缸体，为了开闭所述孔部而移动所述阀体；及第2缸体，经所述阀体按压所述密封部件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：饭尾逸史，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP